公开(公告)号：KR1020000013210A

公开(公告)日：2000-03-06

申请号：KR1019980031933

申请日：1998-08-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호 ,  이현옥 ,  박봉희 ,  전진협

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A wafer transfer chuck assembly of horizontal diffusion equipment and chuck controller using the same is provided to prevent a damage of wafer while a chuck is moving and improve a productivity. CONSTITUTION: The wafer transfer chuck assembly of horizontal diffusion equipment comprises a supporting member, a supporting plate, a fixing member, and a switch contact plate. In the wafer transfer chuck assembly, the supporting member has a supporting bar, wherein the supporting bar is fixed to an outside of arms and placed to horizontal direction of supporting member. The supporting plate fixes the arms and a switch. The fixing member has a screw hole near a upside and bottom side of center. The switch contact plate switches the switch in the supporting plate.

Abstract translation: 目的：提供水平扩散设备和使用其的卡盘控制器的晶片传送卡盘组件，以防止卡盘移动时晶片损坏并提高生产率。 构成：水平扩散装置的晶片传送卡盘组件包括支撑构件，支撑板，固定构件和开关接触板。 在晶片转印卡盘组件中，支撑构件具有支撑杆，其中支撑杆固定到臂的外侧并且被放置在支撑构件的水平方向上。 支撑板固定臂和开关。 固定构件具有靠近中心的上侧和下侧的螺钉孔。 开关接触板将开关切换到支撑板上。

公开(公告)号：KR1019990042851A

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019970063778

申请日：1997-11-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민영민 ,  김민규 ,  민병호

IPC: H01G5/019

Abstract: 본 발명은 회전하는 반전축을 직접 접촉식으로 연결하여 접지시킴으로써 접지성능을 향상시키게 하는 직접 접촉식 접지부를 갖는 가변커패시터에 관한 것이다.
본 발명에 따른 직접 접촉식 접지부를 갖는 가변커패시터는, 일정 각도로 정회전과 역회전을 반복하는 반전축 및 일단은 접지되고, 다른 일단은 상기 반전축과 통전되도록 상기 반전축의 측면에 고정되어 연결되고, 상기 반전축의 정·역회전에 따라서 상기 반전축의 측표면을 따라 유동적으로 감겼다가 풀리는 형상을 반복하는 유연한 통전재질의 와이어를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서 반전축의 접지효율을 향상시켜서 안정된 접지를 가능하게 하고, 아킹형상을 방지하여 반사파를 제거하며, 제품의 내구성을 향상시키고, 메칭속도를 향상시키게 하는 효과를 갖는다.

公开(公告)号：KR200131996Y1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR2019950045192

申请日：1995-12-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상경 ,  민병호

IPC: H01L21/22

Abstract: 본 고안은 웨이퍼의 잦은 로딩(Loading)에 따라 그래파이트 핀(Graphite Pin)이 열화되어 파티클을 유발하는 것을 방지할 수 있도록 된 반도체 산화막형성 공정용 보트에 관한 것으로, 웨이퍼가 세워진 상태로 정렬될 수 있도록 하는 복수개의 수직플레이트와, 상기 수직플레이트의 하부 양쪽에 설치되어 웨이퍼의 하단을 받쳐 지지하는 핀을 구비하는 반도체 산화막형성 공정용 보트에 있어서, 상기 핀과 핀 사이에 아크가 발생되지 않도록 상기 핀이 절연체인 세라믹으로 제조된 것이다.
따라서 웨이퍼와의 접촉시 마모되지 않고, 핀 상호간에 아크가 발생되는 것이 방지됨으로써 이로 인한 파티클 오염 및 공정불량이 방지되어 수율이 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980073770A

