公开(公告)号：CN100511568C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200510070170.8

申请日：2005-05-09

Applicant: 东捷科技股份有限公司

Inventor： 赵治宇 ,  谢文俊

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/02 ,  B01L11/00 ,  B01L1/00

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2002

Abstract: 本发明是有关一种在真空或低压环境中操作高压腔室且供观测的方法及装置，主要是于一壳体内部通过若干隔板由中央向外逐层形成一腔室，一蒸气室，一缓冲室或多缓冲室，并于该隔板上形成同轴的蒸气孔、内孔、外孔或缓冲孔，通过一加压装置对该腔室内注入较高压流体，而于该腔室外部则给予逐层气压降的环境，并通过控制该腔室与蒸气室间的压力差，以避免该腔室内的流体以液态形态自蒸气孔流出，可确保受高压的流体限制于该腔室内，通过此，可通过蒸气孔，内孔，外孔的同轴关是使探测源能够穿透腔室内的流体样品，以达到观测及分析的效果及目的。

公开(公告)号：CN105474348B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201480045594.6

申请日：2014-09-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 水尾考志 ,  丹波裕介 ,  波多野治彦 ,  二村和孝

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/18 ,  F25B19/005 ,  F25B45/00 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002

Abstract: 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。

公开(公告)号：CN107039228A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201710149550.3

申请日：2017-01-11

Applicant: FEI公司

Inventor： C·D·钱德勒

IPC: H01J37/305

CPC classification number: H01J37/32522 ,  C23F4/00 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32715 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/3341 ,  H01L21/02315 ,  H01L21/02689 ,  H01L21/30621 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/32136 ,  H01L39/2477 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/006

Abstract: 本发明涉及带电粒子束诱导刻蚀。一种显微机械加工工艺，包括：将工件表面暴露于前驱气体，该前驱气体包括具有酸性卤化物官能团的化合物；以及在前驱气体存在的情况下用射束照射工件表面，所述前驱气体在粒子束存在的情况下发生反应以从工件表面去除材料。

公开(公告)号：CN103168221B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201180048642.3

申请日：2011-09-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 盐野正道 ,  西村雅子 ,  许斐麻美 ,  桑畑进

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20

CPC classification number: G01N23/2202 ,  G01N1/2813 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2605

Abstract: 使漂浮在离子液体表面的微小试样不被离子液体覆盖而通过扫描电子显微镜观察。通过使漂浮性或者疏水性试样浮于亲水性离子液体水溶液表面，防止微小试样被离子液体覆盖。在亲水性试样的情况下，使用疏水性离子液体。通过使用粘性低、流动性大的离子液体水溶液，微小试样能够在离子液体表面自由地凝集、分散、排列，进而使沉降在离子液体中的微小试样能够再浮起。微小试样的形态稳定后，为了使在扫描电子显微镜下的观察容易，通过在电子显微镜观察前使离子液体水溶液干燥，使离子液体水溶液的流动性降低。

公开(公告)号：CN105493224A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480044976.7

申请日：2014-03-10

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 河西晋佐 ,  大南佑介 ,  铃木宏征 ,  安岛雅彦

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01M3/02 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2802

Abstract: 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有：安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。

公开(公告)号：CN104685604A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380041167.6

申请日：2013-10-02

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·李 ,  威廉·雷诺兹 ,  斯坦利·斯通

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31705 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统，该系统向置于冷却夹盘上的处理腔室的真空环境中的工件提供离子。处理腔室内的预冷站具有配置成将工件冷却至第一温度的冷却的工件支撑件，处理腔室内的后热站具有配置成将工件加热至第二温度的加热的工件支撑件。第一温度低于处理温度，第二温度高于外部温度。工件传送臂进一步配置成在夹盘、装载锁定腔室、预冷站及后热站中的两个或两个以上构件之间同时传送两个或两个以上工件。

公开(公告)号：CN104684637A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380049571.8

