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11.发明公开
公开(公告)号：KR1020110047554A
公开(公告)日：2011-05-09
申请号：KR1020090104232
申请日：2009-10-30
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/306 , H01L51/56 , H01L21/3065
CPC classification number: G03F7/422 , G03F7/427 , H01L51/442
Abstract: PURPOSE: A method for removing a photoresist, a method for manufacturing a zinc oxide TCO thin film including the same, and the zinc oxide TCO thin film are provided to improve efficiency by reducing resistivity of the zinc oxide thin film. CONSTITUTION: A photoresist is firstly removed by spraying organic solvents on the photoresist. The photoresist is secondly removed by etching the photoresist with a CDPR(Chemical Dry Photoresist remover). The organic solvent is selected from the group consisting of the isopropanol, ethyleneglycol monobutyl ether, diethylene glycol monobuthyl ether, triethelen glycol mono butyl ether, tetrahydro furfurly alcohol, N-methypyrrolidone, dimethyl sulfuroxide, methyl-beta methoxypropionate or the mixture thereof.
Abstract translation: 目的：提供一种除去光致抗蚀剂的方法，包括该方法的氧化锌TCO薄膜的制造方法和氧化锌TCO薄膜，以通过降低氧化锌薄膜的电阻率来提高效率。 构成：首先通过在光致抗蚀剂上喷涂有机溶剂来除去光致抗蚀剂。 通过用CDPR（化学干燥光刻胶去除剂）蚀刻光致抗蚀剂来第二次除去光致抗蚀剂。 有机溶剂选自异丙醇，乙二醇单丁基醚，二甘醇单丁醚，三
乙二醇单丁基醚，四氢糠醇，N-甲基吡咯烷酮，二甲基亚砜，甲基甲氧基丙酸甲酯或其混合物。-
公开(公告)号：KR1020080090226A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：KR1020070033488
申请日：2007-04-04
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: H01G9/2059 , B82Y10/00 , H01G9/2031 , H01L51/0048 , H01L51/0049 , H01L51/0086 , Y02E10/542 , Y02P70/521 , H01L31/042 , H01L31/1804
Abstract: A dye-sensitive solar cell and a manufacturing method thereof are provided to improve charge mobility by using a dye layer with a carbon nano tube and to provide a nano metal doping effect for enabling control of a static band gap capable of adjusting the efficiency of a solar cell and changes of optical features. A dye-sensitive solar cell includes a lower electrode(10), a dye layer(20) and a upper electrode(30). The lower electrode has a substrate(11), a catalyst layer(12) and a carbon nanorod layer(15). The substrate is a glass substrate deposited with FTO(Fluorine doped Tin Oxide). The dye layer is provided between the lower electrode and the upper electrode. The day layer has a Ti metal layer(13) and an Ni metal layer(14). The carbon nanorod layer is made through a hot-filament plasma chemical vapor deposition(PECVD). The dye layer is formed by mixing a carbon nano tube(21) with dye(22). The carbon nano tube is formed through the hot-filament plasma chemical vapor deposition(PECVD). The upper electrode has a substrate(31) and conductive oxide(32) deposited on the substrate.
Abstract translation: 提供了一种染料敏感的太阳能电池及其制造方法，以通过使用具有碳纳米管的染料层来提高电荷迁移率，并提供纳米金属掺杂效应，以便能够控制能够调节效率的静态带隙 太阳能电池和光学特征的变化。 染料敏感的太阳能电池包括下电极（10），染料层（20）和上电极（30）。 下电极具有基板（11），催化剂层（12）和碳纳米棒层（15）。 衬底是用FTO（掺杂氟的氧化锡）沉积的玻璃衬底。 染料层设置在下电极和上电极之间。 日间层具有Ti金属层（13）和Ni金属层（14）。 碳纳米棒层通过热丝等离子体化学气相沉积（PECVD）制成。 染料层通过将碳纳米管（21）与染料（22）混合而形成。 碳纳米管通过热丝等离子体化学气相沉积（PECVD）形成。 上部电极具有沉积在基板上的基板（31）和导电氧化物（32）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101757324B1
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：KR1020160025140
申请日：2016-03-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명에따르면, 졸-겔방법을사용한 VO박막의제조방법을제공함으로써, 단사정계 VO결정상으로정확하게형성되도록제어하면서도고밀도의균일한박막을제조하기때문에열변색(Thermochromic) 특성및 효율이현저히향상될뿐만아니라, 환류반응시간을획기적으로단축하여공정시간을절감하고, 과도한에너지사용을방지하여경제적이다.
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公开(公告)号：KR101141980B1
公开(公告)日：2012-05-07
申请号：KR1020090112221
申请日：2009-11-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 초음파 진동자를 이용하여 고른 크기의 액적을 가열로로 보낼 수 있는 초음파 열분해용 액적발생장치의 작동방법에 관한 것이다.