公开(公告)日：1998-11-05

申请号：KR1019970009295

申请日：1997-03-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호 ,  오상훈 ,  장호선

IPC: H01L21/205

Abstract: 반도체장치를 제조하는 공정설비의 가스 분배장치의 배관에 설치되는 유량제어기의 정상적인 동작여부를 타이머를 이용하여 자동으로 체크하도록 한 유량제어기(Mass Flow Controller)의 유량 체크 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 유체의 최소 흐름양이 설정되어서 상기 유량제어기에서 흐르는 유체의 흐름양과 비교하는 제 1 비교수단, 상기 유체의 최대 흐름양이 설정되어서 상기 유량제어기에서 흐르는 유체의 흐름양과 비교하는 제 2 비교수단, 상기 제 1 비교수단에서 상기 최소 흐름양 이상의 유체 흐름이 판단되면 제 1 스위칭신호를 출력하는 제 1 스위칭수단, 상기 제 2 비교수단에서 상기 최대 흐름양 이상의 유체 흐름이 판단되면 제 2 스위칭신호를 출력하는 제 2 스위칭수단 및 상기 제 1 스위칭신호에 의하여 카운트를 개시하고 상기 제 2 스위칭신호에 의하여 홀드되는 타이머를 구비하여 이루어진다.
따라서, 반도체장치를 제조하기 위하여 가스의 분배장치에 설치된 유량조절기의 상태를 손쉽고 간단하게 체크할 수 있어서 작업성이 극대화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR2019970046662U

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR2019950045192

申请日：1995-12-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상경 ,  민병호

IPC: H01L21/22

公开(公告)号：KR1020070006471A

公开(公告)日：2007-01-11

申请号：KR1020050061833

申请日：2005-07-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호

IPC: H04N5/44

CPC classification number: H04N5/765 ,  G09G5/006 ,  G09G2360/10 ,  G09G2370/047 ,  G09G2370/10 ,  G09G2370/12 ,  H04N21/43615

Abstract: An HDMI(High Definition Multimedia Interface) transmission system is provided to packet audio data and additional data proper for HDMI for transmitting video and digital audio signals. An HDMI transmission system includes a register setting block(310) for storing image setting data and a transmission enable signal state. A data packet block generates a first signal and packets additional data in response to the transmission enable signal states so that the data packet block outputs packet data in response to a control signal. A control block(330) has a control signal generator, which outputs the control signal in response to the image setting data of the register setting block and the first signal output from the data packet block. The packet data is proper for transmission via a TMDS(Transition Minimized Differential Signaling) channel and the transmission system follows HDMI regulations. The register setting block stores auxiliary data. The additional data includes audio data input from the auxiliary data of the register setting block or from the outside.

Abstract translation: 提供HDMI（高清晰度多媒体接口）传输系统来分组音频数据和适用于HDMI的附加数据，用于传输视频和数字音频信号。 HDMI传输系统包括用于存储图像设置数据和发送使能信号状态的寄存器设置块（310）。 数据分组块响应于传输使能信号状态产生第一信号并分组附加数据，使得数据分组块响应于控制信号输出分组数据。 控制块（330）具有控制信号发生器，其响应于寄存器设置块的图像设置数据和从数据分组块输出的第一信号而输出控制信号。 分组数据适用于通过TMDS（转换最小化差分信令）信道进行传输，传输系统遵循HDMI规定。 寄存器设置块存储辅助数据。 附加数据包括从寄存器设置块的辅助数据或从外部输入的音频数据。

公开(公告)号：KR100443086B1

公开(公告)日：2004-09-18

申请号：KR1019970035189

申请日：1997-07-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호 ,  배형철

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: An apparatus for processing a waste liquid of semiconductor fabricating equipment is provided to improve work efficiency and productivity by automatically controlling treatment of waste liquid and by generating an alarm when an abnormal state occurs. CONSTITUTION: The waste liquid used in a semiconductor fabricating process is firstly received in a main waste liquid bath(22) and is secondly received in a sub waste liquid bath(30). A pipe(28) induces a flow of the waste liquid of the sub waste liquid bath, connected to the main waste liquid bath. The first and second sensing units sense an excessively received state of the waste liquid, respectively installed in the upper ends of the main and sub waste liquid baths. The third sensing unit senses whether the sub waste liquid bath exists, installed under the sub waste liquid bath. A switching unit controls the flow of the waste liquid, installed in the pipe. A control unit(36) receives a sensing signal from the first to third sensing units, and controls and closes the switching unit when the main waste liquid bath is in an excessive reception state.

公开(公告)号：KR1020040014837A

公开(公告)日：2004-02-18

申请号：KR1020020047583

申请日：2002-08-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김종호 ,  노미정 ,  김태수 ,  민병호 ,  조기원

IPC: G06F17/14

Abstract: PURPOSE: A composite FFT(Fast Fast Transform) calculating device, a composite FFT calculating method, and a recording medium adapted thereto are provided to minimize an FFT calculation speed. CONSTITUTION: Input registers(202,204) load data to be used for a calculation from read buses. Coefficient registers(206,208) load a sine value and a cosine value to be used for a calculation from the read buses. An adder(214) and a subtracter(216) add or subtract values stored in the Input registers(202,204). Multipliers(218,220) multiply an output of the subtracter(216) by outputs of the coefficient registers(206,208). Four storage registers(224,226,228,230) executes a complex calculation. Multiplexers(210,212) support operations of the adder(214) and the subtracter(216). A multiplexer(232) controls an output. A controller(234) controls operations of the above elements.

