公开(公告)号：KR100843147B1

公开(公告)日：2008-07-03

申请号：KR1020070014534

申请日：2007-02-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김경선 ,  지성민 ,  하정환 ,  김원선

IPC: C12N15/09 ,  C12Q1/68 ,  C12N15/10

CPC classification number: B01J19/0046 ,  B01J2219/00497 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00585 ,  B01J2219/00596 ,  B01J2219/00605 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00711 ,  B01J2219/00722 ,  B01J2219/00725 ,  B82Y30/00 ,  C40B40/06 ,  C40B40/10 ,  C40B50/18 ,  C40B80/00 ,  Y10T428/31504 ,  C12Q1/6837 ,  C12Q1/6876

Abstract: A substrate for an oligomer probe array and an oligomer probe array are provided to improve integrity and reaction yield of the oligomer probe array, function as a linker or a spacer through an intermediate film included therein to provide a selective reaction region and show less tangling phenomenon and improved resolution of the intermediate film. A substrate for an oligomer probe array comprises: a substrate; and an intermediate film formed on the substrate and represented by a formula(1) and is prepared by providing the substrate and then forming the intermediate film on the substrate. An oligomer probe array comprises: an oligomer probe; a substrate including an active region where the oligomer probe is coupled and an in-active region where the oligomer probe is not coupled; and an intermediate film including a chemical structure represented by a formula(2) on the active region and including the chemical structure of the formula(1) on the inactive region and is prepared by providing the substrate, forming the intermediate film including the structure of the formula(1) on the substrate, exposing at least a portion of the intermediate film to light, and coupling the oligomer probe to at least a portion of the exposed intermediate film. In the formulae, R1 is C2-8 alkyl, aryl, cycloalkyl or cycloalkenyl; R2 is C2-8 alkyl, aryl, cycloalkyl or cycloalkenyl; Y is coupled to a linker, a spacer or the oligomer probe; X is coupled to the substrate directly or via a fixation layer; the fixation layer includes Si(OR)3, wherein R is C1-2 alkyl.

Abstract translation: 提供了用于低聚物探针阵列和低聚物探针阵列的底物，以提高低聚物探针阵列的完整性和反应产率，通过包含在其中的中间膜作为连接体或间隔子，提供选择性反应区并显示较少的缠结现象 并提高中间膜的分辨率。 用于低聚物探针阵列的衬底包括：衬底; 以及形成在所述基板上并由式（1）表示的中间膜，并且通过提供所述基板然后在所述基板上形成所述中间膜来制备。 低聚物探针阵列包括：低聚物探针; 底物，其包含其中所述低聚物探针偶联的活性区和所述低聚物探针未偶联的活性区; 在活性区域具有由式（2）表示的化学结构的中间膜，在惰性区域上包含式（1）的化学结构，并且通过提供基材而制备，形成包含以下结构的中间膜： 在基板上的式（1），使至少一部分中间膜曝光，并将低聚物探针偶联到暴露的中间膜的至少一部分上。 在该式中，R 1是C 2-8烷基，芳基，环烷基或环烯基; R2是C2-8烷基，芳基，环烷基或环烯基; Y连接到接头，间隔物或低聚物探针; X直接地或通过固定层耦合到衬底; 固定层包括Si（OR）3，其中R是C 1-2烷基。

公开(公告)号：KR100843146B1

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：KR1020060131211

申请日：2006-12-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 하정환 ,  지성민 ,  김경선 ,  김원선 ,  최상준

IPC: G01N33/48

CPC classification number: B01L3/508 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00702 ,  B01L2300/041 ,  B01L2300/0636 ,  B01L2300/0822

Abstract: 신뢰성 있는 바이오 시료의 결합 여부를 검사할 수 있는 바이오칩 키트가 제공된다. 바이오칩 키트는 제1 하우징, 제1 하우징 내에 배치되며, 기판, 상기 기판 상에 위치하는 액티브 영역 영역, 및 상기 액티브 영역 영역에 고정되는 다수의 프로브를 포함하는 바이오칩, 및 제1 하우징과 체결되어 바이오칩을 커버하며 제1 하우징과 함께 반응 공간을 제공하고, 제1 하우징으로부터 분리되어 바이오칩의 상면을 노출시키는 제2 하우징을 포함한다.
바이오칩, 하우징, 반응 공간, 바이오 시료, 혼성화

公开(公告)号：KR1020080057644A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：KR1020060131211

