公开(公告)号：FR2951026B1

公开(公告)日：2011-12-02

申请号：FR0956868

申请日：2009-10-01

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  ST MICROELECTRONICS CROLLES 2

Inventor： PETIT DAVID ,  JOBLOT SYLVAIN ,  BAR PIERRE ,  CARPENTIER JEAN-FRANCOIS ,  DAUTRICHE PIERRE

IPC: H01L41/22 ,  H03H9/15

公开(公告)号：FR2951027A1

公开(公告)日：2011-04-08

申请号：FR0956872

申请日：2009-10-01

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： BAR PIERRE ,  JOBLOT SYLVAIN ,  PETIT DAVID ,  CARPENTIER JEAN-FRANCOIS

IPC: H01L41/22 ,  H03H9/15

Abstract: L'invention concerne un résonateur BAW (11) comportant, entre un résonateur piézoélectrique (15) et un substrat (13) : un miroir de Bragg (17) comprenant une alternance de couches de tungstène (7a) et de couches d'oxyde de silicium (7b) ; et du côté du substrat, au moins une couche (19) en un premier matériau absorbant pour les ondes acoustiques et présentant une impédance acoustique inférieure à celle du tungstène.