Abstract:
콘택 구조체 형성방법, 이를 이용하는 반도체소자의 제조방법 및 그에 의해 제조된 반도체소자를 제공한다. 이 반도체소자의 제조방법은 반도체기판 상에 제1 개구부를 갖는 제1 몰딩 패턴을 형성하는 것을 포함한다. 적어도 상기 제1 개구부의 측벽을 덮는 절연막을 형성한다. 상기 절연막에 의해 측벽이 덮인 상기 제1 개구부의 나머지 부분을 채우는 제2 몰딩 패턴을 형성한다. 상기 절연막을 패터닝하여 절연 패턴을 형성함과 아울러, 상기 제1 및 제2 몰딩 패턴들의 측벽들 및 상기 절연 패턴의 측벽에 의해 한정된 제2 개구부를 형성한다. 상기 제2 개구부 내에 콘택 패턴을 형성한다.
Abstract:
PURPOSE: A non-volatile memory device and a manufacturing method thereof are provided to from a plurality of program areas which stores data in one memory filler by extending a memory filler to a first direction. CONSTITUTION: A conductive pillar(630) is formed by extending to a first direction from a substrates. A variable resistor(620) surrounds the conductive filler. A switching material layer(610) surrounds the variable resistor. A first conductive layer(410_1) is formed to a second direction which crosses with the first direction. A first electrode(510_1) touches with the first conductive layer and the switching material layer.
Abstract:
PURPOSE: A contact structure, a semiconductor device using the same, and a manufacturing method thereof are provided to form a stable contact on an information storage pattern having a concave region in a top surface. CONSTITUTION: A contact structure includes a bottom pattern, a flattened buffer pattern(126), and a conductive pattern(131). The bottom pattern is formed on a substrate(100), and has a concave region in a top surface. The flattened buffer pattern is formed on the information storage pattern. The conductive pattern is formed on the flattened buffer pattern, and is self-aligned with the bottom pattern.