公开(公告)号：CN1660690A

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN200510063942.5

申请日：2001-05-02

Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司

Inventor： 基亚·西尔弗布鲁克

IPC: B81B3/00 ,  B41J2/045

CPC classification number: B41J2/1645 ,  B41J2/14427 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1648 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/052 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49401

Abstract: 一种热致弯曲致动器(6)，其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28)，在横截面中，上支臂和下支臂具有构造成用于在垂直于其纵向的方向上提高抗弯曲性的第二力矩区。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开，并且在平面图中彼此不重叠，从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。

公开(公告)号：CN107188109A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710386221.0

申请日：2017-05-26

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 魏峰 ,  赵鸿滨 ,  苑鹏 ,  杜军

IPC: B81B3/00 ,  B81C3/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/04 ,  B81C3/001

Abstract: 本发明属于微机电技术领域，尤其涉及一种低驱动电压凹面电极静电执行器及制作方法，静电执行器包括：由弹性薄膜作为上电极和由塑性薄膜作为凹面电极，上电极的下表面和凹面电极的上表面之间形成封闭空间；电极或凹面电极的上、下表面均为绝缘薄膜。制作方法包括：分别对具有硅厚度和氧化层厚度的两个SOI片进行、清洗、热氧化、气相沉积氮化层后进行曝光、刻蚀后进行键合，最后通过填充环氧树脂胶并固化收缩效应或通过真空吸盘抽空形成凹面结构。本发明的凹面电极静电执行器可用于泵腔的执行器或主动式阀门的执行器，不仅简化微泵加工工艺，而且能够使以往微泵高于100V的驱动电压降低到几十伏，大大增加了静电式微泵的驱动力。

公开(公告)号：CN105555336A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201480051996.7

申请日：2014-08-05

Applicant: 康迈德医疗器械有限公司

Inventor： 秦彦哲 ,  葛志飞

IPC: A61M5/145 ,  A61K9/00 ,  F04B43/04 ,  A61M5/142 ,  F16K99/00

CPC classification number: A61M5/14248 ,  A61M5/14586 ,  A61M5/16881 ,  A61M39/24 ,  A61M2005/14252 ,  A61M2205/3334 ,  A61M2205/35 ,  A61M2205/581 ,  A61M2205/582 ,  A61M2207/00 ,  B32B37/12 ,  B32B2535/00 ,  B81B2201/036 ,  B81C1/00158 ,  B81C2201/034 ,  F04B43/043 ,  F04B53/10 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094

Abstract: 一种用于将一种或多种药物可控准确皮下输送到患者的柔性贴片泵包括层状分层结构。该泵可以具有：刚性储器层，所述刚性储器层包括布置在柔性材料中的多个刚性储器；柔性微流体层，所述柔性微流体层包括用于密封刚性储器的柔顺膜、连接刚性储器的微流体通道的网络和与刚性储器相对应的多个入口和/或出口阀；和柔性-刚性电子电路层，所述柔性-刚性电子电路层包括多个可单独寻址的致动器。在操作中，刚性储器可以容纳药物，所述药物例如由于在寻址的储器中通过柔顺膜或其它致动元件的位移导致的压力变化而在适当的时间以精确的体积来分配。

公开(公告)号：CN105453408A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480044811.X

申请日：2014-07-30

Applicant: 国立大学法人静冈大学 ,  欧姆龙株式会社 ,  株式会社鹭宫制作所

Inventor： 铃木雅人 ,  森昭登 ,  桥口原 ,  杉山达彦 ,  今本浩史 ,  大场正利 ,  三屋裕幸 ,  芦泽久幸 ,  石桥和德

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N1/008 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/051 ,  F16K31/02 ,  G02B26/02 ,  H01H59/00

Abstract: 驱动器具备：具备固定电极及可动电极的静电驱动机构；由静电驱动机构驱动的第一可动部；弹性支撑第一可动部的第一弹性支撑部；形成于固定电极及可动电极的至少一方的驻极体；以及控制向静电驱动机构的电压施加的驱动控制部。在驱动器上，在由驻极体引起的静电力与第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置设定多个对第一可动部进行定位的稳定状态。通过对静电驱动机构施加电压，能够使第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。

