公开(公告)号：DE102018130290A1

公开(公告)日：2020-06-04

申请号：DE102018130290

申请日：2018-11-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  ZEISS CARL SMT GMBH

Inventor： HOL SVEN ,  LOOPSTRA ERIK ,  KAMMINGA JELMER ,  MERRY ROEL ,  SCHÖNHOFF ULRICH ,  HAUF MARKUS

IPC: H02K1/06 ,  G02B7/198 ,  G02B26/08 ,  G03F7/20

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Aktuatoreinrichtung (1), umfassend einen Elektromotor (15) und eine Stromgebereinheit (16), wobei der Elektromotor (15) einen Stator (17) und einen relativ zu dem Stator (17) auslenkbaren Läufer (10) aufweist. Der Stator (17) oder der Läufer (10) umfasst wenigstens eine erste Spulenanordnung (18), die ausgebildet und angeordnet ist, um eine Auslenkung des Läufers (10) aufgrund von elektromagnetischer Wechselwirkung zu erzeugen. Es ist vorgesehen, dass die erste Spulenanordnung (18) eine erste Spule (22) und eine zweite Spule (23) aufweist, wobei die erste Spule (22) mittels der Stromgebereinheit (16) mit einem ersten elektrischen Strom (i) und die zweite Spule (23) mittels der Stromgebereinheit (16) mit einem zweiten elektrischen Strom (i) beaufschlagbar ist. Die Stromgebereinheit (16) ist eingerichtet, um den ersten elektrischen Strom (i) und den zweiten elektrischen Strom (i) in Betrag und Richtung derart einzustellen, dass die in den Elektromotor (15) eingebrachte elektrische Leistung (P) über den auslenkbaren Bereich des Läufers (10) konstant ist.

公开(公告)号：NL2005062A

公开(公告)日：2011-02-15

申请号：NL2005062

申请日：2010-07-09

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HOL SVEN ,  EIJK JAN ,  GROOT ANTONIUS ,  VERMEULEN JOHANNES ,  NAAIJKENS GEERT-JAN ,  KESSELS MARIJN ,  HOBBELEN DANIEL GODFRIED EMMA

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL2011456A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：NL2011456

申请日：2013-09-17

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUIS EDWIN ,  VRIES GOSSE ,  HOL SVEN ,  REKKERS ERIK

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: An EUV optical apparatus includes a number of adjustable mirrors (22x) on mirror bodies (120). Each mirror body is supported on an actuator (100x) comprising a moving part (132, 134, 136) and a fixed casing part (128, 130). The actuator provides a resilient support (140, 142) for the mirror body so that it is tiltable with two degrees relative to the casing. An electromagnetic motor (166, 170-178) applies first part, under the influence of an applied motive force, the resilient mounting being arranged to provide a biasing force that resists said motive force. A magnetic coupling (102, 104a, 104b) is arranged between the moving and fixed parts so as to provide a counter-biasing force. The counter-biasing force partly opposes said biasing force and thereby reduces the motive force required to effect a given displacement. The actuator can thus be made with reduced size, weight and heat dissipation.

公开(公告)号：NL2005240A

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：NL2005240

申请日：2010-08-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HOL SVEN ,  GROOT ANTONIUS ,  CADEE THEODORUS ,  KESSELS MARIJN ,  HOBBELEN DAAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: Actuator for exerting a force and a torque on an object, wherein the actuator includes a first part that is movable with respect to a second part of the actuator in at least a first degree of freedom, wherein the object is mounted to the first part, wherein one of the parts is provided with a first electrical coil that is arranged to cooperate with a magnetizable portion of the other part and wherein a controller of the actuator is arranged to generate a first electrical current through the first electrical coil for generating a force between the parts, wherein the one of the parts is provided with a second electrical coil which is arranged to cooperated with a magnetizable portion of the other part, wherein the controller is further arranged to generate a second current through the second coil and the first current through the first electrical coil for exerting the force and torque between the parts so that the actuator is arranged to exert the force and the torque on the object with respect to the second part.