Integrierte Schaltung und zugehöriges Herstellungsverfahren zur Verringerung von Funkelrauschen

    公开(公告)号:DE102007041082B4

    公开(公告)日:2012-04-26

    申请号:DE102007041082

    申请日:2007-08-30

    Inventor: SIPRAK DOMAGOJ

    Abstract: Eine integrierte Schaltung, umfassend: ein Halbleitersubstrat (104); eine Vielzahl von auf dem Halbleitersubstrat (104) angeordneten Finnen (102A, 102B, 102C, 102D); einen Gateisolator (110; 302, 304), der auf der Vielzahl von Finnen angeordnet ist; und einen Gatestapel (112), der auf dem Gateisolator (110; 304) angeordnet ist, wobei jede der Vielzahl der Finnen (102A, 102B, 102C, 102D) ein Kanalgebiet an zumindest zwei Seitenflächen umfasst, wobei das Kanalgebiet zur Verringerung von Funkelrauschen ein Dotiermittel an den Seitenflächen beinhaltet, dessen Höchstkonzentration in der Mitte jeder Finne liegt, und wobei der Gateisolator (110; 302, 304) über den Seitenflächen von jeder der Finnen (102A, 102B, 102C, 102D) angeordnet ist, wobei der Gateisolator das Dotiermittel beinhaltet.

    LDMOS-Vorrichtungen und Verfahren zum Ausbilden eines Grabenisolationsbereichs in einer LDMOS-Vorrichtung

    公开(公告)号:DE102010037889B4

    公开(公告)日:2017-07-27

    申请号:DE102010037889

    申请日:2010-09-30

    Abstract: LDMOS-Vorrichtung (100), die aufweist: • einen ersten dotierten Bereich (102) innerhalb eines Halbleitersubstrats (104), der als erweiterter Drainbereich eingerichtet ist; • einen Grabenisolationsbereich (106), wobei der Grabenisolationsbereich (106) ein Rauschverringerungsmittel aufweist und wobei der Grabenisolationsbereich (106) einen ersten Abschnitt und einen zweiten Abschnitt aufweist, wobei der erste Abschnitt zwischen dem Halbleitersubstrat (104) und dem zweiten Abschnitt liegt und wobei zumindest der erste Abschnitt das Rauschverringerungsmittel aufweist; und • einen zweiten dotierten Bereich (110) zwischen dem ersten dotierten Bereich (102) und dem Grabenisolationsbereich (106), wobei der Grabenisolationsbereich (106) und der zweite dotierte Bereich (110) zumindest teilweise innerhalb des ersten dotierten Bereichs (102) ausgebildet sind; • wobei sich ein Raumladungsbereich (118) zwischen dem zweiten dotierten Bereich (110) und dem ersten dotierten Bereich (102) erstreckt und den LDMOS-Stromfluss vom Grabenisolationsbereich (106) trennt.

    Wellenleiter
    16.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102012223256A1

    公开(公告)日:2013-06-20

    申请号:DE102012223256

    申请日:2012-12-14

    Inventor: SIPRAK DOMAGOJ

    Abstract: Ein Wellenleiter umfasst einen inneren Leiter, der in einer ersten Schicht angeordnet ist, ein Paar von äußerem Leitern, das einen ersten äußeren Leiter und einen zweiten äußeren Leiter umfasst, und ein Paar von geschlitzten Abschirmungen, das eine erste geschlitzte Abschirmung und eine zweite geschlitzte Abschirmung umfasst. Die erste geschlitzte Abschirmung und die zweite geschlitzte Abschirmung sind in einer zweiten Schicht mit einem Abstand dazwischen angeordnet, um einen Teil einer Masseabschirmung zu bilden, wobei die zweite Schicht zu der ersten Schicht parallel ist. Die erste geschlitzte Abschirmung ist mit dem ersten äußeren Leiter verbunden und die zweite geschlitzte Abschirmung ist mit dem zweiten äußeren Leiter verbunden.

    Verfahren zum Herstellen eines siliziumbasierten Metalloxidhalbleiterbauelements

    公开(公告)号:DE102008064728B4

    公开(公告)日:2013-03-21

    申请号:DE102008064728

    申请日:2008-06-25

    Inventor: SIPRAK DOMAGOJ

    Abstract: Verfahren zum Herstellen eines siliziumbasierten Metalloxidhalbleiterbauelements, umfassend: Implantieren eines ersten Dotierstoffs in ein teilweise fertiggestelltes Bauelement während einer ersten Zeitspanne des Herstellungsverfahrens, wobei der erste Dotierstoff eine erste rauschen-reduzierende Spezies umfasst, wobei der erste Dotierstoff kein BF2 + enthält; und Implantieren eines zweiten Dotierstoffs in das teilweise fertiggestellte Bauelement während einer zweiten Zeitspanne des Herstellungsverfahrens, wobei der zweite Dotierstoff und der erste Dotierstoff von entgegengesetzten Leitfähigkeitstypen sind, wobei der zweite Dotierstoff kein BF2 + enthält.

    19.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102007041082A1

    公开(公告)日:2008-03-27

    申请号:DE102007041082

    申请日:2007-08-30

    Inventor: SIPRAK DOMAGOJ

    Abstract: Some embodiments discussed relate to an integrated circuit and methods for making it. Certain examples can include a fin, a gate insulator over a sidewall of the fin, and a noise-reducing dopant at or near an interface of the gate insulator and the sidewall.

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