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公开(公告)号:GB2488928A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:GB201209216
申请日:2010-07-29
Applicant: IBM
Inventor: COTTE JOHN M , JAHNES CHRISTOPHER V , PENG HONGBO , ROSSNAGEL STEPHEN M
Abstract: A filter includes a membrane having a plurality of nanochannels (14) formed therein. A first surface charge material (18) is deposited on an end portion of the nanochannels. The first surface charge material includes a surface charge to electrostatically influence ions in an electrolytic solution (20) such that the nanochannels reflect ions back into the electrolytic solution while passing a fluid of the electrolytic solution. Methods for making and using the filter are also provided.
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公开(公告)号:DE112012001114B4
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:DE112012001114
申请日:2012-03-08
Applicant: IBM
Inventor: DANG BING , PENG HONGBO
IPC: H01L21/82 , B82Y15/00 , G01N27/414 , G01N33/487 , H01L27/04
Abstract: Verfahren zum Bilden eines Nanoporenfelds, wobei das Verfahren aufweist: Strukturieren einer vorderen Schicht eines Substrats, um vordere Gräben zu bilden, wobei das Substrat eine vergrabene Schicht enthält, die zwischen der vorderen Schicht und einer hinteren Schicht angeordnet ist; Abscheiden einer Membranschicht über der strukturierten vorderen Schicht und in den vorderen Gräben; Strukturieren der hinteren Schicht und der vergrabenen Schicht, um hintere Gräben zu bilden, wobei die hinteren Gräben an den vorderen Gräben ausgerichtet sind; Bilden einer Vielzahl von Nanoporen des Nanoporenfelds durch die Membranschicht; Abscheiden eines Opfermaterials in den vorderen Gräben und den hinteren Gräben; Abscheiden einer vorderen und hinteren Isolationsschicht über dem Opfermaterial; und Erhitzen des Opfermaterials auf eine Zersetzungstemperatur des Opfermaterials, um das Opfermaterial zu entfernen und Paare von vorderen und hinteren Kanälen zu bilden, wobei der vordere Kanal jedes Kanalpaars über eine einzelne Nanopore mit dem hinteren Kanal seines jeweiligen Kanalpaars verbunden ist.
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公开(公告)号:GB2504041B
公开(公告)日:2015-11-11
申请号:GB201319326
申请日:2012-03-08
Applicant: IBM
Inventor: DANG BING , PENG HONGBO
IPC: H01L51/10 , B82Y15/00 , G01N27/403 , G01N27/414 , H01L21/70 , H01L51/56
Abstract: A method of forming a nanopore array includes patterning a front layer of a substrate to form front trenches, the substrate including a buried layer disposed between the front layer and a back layer; depositing a membrane layer over the patterned front layer and in the front trenches; patterning the back layer and the buried layer to form back trenches, the back trenches being aligned with the front trenches; forming a plurality of nanopores through the membrane layer; depositing a sacrificial material in the front trenches and the back trenches; depositing front and back insulating layers over the sacrificial material; and heating the sacrificial material to a decomposition temperature of the sacrificial material to remove the sacrificial material and form pairs of front and back channels, wherein the front channel of each channel pair is connected to the back channel of its respective channel pair by an individual nanopore.
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公开(公告)号:GB2504041A
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:GB201319326
申请日:2012-03-08
Applicant: IBM
Inventor: DANG BING , PENG HONGBO
IPC: H01L51/10 , B82Y15/00 , G01N27/403 , G01N27/414 , H01L21/70 , H01L51/56
Abstract: A method of forming a nanopore array includes patterning a front layer of a substrate to form front trenches, the substrate including a buried layer disposed between the front layer and a back layer; depositing a membrane layer over the patterned front layer and in the front trenches; patterning the back layer and the buried layer to form back trenches, the back trenches being aligned with the front trenches; forming a plurality of nanopores through the membrane layer; depositing a sacrificial material in the front trenches and the back trenches; depositing front and back insulating layers over the sacrificial material; and heating the sacrificial material to a decomposition temperature of the sacrificial material to remove the sacrificial material and form pairs of front and back channels, wherein the front channel of each channel pair is connected to the back channel of its respective channel pair by an individual nanopore.
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公开(公告)号:DE112011102090B4
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:DE112011102090
申请日:2011-06-15
Applicant: IBM
Inventor: LUAN BINQUAN , NEWNS DENNIS , POLONSKY STANISLAV , PENG HONGBO , ROSSNAGEL STEPHEN , MARTYNA GLENN JOHN , STOLOVITZKY GUSTAVO ALEJANDRO , HARRER STEFAN , AFZALIARDAKANI ALI
Abstract: Nanofluidische Feldeffekteinheit, aufweisend: einen nanofluidischen Kanal, der eine erste Seite und eine zweite Seite aufweist; einen ersten Satz von Elektroden angrenzend an die erste Seite des nanofluidischen Kanals; einen zweiten Satz von Elektroden angrenzend an die zweite gegenüberliegende Seite des nanofluidischen Kanals; und eine Steuereinheit zum Anlegen eines elektrischen Potentials an eine Elektrode; wobei die Elektroden des ersten Satzes von Elektroden so angeordnet sind, dass, wenn sich ein Fluid mit einem geladenen Molekül in dem nanofluidischen Kanal befindet, durch das Anlegen des elektrischen Potentials an den ersten Satz von Elektroden ein sich räumlich veränderndes elektrisches Feld erzeugt wird, das das geladene Molekül in einem festgelegten Bereich des Kanals einschließt; und wobei die Elektroden des zweiten Satzes von Elektroden so gegenüber dem ersten Satz von Elektroden angeordnet sind, dass durch Anlegen des elektrischen Potentials an den zweiten Satz von Elektroden relativ zu dem an den ersten Satz von Elektroden angelegten elektrischen ...