公开(公告)号：CN103765579A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280032667.9

申请日：2012-06-29

Applicant: 村田电子有限公司

Inventor： 海基·库斯玛

IPC: H01L25/04 ,  H01L25/16 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/0074 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/025 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/036 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/095 ,  B81C1/00333 ,  G01C19/5783 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/148 ,  G01P1/023 ,  G01P1/026 ,  G01P15/0802 ,  H01L21/568 ,  H01L23/528 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/16 ,  H01L24/17 ,  H01L24/19 ,  H01L24/32 ,  H01L24/73 ,  H01L24/83 ,  H01L24/92 ,  H01L24/96 ,  H01L24/97 ,  H01L25/16 ,  H01L25/18 ,  H01L25/50 ,  H01L27/14618 ,  H01L2223/6677 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/1703 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/8312 ,  H01L2224/8319 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2224/81 ,  H01L2224/83 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及制造系统级封装器件的方法以及系统级封装器件。在该方法中，将至少一个具有预定尺寸的第一类管芯、至少一个具有预定尺寸的第二类管芯以及系统级器件的至少一个其它部件包含到系统级封装器件中。选择所述第一类管芯和所述第二类管芯中的至少一者以用于重定尺寸。向所选择的管芯的至少一侧添加材料，使得所添加的材料和所选择的管芯形成重定尺寸的管芯结构。在所述重定尺寸的管芯结构上形成连接层。对所述重定尺寸的管芯结构进行定尺寸，以允许将未被选择的管芯以及所述至少一个其它部件安装成经由所述连接层与所述重定尺寸的管芯结构接触。

公开(公告)号：CN101392758A

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：CN200810144607.1

申请日：2008-06-20

Applicant: 霍尼韦尔国际公司

Inventor： W·杨

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/38 ,  F04D29/52

CPC classification number: F04D17/168 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/056 ,  F04D17/127

Abstract: 本发明涉及径向分级微型涡轮分子泵。一种径向涡轮分子真空泵，包括转子和定子，该转子由具有整体制造的微型叶片的硅转子表面制成，该定子由具有相应的整体制造槽的硅定子表面制成。该微型叶片和槽以多重环布置，并且该转子和定子盘相邻布置，以产生交叉的定子和转子叶片环。该交叉的定子和转子叶片环形成在径向上的多级压缩。

公开(公告)号：CN101282789A

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200680037019.7

申请日：2006-10-03

Applicant: 奇奥尼公司

Inventor： 林肯·扬 ,  周朋

IPC: B01L3/00 ,  F04B43/04 ,  F04B53/10 ,  B32B27/00

CPC classification number: F16K7/12 ,  B01F5/0683 ,  B01F5/0688 ,  B01F11/0071 ,  B01F13/0059 ,  B01F2215/0034 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0638 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/084 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/004 ,  B29C66/54 ,  B29C66/5412 ,  B29C66/71 ,  B29K2025/00 ,  B29K2025/04 ,  B29K2033/08 ,  B29K2069/00 ,  B29K2101/12 ,  B29L2031/7496 ,  B29L2031/7506 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/028 ,  F04B43/043 ,  F04B43/06 ,  F15C1/08 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0021 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0055 ,  F16K99/0057 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/212 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2218 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T156/1002 ,  Y10T156/1043 ,  B29K2033/12 ,  B29K2025/06

Abstract: 塑料微流体结构具有实质上刚性的隔膜，其可在隔膜支靠于基板的表面上的松弛状态和隔膜由基板移开的致动状态之间致动。如说明书中所描述，形成有这种隔膜的微流体结构提供了容易制造且耐用的系统，以及容易制作诸如阀和泵等部件。

公开(公告)号：JP2013508254A

公开(公告)日：2013-03-07

申请号：JP2012535306

申请日：2010-10-19

Applicant: ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ ミシガン

Inventor： ラジ−ウル ハク ,  ケンソール ワイズ

IPC: C03B19/00 ,  C03C23/00 ,  H01L23/08 ,  H01L23/15

CPC classification number: C03C19/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/058 ,  B81C1/00095 ,  F04B19/006 ,  Y10T428/24479