본 발명은, 일면에는 운반가스가 유입되는 유입구가 형성되고, 타면에는 상기 운반가스와 액적을 가열로로 내보내는 유출구가 형성되는 액적발생부; 및 상기 액적발생부 내부에 위치하는 액체의 밑면에 추음파진동을 가하는 진동부를 포함하며, 상기 진동부는, 폭방향 중심에 위치하고, 길이방향으로 하나 이상 배치되는 진동판으로 이루어지는 주진동부; 및 폭방향으로 상기 주진동부의 양옆에 위치하고, 길이방향으로 하나 이상 배치되는 진동판으로 이루어지는 보조진동부를 포함하고, 상기 주진동부와 상기 보조진동부의 진동수 및 진동에너지를 별도로 조절할 수 있으며, 상기 액적발생부의 유입구와 유출구가 형성된 일면과 타면은 수평방향으로 마주보도록 형성되는 액적발생장치를 작동하는 방법으로서, 상기 주진동부의 진동이 상기 보조진동부의 진동보다 작게 조절하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 고른 크기의 액적을 발생시켜 분무 열분해법에 이용할 수 있으며, 최종적으로 제조된 분말의 입도분포가 매우 향상되는 효과가 있다.
분무 열분해, 초음파 분무 열분해, 액적발생장치, 초음파 액적발생장치-
公开(公告)号：KR1020100138235A
公开(公告)日：2010-12-31
申请号：KR1020090056667
申请日：2009-06-24
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method and platinum catalyst thereof are provided to coat gold on platinum catalyst by using a thermal evaporation deposition method. CONSTITUTION: A platinum is deposited on an oxide tantalum substrate at the thickness of 1~2mm by using a thermal evaporation deposition method. When the platinum is grown up at the thickness less than 1nm, the catalyst activation is degraded. Aurum is deposited on the platinum deposit at the thickness of 0.05~0.2nm by using the thermal evaporation deposition method. The efficiency of aurum-platinum catalyst is improved by coating the platinum.
Abstract translation: 目的：提供一种制造方法和铂催化剂，通过使用热蒸发沉积法在铂催化剂上涂覆金。 构成：使用热蒸发沉积法将铂沉积在氧化钽基板上，厚度为1〜2mm。 当铂以小于1nm的厚度生长时，催化剂活化降解。 通过使用热蒸发沉积法将Aurum沉积在厚度为0.05〜0.2nm的铂沉积物上。 通过涂覆铂来提高极性铂催化剂的效率。
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公开(公告)号：KR100877517B1
公开(公告)日：2009-01-09
申请号：KR1020070033488
申请日：2007-04-04
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: H01G9/2059 , B82Y10/00 , H01G9/2031 , H01L51/0048 , H01L51/0049 , H01L51/0086 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 염료감응형 태양전지 및 이의 제조 방법이 개시된다. 염료감응형 태양전지는 탄소나노로드층을 구비한 하부전극; 및 상부전극과 하부전극 사이에 구비되고, 탄소나노튜브를 갖는 염료층을 포함할 수 있다. 본 발명은 금속 전극보다 물리적 특성이 우수한 탄소나노로드 전극을 포함하는 태양전지 및 이의 제조 방법을 제공할 수 있는 효과가 있다.
태양전지, 탄소나노튜브, 탄소나노로드-
公开(公告)号：KR1020060118259A
公开(公告)日：2006-11-23
申请号：KR1020050040866
申请日：2005-05-16
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H05B33/10
CPC classification number: H01L51/0018 , H01L21/0279 , H01L21/32136 , H01L51/56 , H01L2924/12044
Abstract: A method for etching a zinc oxide thin film using inductively coupled plasma is provided to improve productivity by processing selective etching for a zinc oxide thin film used as a transparent conductive electrode material based on the inductively coupled plasma. A method for etching a zinc oxide thin film using an inductively coupled plasma includes the steps of: preparing a substrate(28) on which a zinc oxide thin film or a metal-doped zinc oxide thin film is evaporated, and a photoresist for forming a pattern on the zinc oxide thin film is formed; installing the substrate on a side of a chamber which maintains a predetermined pressure; and providing a gas for forming a plasma in the chamber(10) by applying a first RF power to an inductive coil(24) installed on a position confronted with the substrate, and applying a second RF power to the substrate.
Abstract translation: 提供了使用电感耦合等离子体蚀刻氧化锌薄膜的方法，以通过对基于电感耦合等离子体的透明导电电极材料使用的氧化锌薄膜进行选择性蚀刻来提高生产率。 使用电感耦合等离子体蚀刻氧化锌薄膜的方法包括以下步骤：制备在其上蒸发氧化锌薄膜或金属掺杂的氧化锌薄膜的基板（28），以及用于形成 形成氧化锌薄膜上的图案; 将基板安装在保持预定压力的室的一侧上; 以及通过向安装在与所述基板相对的位置的感应线圈（24）施加第一RF功率并且向所述基板施加第二RF功率来提供用于在所述室（10）中形成等离子体的气体。
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