公开(公告)号：DE10204367A1

公开(公告)日：2003-09-18

申请号：DE10204367

申请日：2002-02-02

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： CEMIC FRANZ ,  DANNER LAMBERT ,  MAINBERGER ROBERT ,  VEITH MICHAEL ,  OSTERFELD MARTIN ,  GRAF UWE

IPC: G02B7/28 ,  G02B21/24 ,  G02B7/09

Abstract: Autofocus module for a microscope system (2) comprises: at least two light sources (20, 21) each of which generates a light beam (22) for focussing; optical deflector or prism (27, 32) for deflection of a part of each beam into an beam that is used to illuminate an object; and at least first and second detectors (35, 45) for detecting light originating from respective light sources reflected from the object. Independent claims are included for: (1) a corresponding microscope system; (2) autofocus method. According to the method the optimal focal position is determined using the measured intensities on the first and second detectors.

公开(公告)号：DE102017109252A1

公开(公告)日：2018-10-31

申请号：DE102017109252

申请日：2017-04-28

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： WEBER MARKUS ,  MAINBERGER ROBERT

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/24 ,  G05B19/042 ,  G06F19/00

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikroskopsteuerungseinheit (100) mit Ein-und Ausgängen (101), die mit einer oder mehreren elektrisch ansteuerbaren Mikroskopkomponenten (201, 202, 203, 204, 301, 302, 303, 304) oder anderen elektrisch ansteuerbaren Komponenten verbindbar sind, wobei auf der Mikroskopsteuerungseinheit (100) mindestens ein Script mit Scriptbefehlen bereitgestellt ist, und wobei diesen Scriptbefehlen auswählbare Funktionen der Ein- und Ausgänge zugeordnet sind. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Mikroskopsystem mit einer solchen Mikroskopsteuerungseinheit (100) und wenigstens einer Mikroskop- oder anderen elektrisch ansteuerbaren Komponente.

公开(公告)号：DE10061628B4

公开(公告)日：2006-06-08

申请号：DE10061628

申请日：2000-12-11

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： MAINBERGER ROBERT ,  HAHN KURT

IPC: B25J9/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683

公开(公告)号：DE10232242A1

公开(公告)日：2004-02-05

申请号：DE10232242

申请日：2002-07-17

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： SOENKSEN DIRK ,  MAINBERGER ROBERT ,  SCHMIDT GUENTER

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/26 ,  G02B21/36

Abstract: A process for scanning a probe (1) on a scanning table (2) using an optical imaging system with a camera or optical measuring device (7) comprises calibrating and storing the scanning table height data, scanning the probe and determining the probe height data with respect to the table data. An Independent claim is also included for a device to carry out the above process.

公开(公告)号：DE102017218449B3

公开(公告)日：2019-02-21

申请号：DE102017218449

申请日：2017-10-16

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： SCHUMANN CHRISTIAN ,  WEBER MARKUS ,  MAINBERGER ROBERT

IPC: G02B21/36 ,  G02B7/32 ,  G02B21/06 ,  G02B21/24

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Autofokus-Messsystems (120) einer Fokusstabilisierungseinrichtung eines Mikroskopsystems (100), wobei während einer Aufnahme von für die weitere Verarbeitung oder Darstellung vorgesehenen Bildern durch eine in einem Bildaufnahmestrahlengang (105) angeordnete Bildaufnahmeeinrichtung (106) des Mikroskopsystems (100) eine Autofokus-Lichtquelle (122) ausgeschaltet oder von der Autofokus-Lichtquelle (122) ausgehendes Nutzlicht aus dem Bildaufnahmestrahlengang (105) ausgeblendet wird.

