公开(公告)号：NL2008083A

公开(公告)日：2012-09-04

申请号：NL2008083

申请日：2012-01-05

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BEERENS RUUD ,  GROOT ANTONIUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2008157A

公开(公告)日：2012-08-24

申请号：NL2008157

申请日：2012-01-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BEERENS RUUD ,  GROOT ANTONIUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2005062A

公开(公告)日：2011-02-15

申请号：NL2005062

申请日：2010-07-09

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HOL SVEN ,  EIJK JAN ,  GROOT ANTONIUS ,  VERMEULEN JOHANNES ,  NAAIJKENS GEERT-JAN ,  KESSELS MARIJN ,  HOBBELEN DANIEL GODFRIED EMMA

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00