Selbstabgedichtete Fluidkanäle für ein Nanoporenfeld

    公开(公告)号:DE112012001114B4

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:DE112012001114

    申请日:2012-03-08

    Applicant: IBM

    Abstract: Verfahren zum Bilden eines Nanoporenfelds, wobei das Verfahren aufweist: Strukturieren einer vorderen Schicht eines Substrats, um vordere Gräben zu bilden, wobei das Substrat eine vergrabene Schicht enthält, die zwischen der vorderen Schicht und einer hinteren Schicht angeordnet ist; Abscheiden einer Membranschicht über der strukturierten vorderen Schicht und in den vorderen Gräben; Strukturieren der hinteren Schicht und der vergrabenen Schicht, um hintere Gräben zu bilden, wobei die hinteren Gräben an den vorderen Gräben ausgerichtet sind; Bilden einer Vielzahl von Nanoporen des Nanoporenfelds durch die Membranschicht; Abscheiden eines Opfermaterials in den vorderen Gräben und den hinteren Gräben; Abscheiden einer vorderen und hinteren Isolationsschicht über dem Opfermaterial; und Erhitzen des Opfermaterials auf eine Zersetzungstemperatur des Opfermaterials, um das Opfermaterial zu entfernen und Paare von vorderen und hinteren Kanälen zu bilden, wobei der vordere Kanal jedes Kanalpaars über eine einzelne Nanopore mit dem hinteren Kanal seines jeweiligen Kanalpaars verbunden ist.

    Self-sealed fluidic channels for a nanopore array

    公开(公告)号:GB2504041B

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:GB201319326

    申请日:2012-03-08

    Applicant: IBM

    Abstract: A method of forming a nanopore array includes patterning a front layer of a substrate to form front trenches, the substrate including a buried layer disposed between the front layer and a back layer; depositing a membrane layer over the patterned front layer and in the front trenches; patterning the back layer and the buried layer to form back trenches, the back trenches being aligned with the front trenches; forming a plurality of nanopores through the membrane layer; depositing a sacrificial material in the front trenches and the back trenches; depositing front and back insulating layers over the sacrificial material; and heating the sacrificial material to a decomposition temperature of the sacrificial material to remove the sacrificial material and form pairs of front and back channels, wherein the front channel of each channel pair is connected to the back channel of its respective channel pair by an individual nanopore.

    Self-sealed fluidic channels for a nanopore array

    公开(公告)号:GB2504041A

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:GB201319326

    申请日:2012-03-08

    Applicant: IBM

    Abstract: A method of forming a nanopore array includes patterning a front layer of a substrate to form front trenches, the substrate including a buried layer disposed between the front layer and a back layer; depositing a membrane layer over the patterned front layer and in the front trenches; patterning the back layer and the buried layer to form back trenches, the back trenches being aligned with the front trenches; forming a plurality of nanopores through the membrane layer; depositing a sacrificial material in the front trenches and the back trenches; depositing front and back insulating layers over the sacrificial material; and heating the sacrificial material to a decomposition temperature of the sacrificial material to remove the sacrificial material and form pairs of front and back channels, wherein the front channel of each channel pair is connected to the back channel of its respective channel pair by an individual nanopore.

    Nanopore based device for cutting long DNA molecules into fragments

    公开(公告)号:GB2511720A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:GB201215450

    申请日:2011-02-07

    Applicant: IBM

    Abstract: Apparatus, system, and method are provided for cutting a linear charged polymer inside a nanopore. A first voltage is applied to create an electric field in a first direction. A second voltage is applied to create an electric field in a second direction, and the first direction is opposite to the second direction. When the electric field in the first direction and the electric field in the second direction are applied to a linear charged polymer inside a nanopore, the linear charged polymer is cut at a location with predetermined accuracy.

    Geladene Gebilde als Lokomotive zur Steuerung der Bewegung von Polymeren durch einen Nanokanal

    公开(公告)号:DE112012003274T5

    公开(公告)日:2014-06-26

    申请号:DE112012003274

    申请日:2012-07-13

    Applicant: IBM

    Abstract: Eine Technik zum Steuern der Bewegung von einem oder mehreren mit einem Polymer verbundenen geladenen Gebilden durch einen Nanokanal wird bereitgestellt. Ein erstes Reservoir und ein zweites Reservoir sind durch den Nanokanal verbunden. Eine Elektrodenanordnung ist entlang des Nanokanals positioniert, wobei das erste Reservoir, das zweite Reservoir und der Nanokanal mit Fluid gefüllt sind. Eine erste Elektrode befindet sich im ersten Reservoir und eine zweite Elektrode im zweiten Reservoir. Die erste und die zweite Elektrode sind so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren mit dem Polymer verbundenen geladenen Gebilde in den Nanokanal lenken. Eine Elektrodenanordnung ist so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren geladenen Gebilde in dem Nanokanal einschließt, wenn sie im Hinblick auf Einschließen gesteuert wird. Die Elektrodenanordnung ist so konfiguriert, dass sie das eine oder die mehreren geladenen Gebilde entlang des Nanokanals bewegt, wenn sie im Hinblick auf Bewegen gesteuert wird.

    Selbstabgedichtete Fluidkanäle für ein Nanoporenfeld

    公开(公告)号:DE112012001114T5

    公开(公告)日:2014-01-09

    申请号:DE112012001114

    申请日:2012-03-08

    Applicant: IBM

    Abstract: Ein Verfahren zum Bilden eines Nanoporenfelds beinhaltet ein Strukturieren einer vorderen Schicht eines Substrats, um vordere Gräben zu bilden, wobei das Substrat eine vergrabene Schicht beinhaltet, die zwischen der vorderen Schicht und einer hinteren Schicht angeordnet ist; ein Abscheiden einer Membranschicht über der strukturierten vorderen Schicht und in den vorderen Gräben; ein Strukturieren der hinteren Schicht und der vergrabenen Schicht, um hintere Gräben zu bilden, wobei die hinteren Gräben an den vorderen Gräben ausgerichtet sind; ein Bilden einer Vielzahl von Nanoporen durch die Membranschicht; ein Abscheiden eines Opfermaterials in den vorderen Gräben und den hinteren Gräben; ein Abscheiden einer vorderen und hinteren Isolationsschicht über dem Opfermaterial; und ein Erhitzen des Opfermaterials auf eine Zersetzungstemperatur des Opfermaterials, um das Opfermaterial zu entfernen und Paare von vorderen und hinteren Kanälen zu bilden, wobei der vordere Kanal jedes Kanalpaars über eine einzelne Nanopore mit dem hinteren Kanal des jeweiligen Kanalpaars verbunden ist.

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