Abstract translation: 目的：提供一种复合FFT（Fast Fast Transform，快速变换）计算装置，复合FFT计算方法以及与其适配的记录介质，以最小化FFT计算速度。 构成：输入寄存器（202,204）从读取总线加载要用于计算的数据。 系数寄存器（206,208）从读总线加载用于计算的正弦值和余弦值。 加法器（214）和减法器（216）加或减加存储在输入寄存器（202,204）中的值。 乘数（218,220）将减法器（216）的输出乘以系数寄存器（206,208）的输出。 四个存储寄存器（224,226,228,230）执行一个复杂的计算。 多路复用器（210,212）支持加法器（214）和减法器（216）的操作。 多路复用器（232）控制输出。 控制器（234）控制上述元件的操作。

公开(公告)号：KR1020030021653A

公开(公告)日：2003-03-15

申请号：KR1020010055018

申请日：2001-09-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호 ,  신동화 ,  전성훈

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A wafer stage is provided to prevent a process defect caused by a wafer inaccurately placed in a heating plate by making the wafer placed in the center of the stage even if the wafer is inaccurately loaded. CONSTITUTION: The wafer is loaded to a plate. A plurality of wafer guides(126) are installed in the edge of the plate. A revolution unit(190) revolves the wafer guide to make the wafer placed on the wafer guide slip down. The wafer guide is slanted to make the wafer slip down when an end of the wafer is placed on the wafer guide. A shaft(192) is connected to the wafer guide. A roller(194) is connected to the shaft. A power transfer unit supplies revolution force to the roller. The revolution unit includes the shaft, the roller and the power transfer unit.

Abstract translation: 目的：提供晶片台，以便即使晶片不准确地加载，也可以通过将晶片放置在载物台的中心，来防止晶片不正确地放置在加热板中造成的工艺缺陷。 构成：将晶片装载到板上。 多个晶片引导件（126）安装在板的边缘中。 旋转单元（190）围绕晶片引导件，使放置在晶片导向器上的晶片滑落。 当晶片的一端放置在晶片引导件上时，晶片引导件倾斜以使晶片滑落。 轴（192）连接到晶片引导件。 辊（194）连接到轴。 动力传递单元向辊子提供旋转力。 转动单元包括轴，滚轮和动力传递单元。

公开(公告)号：KR100338773B1

公开(公告)日：2002-05-31

申请号：KR1020000024616

申请日：2000-05-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김태수 ,  박선희 ,  민병호

IPC: H03M13/41

Abstract: 본 발명은 비터비 복호기를 저전력화하는 상태평가량 연산장치에 관한 것으로, 비터비 알고리즘에 따른 격자도를 하드웨어로 구현할 때 다음 시간유닛의 각 상태에 대한 상태평가량을 구하는 장치에 있어서, 복수의 메모리를 구비하여, 각 메모리에 현재 시간유닛의 각 상태에 대한 상태평가량을 저장하되, 다음 시간유닛의 하나의 상태에 연결되는 현재 시간유닛의 상태들의 상태평가량을 각각 다른 메모리의 동일한 어드레스 위치에 저장하는 상태평가량 저장부; 상태 평가량 저장부에 읽기 어드레스를 발생하되, 발생된 읽기 어드레스가 소정 조건을 만족하도록 변환하고, 다음 시간유닛의 각 상태에 대한 쓰기 어드레스를 발생하는 제어부; 변환된 읽기 어드레스에 대응하여 제어부로부터 출력되는 제어신호와 입력된 코드워드로부터 가지평가량을 발생하는 가지평가량 발생부; 및 읽기 어드레스에 의해 각 메모리로부터 독출된 현재 시간유닛의 상태평가량들과 가지평가량 발생부로부터 발생된 가지평가량들을 각각 더하고, 더해진 결과를 비교하여 가장 작은 값을 선택하며, 선택된 값을 상태평가량 저장부에서 제어부로부터 출력되는 쓰기 어드레스에 해당하는 위치로 출력하는 ACS부를 포함함을 특징으로한다.