申请日：2013-10-10

Applicant: 希乐克公司

Inventor： M·梅多夫 ,  T·C·马斯特曼 ,  R·帕拉迪斯

IPC: B01J19/08

CPC classification number: G21F3/00 ,  A61L2/087 ,  B01J19/082 ,  B01J19/085 ,  B01J19/12 ,  B01J19/123 ,  B01J19/125 ,  B01J19/22 ,  B01J2219/0869 ,  B01J2219/0871 ,  B01J2219/0879 ,  B01J2219/12 ,  B01J2219/1203 ,  B65G27/04 ,  C08H8/00 ,  C10B19/00 ,  C10B53/02 ,  C10G1/02 ,  C10G32/04 ,  C10L5/403 ,  C10L5/442 ,  C10L5/445 ,  C10L5/46 ,  C10L2200/0469 ,  C10L2290/24 ,  C10L2290/28 ,  C10L2290/36 ,  C10L2290/52 ,  C13K1/02 ,  C13K13/002 ,  D21B1/02 ,  G21K5/04 ,  G21K5/10 ,  H01J5/18 ,  H01J33/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/202 ,  Y02E50/10 ,  Y02E50/14 ,  Y02E50/16 ,  Y02E50/30 ,  Y02E50/32 ,  Y02P20/145

Abstract: 本文描述用于将纤维素和木质纤维素材料加工成有用的中间体和产物如能量和燃料的方法和系统。例如，描述用于加工所述纤维素和木质纤维素材料的输送系统如高效振动式输送机。本文提供用于产生处理的生物质材料的设备，所述设备包括电离辐射源。

公开(公告)号：CN104602717A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201380030830.2

申请日：2013-03-15

Applicant: 伊莱克创工控股有限责任公司

Inventor： D·F·高森 ,  R·E·柯克

IPC: A61L2/03 ,  A61L2/14 ,  A61L2/02

CPC classification number: A61L2/087 ,  A61L2202/24 ,  H01J37/30 ,  H01J2237/06366 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/31

Abstract: 本文中公开了低能电子灭菌器以及使用低能电子进行灭菌的方法。使用低能电子对器械进行灭菌的示例方法可以包括产生一个或多个低能电子、使所述器械维持在真空中以及用所述低能电子来照射所述器械。所述低能电子可以具有小于或等于25keV的能量，并且所述真空可以足够低以防止所述一个或多个电子产生等离子。

公开(公告)号：CN104584184A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380037153.7

申请日：2013-02-04

Applicant: 诺瓦工厂有限公司

Inventor： 马蒂纳斯·奥德罗尼斯

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J49/0013 ,  C23C14/35 ,  C23C14/52 ,  C23C14/54 ,  H01J37/32981 ,  H01J37/3476 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/332

Abstract: 用于在真空处理过程中使用的组件，该组件包括过程室1。提供用于对过程室1内的气体组分进行采样和分析的气体分析装置。该气体分析装置包括基于小型质谱仪或小型等离子体源的测量装置14，其被定位在细长的壳体18内。壳体18的一部分被定位在过程室1内使得气体在室1内被分析。该过程能够响应于气体分析而被控制。

公开(公告)号：CN1580751B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200410042072.9

申请日：2004-04-30

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 咸龙男

IPC: G01N23/00 ,  G01N35/10 ,  G12B9/08 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2522

Abstract: 本发明提供一种托架及包括该托架的分析装置。托架包括样品座、样品接收器和样品升降器。样品座容纳样品并具有导向槽。样品座固定于样品接收器上，且与导向槽互锁的导轨形成于样品座中。样品升降器上下提升样品接收器并接受和卸下样品座。样品升降器包括驱动样品接收器上下移动的驱动部分和包括驱动部分并维持封闭状态下的真空度的真空室。因此，托架屏蔽水分，这样通过分析装置能够实现精确的分析。