申请日：2006-12-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 하정환 ,  지성민 ,  김경선 ,  김원선 ,  최상준

IPC: G01N33/48

CPC classification number: B01L3/508 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00702 ,  B01L2300/041 ,  B01L2300/0636 ,  B01L2300/0822 ,  B01J19/0093 ,  B01L2300/0819 ,  C12Q1/6837

Abstract: A biochip kit is provided to concentrate light enough and detect an accurate wavelength by placing a detecting portion as adjacent as possible regarding a biochip exposed to the outside, thereby improving the test reliability. A method for testing a bio-sample is provided to automate the test of a plurality of the biochip kits in sequence, thereby improving testing efficiency. A biochip kit(10) comprises: a first housing(110); a biochip placed inside the first housing and including a plurality of probes; and a second housing(120) which is engaged with the first housing to cover the biochip, provides a reaction space together with the first housing and is isolated from the first housing to expose the upper surface of the biochip. A method for testing a bio-sample comprises the steps of: (a) providing the biochip kit; (b) subjecting the bio-sample to a coupling reaction between the probe and the bio-sample by providing the bio-sample inside the reaction space; (c) isolating the second housing to expose the upper surface of the biochip; and (d) adjacently placing a detecting portion on the exposed biochip to test whether the probe and the bio-sample are coupled to each other. Further, the first housing or the second housing contains inlet/outlet.

Abstract translation: 提供生物芯片套件以足够集中的光并通过将暴露于外部的生物芯片尽可能相邻的检测部分来检测精确的波长，从而提高测试可靠性。 提供了用于测试生物样品的方法以使多个生物芯片试剂盒按顺序自动化，从而提高测试效率。 生物芯片套件（10）包括：第一壳体（110）; 生物芯片放置在第一壳体内并且包括多个探针; 以及与所述第一壳体接合以覆盖所述生物芯片的第二壳体（120），其与所述第一壳体一起提供反应空间，并与所述第一壳体隔离以暴露所述生物芯片的所述上表面。 用于测试生物样品的方法包括以下步骤：（a）提供生物芯片试剂盒; （b）通过在反应空间内提供生物样品，使生物样品经受探针与生物样品之间的偶联反应; （c）隔离第二壳体以露出生物芯片的上表面; 和（d）将暴露的生物芯片上的检测部分相邻地放置以测试探针和生物样品是否彼此耦合。 此外，第一壳体或第二壳体包含入口/出口。

公开(公告)号：KR100809326B1

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：KR1020060079364

申请日：2006-08-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김경선 ,  지성민 ,  하정환 ,  김원선 ,  최상준 ,  류만형

IPC: C12Q1/68

Abstract: 이광자 흡수기를 구비하는 폴리머로 형성된 액티브막을 포함하는 올리고머 프로브 어레이가 제공된다. 올리고머 프로브 어레이는 기판, 기판 상의 올리고머 프로브 및 올리고머 프로브와 기판 사이에 개재되고 올리고머 프로브와 커플링되며, 이광자 흡수기를 구비하는 모노머, 광가교 작용기를 구비하는 모노머 및 상기 올리고머 프로브와 직접 또는 간접적으로 커플링하는 작용기를 구비하는 모노머를 포함하는 폴리머로 형성된 액티브막을 포함한다.
이광자 흡수기, 신나모일기, 광가교, 올리고머 프로브 어레이

公开(公告)号：KR100791335B1

公开(公告)日：2008-01-07

申请号：KR1020060066634

申请日：2006-07-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 하정환 ,  지성민 ,  김경선 ,  김원선

IPC: C12Q1/68

CPC classification number: C40B40/06 ,  C40B50/18 ,  C40B60/14 ,  C12Q1/6837 ,  C12Q1/6876

Abstract: A microarray is provided to be directly coupled to an oligomer probe without a separate structure through a fixated branch exposed on the surface of a siloxane resin layer constituting a probe cell active or coupled to a linker providing selective activation characteristic and provide a spatial margin through free interaction between the fixated branch and a target sample. A microarray comprises a substrate; a siloxane resin layer which is represented by the formula(1) or (2), has a molecular weight of 1,000-10,000 and is on the substrate; an oligomer probe coupled to the siloxane resin layer. In the formulae, each R1 and R2 is C1-30 hydrocarbon, respectively; and each X1 and X2 is hydroxyl, aldehyde, carboxyl, amino, thiol, halo or sulfonate, respectively. In the microarray, at least portion of the hydrocarbon is a fixated branch which is exposed to the surface of the siloxane resin layer and the oligomer probe is coupled to the fixated branch.