公开(公告)号：DE102012210905A1

公开(公告)日：2014-01-02

申请号：DE102012210905

申请日：2012-06-26

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： SIEPER JOCHEN ,  MAINBERGER ROBERT ,  RENTZSCH WOLFGANG

IPC: H05B37/02 ,  G02B21/06

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungseinrichtung (100) für ein Mikroskop (200) aufweisend eine Lichtquelle (110) sowie wenigstens zwei Stromregeleinrichtungen (120, 130), wobei jede der wenigstens zwei Stromregeleinrichtungen (120, 130) einen Sollwerteingang (121, 131) und eine Messwiderstandsanordnung (R1; R2) aufweist und dazu eingerichtet ist, einen Durchflussstrom (I1, I2) für die Lichtquelle (110) zu liefern und über einen Spannungsabfall (U1, U2) an der Messwiderstandsanordnung (R1; R2) die Stärke des Durchflussstroms (I1, I2) basierend auf einem an dem Sollwerteingang (121, 131) anliegenden Signal (US1, US2) zu regeln.

公开(公告)号：DE102012207217A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：DE102012207217

申请日：2012-04-30

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： RENTZSCH WOLFGANG ,  SIEPER JOCHEN ,  MAINBERGER ROBERT

IPC: G02B21/06 ,  H05B37/02

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft Beleuchtungseinrichtung (100) für ein Mikroskop (200) aufweisend eine Lichtquelle (110) sowie eine Stromregeleinrichtung (120), welche eine Messwiderstandsanordnung (130) aufweist und dazu eingerichtet ist, einen Durchflussstrom (I0) für die Lichtquelle (110) zu liefern und die Stärke des Durchflussstroms (I0) anhand eines Spannungsabfalls (U0) an der Messwiderstandsanordnung (130) zu regeln, wobei die Messwiderstandsanordnung (130) so ausgebildet ist, dass sie in wenigstens zwei unterschiedliche Widerstands-Konfigurationen mit unterschiedlichen elektrischen Widerständen gebracht werden kann.

公开(公告)号：AU2003253422A1

公开(公告)日：2004-03-11

申请号：AU2003253422

申请日：2003-08-21

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： DANNER LAMBERT ,  GRAF UWE ,  MAINBERGER ROBERT ,  SONKSEN DIRK ,  KNORZ VOLKER ,  CEMIC FRANZ

IPC: G01B11/30 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G02B21/06 ,  G02B21/10 ,  G02B21/12 ,  H01L21/66

Abstract: A device and method for inspecting an object ( 2 ) uses a bright field illumination beam path ( 4 ) of a bright field light source ( 5 ), said beam path being formed so that it passes through the projection optics ( 3 ), and a dark field illumination beam path ( 6 ) of a dark field light source ( 7 ), this beam path being formed so that it also passes through the projection optics ( 3 ). The object ( 2 ) can be projected by the projection optics ( 3 ) onto the least one detector ( 8 ), and the object ( 2 ) is simultaneously illuminated by both light sources ( 5, 7 ). In order to simultaneously detect bright field images and dark field images without involving complicated filtering operations, the light used for the dark field illumination is pulsed and the pulse intensity of the light used for the dark field illumination is greater by at least one order of magnitude than the intensity of the continuous light, which is used for the bright field illumination, during a pulsed interval.

公开(公告)号：DE10157244A1

公开(公告)日：2003-06-12

申请号：DE10157244

申请日：2001-11-22

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： MAINBERGER ROBERT

IPC: G01N21/95 ,  G03F7/20 ,  G01N21/88

公开(公告)号：DE19704296C2

公开(公告)日：2001-03-01

申请号：DE19704296

申请日：1997-02-06

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： MAINBERGER ROBERT

IPC: H02P8/00 ,  H02P8/22 ,  H02P8/12 ,  H02P8/18

Abstract: A method and an apparatus for driving a stepping motor is provided. Digital desired current values are stored in the form of a sine table and are read from the sine table at a constant sampling frequency. The intervals between the read-out table values can be varied equally and unequally. The digital desired current values are converted into discrete analog signals. A sinusoidal signal is reconstructed from the analog signals. A motor current for exciting a phase of the stepping motor is derived from the sinusoidal signal.