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公开(公告)号:GB2511720A
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:GB201215450
申请日:2011-02-07
Applicant: IBM
Inventor: LUAN BINQUAN , MARTYNA GLENN J , PENG HONGBO , STOLOVITSKY GUSTAVO A
IPC: C12Q1/68
Abstract: Apparatus, system, and method are provided for cutting a linear charged polymer inside a nanopore. A first voltage is applied to create an electric field in a first direction. A second voltage is applied to create an electric field in a second direction, and the first direction is opposite to the second direction. When the electric field in the first direction and the electric field in the second direction are applied to a linear charged polymer inside a nanopore, the linear charged polymer is cut at a location with predetermined accuracy.
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公开(公告)号:DE112012003274T5
公开(公告)日:2014-06-26
申请号:DE112012003274
申请日:2012-07-13
Applicant: IBM
Inventor: HARRER STEFAN , ROSSNAGEL STEPHEN M , ROYYURU AJAY K , WALKER GEORGE F , MARTYNA GLENN J , POLONSKY STANISLAV , LUAN BINQUAN , PENG HONGBO , STOLOVITZKY GUSTAVO A
IPC: G01N27/30
Abstract: Eine Technik zum Steuern der Bewegung von einem oder mehreren mit einem Polymer verbundenen geladenen Gebilden durch einen Nanokanal wird bereitgestellt. Ein erstes Reservoir und ein zweites Reservoir sind durch den Nanokanal verbunden. Eine Elektrodenanordnung ist entlang des Nanokanals positioniert, wobei das erste Reservoir, das zweite Reservoir und der Nanokanal mit Fluid gefüllt sind. Eine erste Elektrode befindet sich im ersten Reservoir und eine zweite Elektrode im zweiten Reservoir. Die erste und die zweite Elektrode sind so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren mit dem Polymer verbundenen geladenen Gebilde in den Nanokanal lenken. Eine Elektrodenanordnung ist so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren geladenen Gebilde in dem Nanokanal einschließt, wenn sie im Hinblick auf Einschließen gesteuert wird. Die Elektrodenanordnung ist so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren geladenen Gebilde entlang des Nanokanals bewegt, wenn sie im Hinblick auf Bewegen gesteuert wird.
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公开(公告)号:GB2488928B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:GB201209216
申请日:2010-07-29
Applicant: IBM
Inventor: COTTE JOHN M , JAHNES CHRISTOPHER V , PENG HONGBO , ROSSNAGEL STEPHEN M
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公开(公告)号:DE112012001114T5
公开(公告)日:2014-01-09
申请号:DE112012001114
申请日:2012-03-08
Applicant: IBM
Inventor: DANG BING , PENG HONGBO
IPC: H01L51/10
Abstract: Ein Verfahren zum Bilden eines Nanoporenfelds beinhaltet ein Strukturieren einer vorderen Schicht eines Substrats, um vordere Gräben zu bilden, wobei das Substrat eine vergrabene Schicht beinhaltet, die zwischen der vorderen Schicht und einer hinteren Schicht angeordnet ist; ein Abscheiden einer Membranschicht über der strukturierten vorderen Schicht und in den vorderen Gräben; ein Strukturieren der hinteren Schicht und der vergrabenen Schicht, um hintere Gräben zu bilden, wobei die hinteren Gräben an den vorderen Gräben ausgerichtet sind; ein Bilden einer Vielzahl von Nanoporen durch die Membranschicht; ein Abscheiden eines Opfermaterials in den vorderen Gräben und den hinteren Gräben; ein Abscheiden einer vorderen und hinteren Isolationsschicht über dem Opfermaterial; und ein Erhitzen des Opfermaterials auf eine Zersetzungstemperatur des Opfermaterials, um das Opfermaterial zu entfernen und Paare von vorderen und hinteren Kanälen zu bilden, wobei der vordere Kanal jedes Kanalpaars über eine einzelne Nanopore mit dem hinteren Kanal des jeweiligen Kanalpaars verbunden ist.
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公开(公告)号:DE112011102090T5
公开(公告)日:2013-07-18
申请号:DE112011102090
申请日:2011-06-15
Applicant: IBM
Inventor: LUAN BINQUAN , NEWNS DENNIS , POLONSKY STANISLAV , PENG HONGBO , ROSSNAGEL STEPHEN , MARTYNA GLENN JOHN , STOLOVITZKY GUSTAVO ALEJANDRO , HARRER STEFAN , AFZALIARDAKANI ALI
Abstract: Eine nanofluidische Feldeffekteinheit weist einen Kanal, der eine erste Seite und eine zweite Seite, einen ersten Satz von Elektroden angrenzend an die erste Seite, einen zweiten Satz von Elektroden angrenzend an die zweite Seite, eine Steuereinheit zum Anlegen elektrischer Potentiale an die Elektroden und ein Fluid in dem Kanal auf, das ein geladenes Molekül enthält. Der erste Satz von Elektroden ist so angeordnet, dass durch das Anlegen des elektrischen Potentials ein sich räumlich veränderndes elektrisches Feld erzeugt wird, das ein geladenes Molekül in einem festgelegten Bereich des Kanals einschließt. Der zweite Satz von Elektroden ist so angeordnet, dass durch das Anlegen von elektrischen Potentialen relativ zu dem an den ersten Satz von Elektroden angelegten elektrischen Potentialen ein elektrisches Feld erzeugt wird, das das geladene Molekül in einem Bereich einschließt, der von der zweiten Seite des Kanals entfernt ist.
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