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公开(公告)号：KR1020100074909A
公开(公告)日：2010-07-02
申请号：KR1020080133461
申请日：2008-12-24
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A pressure sensor and a manufacturing method thereof are provided to improve pressure sensitivity by arranging a nano wire which is a piezoresistive material to a location where the largest deformation is generated by an external pressure. CONSTITUTION: A pressure sensor comprises: a first substrate region(200) which is arranged on a first surface of a substrate(100) including a groove on a second surface; second substrate regions(210) which are four and are separated from four sides of the first substrate region with a constant interval; a nano wire(180) which respectively connects the four sides of the first substrate region with the four second substrate regions and is released from the substrate; and a metal pad which is respectively arranged on the upper parts of the four second substrate regions. An undercut is respectively arranged on the lower part of the four second substrate regions.
Abstract translation: 目的：提供一种压力传感器及其制造方法，通过将作为压阻材料的纳米线布置到通过外部压力产生最大变形的位置来提高压力灵敏度。 构成：压力传感器包括：第一基板区域（200），布置在基板（100）的第一表面上，第一表面包括在第二表面上的凹槽; 第二基板区域（210），其四个并且以一定间隔与第一基板区域的四个边隔开; 分别将第一基板区域的四个边缘与四个第二基板区域连接并从基板释放的纳米线材（180） 以及分别设置在四个第二基板区域的上部的金属焊盘。 在四个第二基板区域的下部分别设置底切。
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公开(公告)号：KR1020150010218A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：KR1020130084909
申请日：2013-07-18
Applicant: 현대자동차주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N15/0656 , G01N15/0606 , G01N2015/0046 , G01N2015/0681
Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 입자상 물질 센서유닛은 전하를 띤 입자상 물질이 근처를 지날 때 반응하는 정전유도방식의 센서부, 전도성 패이스트를 통해서 상기 센서부가 일측에 부착되는 보호패드, 상기 보호패드에 형성되어 상기 센서부에서 부착된 입자상 물질을 태워서 제거하는 히터전극, 및 상기 보호패드에 형성되어 상기 센서부에서 발생되는 신호를 외부로 전달하는 센서전극을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的颗粒物质传感器单元包括与附带的带电颗粒物质反应的静电感应传感器单元; 传感器单元通过导电膏粘附到一侧的保护垫; 加热器电极，其形成在所述保护垫上，并且燃烧并除去附着在所述传感器单元中的颗粒物质; 以及传感器电极，其形成在保护焊盘上，并将由传感器单元产生的信号传输到外部。
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公开(公告)号：KR1020150005199A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：KR1020130078718
申请日：2013-07-05
Applicant: 에스케이하이닉스 주식회사 , 서울대학교산학협력단
IPC: H01L23/373
CPC classification number: H01L23/373 , H01L23/3128 , H01L23/3677 , H01L23/3735 , H01L23/49822 , H01L23/49827 , H01L23/49838 , H01L23/50 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/32 , H01L24/73 , H01L24/92 , H01L25/0657 , H01L2224/0401 , H01L2224/05568 , H01L2224/0557 , H01L2224/056 , H01L2224/05611 , H01L2224/05647 , H01L2224/05655 , H01L2224/06136 , H01L2224/06181 , H01L2224/131 , H01L2224/16146 , H01L2224/16227 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/73253 , H01L2224/92125 , H01L2225/06513 , H01L2225/06517 , H01L2225/06541 , H01L2225/06544 , H01L2225/06565 , H01L2225/06589 , H01L2924/15311 , H01L2924/014