Abstract translation: 提供微阵列以直接耦合到低聚物探针，而不通过暴露在构成探针细胞的硅氧烷树脂层的表面上的固定支化物的单独结构，该探针细胞有活性或偶联至提供选择性活化特性的接头，并通过游离提供空间裕度 固定分支与目标样本之间的相互作用。 微阵列包括基底; 由式（1）或（2）表示的硅氧烷树脂层的分子量为1,000〜10000，在基材上; 耦合到硅氧烷树脂层的低聚物探针。 式中，R 1和R 2分别为C 1-3烃基; 并且各个X 1和X 2分别是羟基，醛，羧基，氨基，硫醇，卤素或磺酸酯。 在微阵列中，烃的至少一部分是固定分支，其暴露于硅氧烷树脂层的表面，并且低聚物探针与固定分支连接。

公开(公告)号：KR100772897B1

公开(公告)日：2007-11-05

申请号：KR1020060039716

申请日：2006-05-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 하정환 ,  지성민 ,  김경선 ,  김원선

IPC: G01N33/53 ,  G01N33/50 ,  G01N33/48

CPC classification number: B01J19/0046 ,  B01J2219/00317 ,  B01J2219/00529 ,  B01J2219/00585 ,  B01J2219/00596 ,  B01J2219/00608 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00617 ,  B01J2219/00621 ,  B01J2219/00626 ,  B01J2219/00637 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00722

Abstract: An oligomer probe array is provided to be able to improve the signal to noise ratio by allowing an oligomer probe to be coupled to a probe cell active region and not to be coupled to a probe cell separation region, thereby increasing the accuracy of analysis. An oligomer probe array comprises a substrate(100); a probe cell separation region(130) not including a functional group(150) coupled to an oligomer probe(160) on the surface; a plurality of cell active regions(120) separated by the probe cell separation region, formed on or in the substrate and having a substantially flat surface; and a plurality of oligomer probes coupled to each of the probe cell active regions and having a sequence different from one another. The surface of the probe cell includes a functional group coupled to the oligomer probe, wherein a portion of the functional group is coupled to the oligomer probe and the other functional group is inactively capped, and the probe cell active region is a pattern of a film formed on the substrate, an LOCOS(local oxidation silicon) film formed by topically oxidizing the substrate or a trench-type active. A method for preparing an oligomer probe array comprises the steps of: (a) providing a substrate; (b) forming a plurality of probe cell active regions, wherein the surface of the probe cell active regions are formed to be substantially flat; and (c) coupling an oligomer probe having a different sequence one another to each of the probe cell active regions.

Abstract translation: 提供低聚物探针阵列以能够通过使低聚物探针与探针细胞活性区域偶联而不与探针细胞分离区域耦合来提高信噪比，从而提高分析的准确性。 低聚物探针阵列包括基底（100）; 不包括与表面上的低聚物探针（160）耦合的官能团（150）的探针细胞分离区（130） 多个细胞活性区域（120），由探针细胞分离区分离，形成在基底上或基底上，并具有基本平坦的表面; 以及耦合到每个探针单元活性区并具有彼此不同的序列的多个低聚物探针。 探针单元的表面包括与低聚物探针连接的官能团，其中官能团的一部分与低聚物探针偶联，而另一官能团被无活性地加帽，并且探针细胞活性区域是膜的图案 形成在衬底上的LOCOS（局部氧化硅）膜，其通过局部氧化衬底或沟槽型活性物质形成。 制备低聚物探针阵列的方法包括以下步骤：（a）提供底物; （b）形成多个探针单元活性区域，其中所述探针单元活性区域的表面形成为基本上平坦的; 和（c）将具有不同序列的低聚物探针与每个探针细胞活性区域偶联。

公开(公告)号：KR100618851B1

公开(公告)日：2006-09-01

申请号：KR1020040057163

申请日：2004-07-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 하타미쯔히로 ,  하정환 ,  김현우 ,  우상균