Abstract: ガラス基板に物質を埋め込む方法が提供される。 この方法は、ガラス成分と、凹陥部が画成されたパターン付き表面を有するモールド基板とを提供することを含む。 モールド基板は、ガラス成分よりも、より高いリフロー温度を有する物質から形成される。 パターン付き表面の表面湿潤性は、前記ガラス成分と比較して、より高くされる。 ガラス成分の少なくとも１部分は、モールド基板のパターン付き表面により画成された凹陥部に流し込まれ、次いで、ガラス成分は凝固され、それにより、凝固ガラスレイヤが形成される。 物質は、モールド基板の少なくとも１部分が凝固ガラスレイヤに埋め込まれた状態で、下方のモールド基板の構築されたパターン付き表面の１部分が露出されるまで、凝固ガラスレイヤから除去される。 それにより、物質が埋め込まれたカラス基板が形成される。
【選択図】図１

公开(公告)号：JP2009510337A

公开(公告)日：2009-03-12

申请号：JP2008534710

申请日：2006-10-03

Applicant: キオニックス インコーポレイテッド

Inventor： チョウ・ペン ,  リンカーン・ヤング

IPC: F04B43/02 ,  B81B3/00 ,  F04B43/06 ,  F16K7/12 ,  F16K7/17

CPC classification number: F16K7/12 ,  B01F5/0683 ,  B01F5/0688 ,  B01F11/0071 ,  B01F13/0059 ,  B01F2215/0034 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0638 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/084 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/004 ,  B29C66/54 ,  B29C66/5412 ,  B29C66/71 ,  B29K2025/00 ,  B29K2025/04 ,  B29K2033/08 ,  B29K2069/00 ,  B29K2101/12 ,  B29L2031/7496 ,  B29L2031/7506 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/028 ,  F04B43/043 ,  F04B43/06 ,  F15C1/08 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0021 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0055 ,  F16K99/0057 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/212 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2218 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T156/1002 ,  Y10T156/1043 ,  B29K2033/12 ,  B29K2025/06

Abstract: プラスティック製のマイクロ流体構造体は、実質的に硬いダイアフラムを有し、このダイアフラムは、基板の表面に対抗して載置された弛緩状態と、基板の表面から離れるように移動した作動状態との間で作動する。 明細書の記載から明らかなように、ダイアフラムとともに形成されたマイクロ流体構造体は、簡便に製造され、バルブやポンプなどの構成部品として容易に作製することができる。

公开(公告)号：EP1940549A2

公开(公告)日：2008-07-09

申请号：EP06816407.8

申请日：2006-10-03

Applicant: KIONIX, INC.

Inventor： YOUNG, Lincoln ,  ZHOU, Peng

IPC: B01L3/00 ,  F04B43/04 ,  B32B27/00 ,  F04B53/10

CPC classification number: F16K7/12 ,  B01F5/0683 ,  B01F5/0688 ,  B01F11/0071 ,  B01F13/0059 ,  B01F2215/0034 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0638 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/084 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/004 ,  B29C66/54 ,  B29C66/5412 ,  B29C66/71 ,  B29K2025/00 ,  B29K2025/04 ,  B29K2033/08 ,  B29K2069/00 ,  B29K2101/12 ,  B29L2031/7496 ,  B29L2031/7506 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/028 ,  F04B43/043 ,  F04B43/06 ,  F15C1/08 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0021 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0055 ,  F16K99/0057 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/212 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2218 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T156/1002 ,  Y10T156/1043 ,  B29K2033/12 ,  B29K2025/06

Abstract: Plastic microfluidic structures having a substantially rigid diaphragm that actuates between a relaxed state wherein the diaphragm sits against the surface of a substrate and an actuated state wherein the diaphragm is moved away from the substrate. As will be seen from the following description, the microfluidic structures formed with this diaphragm provide easy to manufacture and robust systems, as well readily made components such as valves and pumps.

Abstract translation: 塑料微流体结构具有基本上刚性的膜片，其在松弛状态之间起作用，其中隔膜与衬底的表面相抵靠，并且其中隔膜从衬底移开的致动状态。 从下面的描述可以看出，用该隔膜形成的微流体结构提供易于制造和坚固的系统，以及容易制造的部件，例如阀和泵。