Abstract: 본 기술은 반도체 칩 및 이를 갖는 적층형 반도체 패키지를 포함한다. 본 기술에 포함된 반도체 칩은, 복수의 본딩 패드가 형성된 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 반도체 칩 몸체; 상기 반도체 칩 몸체를 관통하고, 일단이 본딩 패드와 전기적으로 연결된 복수의 제1 및 제2 관통 전극; 상기 반도체 칩 몸체의 제2 면 상에 상기 제1 및 제2 관통 전극의 타단이 노출되도록 형성된 절연층; 및 상기 절연층 상에 형성된 제1 열분산층;을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 本技术提供了一种能够容易地放热的半导体芯片和堆叠型半导体封装。 根据本技术的半导体芯片包括：半导体芯片体，其包括形成有多个焊盘的第一表面和面向第一表面的第二表面; 多个第一和第二贯穿电极，其穿过半导体芯片主体并且通过其一侧电连接到焊盘; 绝缘层，其形成在所述半导体芯片主体的第二表面上，以暴露所述第一和第二贯通电极的另一侧; 以及形成在所述绝缘层上的第一热分布层。
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公开(公告)号：KR101461873B1
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：KR1020120119183
申请日：2012-10-25
Applicant: 현대자동차주식회사 , 기아자동차주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01M15/102 , F01N2560/05 , G01N15/0656
Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 입자상물질 센서유닛은 배기가스가 지나는 배기라인, 및 상기 배기라인의 일측에 설치되어, 상기 배기가스에 포함된 전하를 띤 입자상물질이 근처를 지날 때, 상기 입자상물질에 의해서 전하가 발생되는 정전유도방식의 센서를 포함하고, 상기 센서에는, 상기 입자상물질과 인접한 전면에 형성되는 전극부가 형성된다. 상기 전극부는, 배기가스가 흐르는 방향과 교차하는 방향으로 돌출되는 고랑타입일 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020130065409A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：KR1020110132255
申请日：2011-12-09
Applicant: 현대자동차주식회사 , 기아자동차주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N27/02 , F01N2560/05 , G01N15/0656 , G01N33/0027
Abstract: PURPOSE: A particulate matter sensor unit is provided to precisely determine the amount of particulate matter included in exhaust gas or the collecting amount of particulate matter such as the soot of DPF(Diesel Particulate Filter). CONSTITUTION: A particulate matter sensor unit includes an exhaust line and a PM sensor(120). Exhaust gas passes through the exhaust line. The PM(Particulate Matter) sensor is installed at one side of the exhaust line, and generates a signal when the particulate matter included in the exhaust air is passed adjacent to the PM sensor. The PM sensor has an electrostatic induction method that an induced charge is generated by the particulate matter when the particulate matter with a charge is passed by the PM sensor.
Abstract translation: 目的：提供颗粒物质传感器单元，以精确确定废气中所含的颗粒物质的量或颗粒物质的收集量，例如DPF（柴油颗粒过滤器）的烟灰。 构成：颗粒物质传感器单元包括排气管线和PM传感器（120）。 排气通过排气管。 PM（颗粒物）传感器安装在排气管线的一侧，当废气中包含的颗粒物质相邻于PM传感器时，产生信号。 PM传感器具有静电感应方法，当具有电荷的颗粒物质被PM传感器通过时，颗粒物质产生感应电荷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101110632B1
公开(公告)日：2012-03-05
申请号：KR1020100037347
申请日：2010-04-22
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 본발명은열전소자의집적도를향상시킴으로써단위면적당발전량이큰 초소형열전소자시스템을제작할수 있도록하는초소형열전소자의구조및 그제작방법에관한것으로, 전기전도도가높고열전도도가낮으며, 양단의고온단부위에서저온단부위로열 이동시각각전자와홀이고온단에서저온단으로이동하도록수평수직으로서로교차되도록적층되어있는 P형물질및 N형물질과; 전기전도도와열전도도가모두높으며, 적층상태의상기 P형물질및 N형물질각각의사이에형성된전기전도판과; 전기전도도가낮고열전도도가높으며, 상기전기전도판의일 측면혹은그 사이에위치하여고온단과저온단을형성하는방열판과; 전기전도도와열전도도가모두낮으며, 동일수평상에인접하게위치하는상기 P형물질및 N형물질의열전도를차단시키도록이들사이에형성된절연체를포함하여구성되는것을특징으로하는초소형열전소자의구조와그 제작방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR101044661B1
公开(公告)日：2011-06-28
申请号：KR1020080134696
申请日：2008-12-26
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명의 마이크로 펌프를 가지는 신경 탐침용 약물 전달 장치는, 약물을 저장하기 위한 저장부와, 상기 저장부에 저장된 약물을 채널을 통하여 전달하는 마이크로 펌프와, 외부 장치와 연결하기 위한 본딩 패드를 구비하는 캐리어; 조직에 삽입할 수 있도록 상기 캐리어에 대해 연장되는 탐침; 상기 탐침 내에 형성되어 상기 마이크로 펌프로부터 약물을 탐침의 끝부분으로 전달하는 미세 채널; 및 상기 탐침의 측면에 4개의 전극이 마름모 꼴로 배치되며 상기 캐리어의 본딩 패드에 전기적으로 연결되는 테트로드 전극;을 포함하는 점에 특징이 있다.