IPC: H01L21/027

Abstract: 양성자 주게 폴리머 및 양성자 받게 폴리머가 수소 결합에 의하여 네트워크를 형성하고 있는 불용성 인터폴리머 콤플렉스 (inter-polymer complex)로 이루어지는 마스크 패턴 및 그 형성 방법과, 미세 패턴 형성용 코팅 조성물 제조 방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 마스크 패턴은 반도체 기판상에 형성된 레지스트 패턴과, 레지스트 패턴의 표면에 형성되어 있는 인터폴리머 콤플렉스층을 포함한다. 마스크 패턴을 형성하기 위하여, 먼저 기판상에 레지스트 패턴을 형성한 후, 양성자 주게 폴리머 및 양성자 받게 폴리머를 포함하는 코팅 조성물을 상기 레지스트 패턴의 표면에 접촉시킨 상태에서 가열하여 인터폴리머 콤플렉스층을 형성한다. 코팅 조성물은 산 및 염기 중 어느 하나, 또는 이들을 모두 포함할 수 있다. 실리콘 알콕사이드 모노머, 실리콘 알콕사이드 올리고머, 또는 이들의 부분적 가수분해 산물과 같은 실리콘 함유 물질을 포함하는 코팅 조성물을 사용하여 BLR의 상부 레지스트 패턴에 인터폴리머 콤플렉스층을 형성하면, 증가된 실리콘 함량에 의하여 건식 식각에 대하여 증가된 내성을 가지고 미세 패턴을 형성할 수 있다.
인터폴리머 콤플렉스, 양성자 주게 폴리머, 양성자 받게 폴리머, 실리콘

公开(公告)号：KR100618864B1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：KR1020040076350

申请日：2004-09-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 하타미쯔히로 ,  김현우 ,  하정환 ,  우상균

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/40 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392

Abstract: 양성자 주게 폴리머 및 양성자 받게 폴리머가 수소 결합에 의하여 상호 연결된 지퍼타입 (zipper type) 접합 영역을 가지는 겔(gel)층을 포함하는 마스크 패턴 및 그 형성 방법과, 미세 패턴을 가지는 반도체 소자의 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 마스크 패턴은 반도체 기판상에 형성된 레지스트 패턴과, 레지스트 패턴의 표면에 형성되어 있는 겔층을 포함한다. 마스크 패턴을 형성하는 데 있어서 레지스트 패턴 위에 겔층을 형성하기 위하여, 양성자 주게 폴리머 및 양성자 받게 폴리머를 포함하는 코팅 조성물을 준비한다. 코팅 조성물을 상기 레지스트 패턴의 표면에 접촉시킨다. 코팅 조성물이 레지스트 패턴의 표면에 접촉된 상태에서 레지스트 패턴을 열처리하여 레지스트 패턴으로부터 코팅 조성물로 산을 확산시킨다.
수소 결합, 지퍼타입 접합, 겔, 양성자 주게 폴리머, 양성자 받게 폴리머

公开(公告)号：KR1020060054666A

公开(公告)日：2006-05-23

申请号：KR1020040093287

申请日：2004-11-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김인성 ,  하정환 ,  이석주 ,  이형래

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/095 ,  G03F7/2022 ,  G03F7/70466 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0334

Abstract: 다층의 포토레지스트 패턴 구조를 갖는 반도체소자 및 그 제조방법을 제공한다. 상기 반도체소자는 기판 상에 차례로 적층된 적어도 두 층의 포토레지스트 패턴들을 구비한다. 상기 포토레지스트 패턴들 사이에 개재된 적어도 한 층의 자기조립막이 배치된다.
포토레지스트, 자기조립막, 양이온성 폴리전해질, 음이온성 폴리전해질, 콘택홀 패턴, 라인 공간 패턴

公开(公告)号：KR100566700B1

公开(公告)日：2006-04-03

申请号：KR1020040002835

申请日：2004-01-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김진아 ,  남동석 ,  하정환

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0015

Abstract: 반도체 장치에서 임프린트 방식으로 포토레지스트 패턴을 형성하는 방법이 개시되어 있다. 기판 상에 포토레지스트를 코팅한다. 상기 포토레지스트의 상부면에, 광 투과판과 상기 광 투과판으로 조사되는 광을 선택적으로 차단시키기 위한 광 차단막 패턴 및 상기 광 투과판 및 광 차단막 패턴의 프로파일에 의해 형성되고 포토레지스트를 임프린트하기 위한 요철부를 구비하는 템플레이트를 압착시켜, 상기 포토레지스트를 임프린트한다. 상기 템플레이트를 통해 광을 조사하여 상기 포토레지스트를 선택적으로 노광한다. 이어서, 상기 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성한다. 상기 방법에 의하면, 마스트 패턴 형성을 위한 식각 공정을 생략할 수 있어 공정이 단순화되는 효과가 있다.