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公开(公告)号：KR1020100062071A
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：KR1020080120495
申请日：2008-12-01
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/027
Abstract: PURPOSE: A method of forming a via pattern structure and a method of measuring the resistance of the via pattern structure are provided to obtain the uniformity in thickness of a copper seed film by forming a copper seed film only on a bottom of a via contact patter using a first carrier wafer formed with a copper seed film. CONSTITUTION: A contact pattern(210) is formed on the top of a substrate(100). A first carrier wafer(400) formed with a copper seed film(420) is prepared. The substrate and the first carrier wafer are welded. A via contact pattern is formed by etching the lower part of the substrate. A via pattern is formed by filling the inside of the via contact pattern with copper. A first conductive line pattern covering a via pattern is formed on the substrate.
Abstract translation: 目的：提供形成通孔图案结构的方法和测量通孔图案结构的电阻的方法，以通过仅在通孔接触图案的底部形成铜籽晶膜来获得铜种子膜的厚度均匀性 使用形成有铜种子膜的第一载体晶片。 构成：在衬底（100）的顶部上形成接触图案（210）。 制备形成有铜种子膜（420）的第一载体晶片（400）。 焊接衬底和第一载体晶片。 通过蚀刻基板的下部形成通孔接触图案。 通过用铜填充通孔接触图案的内部形成通孔图案。 在衬底上形成覆盖通孔图案的第一导电线图形。
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公开(公告)号：KR101862223B1
公开(公告)日：2018-05-31
申请号：KR1020170064240
申请日：2017-05-24
Applicant: 한국과학기술원 , 한국표준과학연구원 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/08 , G01K7/22 , G01T1/161 , H01L31/18
Abstract: 본발명은기판; 온도변화를측정할수 있도록상기기판상에형성된적어도하나이상의서미스터(thermistor); 상기기판상에형성되며, 방사선흡수물질을채울수 있는적어도하나이상의마이크로유로채널(microfluidic channel)을구비하는박막부; 및방사선을흡수하여온도가변하며, 상기적어도하나이상의마이크로유로채널내에채워짐으로써상기서미스터상에배치되는방사선흡수체;를포함하는, 방사선흡수체를집적한방사선량계및 그제조방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR101500373B1
公开(公告)日：2015-03-09
申请号：KR1020130084909
申请日：2013-07-18
Applicant: 현대자동차주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N15/0656 , G01N15/0606 , G01N2015/0046 , G01N2015/0681
Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 입자상 물질 센서유닛은 전하를 띤 입자상 물질이 근처를 지날 때 반응하는 정전유도방식의 센서부, 전도성 패이스트를 통해서 상기 센서부가 일측에 부착되는 보호패드, 상기 보호패드에 형성되어 상기 센서부에서 부착된 입자상 물질을 태워서 제거하는 히터전극, 및 상기 보호패드에 형성되어 상기 센서부에서 발생되는 신호를 외부로 전달하는 센서전극을 포함할 수 있다.
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