公开(公告)号：CN106935464A

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201710084967.6

申请日：2017-02-17

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 陈忠伟 ,  田博文 ,  谢斌 ,  李昊波 ,  韩一帆 ,  张念 ,  褚陆嘉

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  G01N23/20 ,  G01N23/203

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N23/20025 ,  G01N23/20058 ,  G01N23/203 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2804

Abstract: 本发明涉及一种用于透射‑电子背散射衍射的工具及衍射图像成像方法，通过在传统的样品台基础上加了一个透射电镜样品安装夹，并固定其衍射角度(70°)，对材料进行透射‑电子背散射衍射图像成像。提供了一种新的分析方法。透射电镜样品不仅可以在透射电镜上分析，还可以用在EBSD上利用背散射电子，同时，样品台倾角的精准确定固定了样品的位置，更容易安装，是更多的电子束轰击目标区域，减少了其它部分的影响，同时还可以清晰的获得花样与材料的对应关系，弄清显微图像对应的样品实际区域。本方法中所使用的样品台可以固定样品，并有固定的倾角，减少样品台带来的实验误差，提高成像的空间分辨率，同时也方便了操作者的实际操作。

公开(公告)号：CN105229772A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201480028221.8

申请日：2014-05-14

Applicant: 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园

Inventor： 新竹积

IPC: H01J37/244 ,  G01N23/20 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N23/20 ,  H01J37/2955 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2544 ,  H01J2237/2803

Abstract: 一种低能电子衍射(LEED)检测模块(100)，其包括：第一真空室，该第一真空室用于从样本(109)接收衍射电子；较大的第二真空室，该较大的第二真空室连接到第一真空室以接收已经通过第一真空室传输的衍射电子；二维电子检测器，该二维电子检测器设置在第二真空室中以检测衍射电子；电位屏蔽件(106)，该电位屏蔽件(106)总体上沿着第一真空室的内表面和第二真空室的内表面设置；磁透镜(105)，该磁透镜(105)扩展已经通过第一真空室朝向二维电子检测器传输的衍射电子束；以及总体上平面形的能量过滤器(103)，该总体上平面形的能量过滤器(103)排斥具有比撞击在样本(109)上的探测电子束(203)能量低的电子。

公开(公告)号：CN104990773A

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201510298187.2

申请日：2011-03-30

Applicant: FEI公司

Inventor： R.坦纳

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/3005 ,  G01N1/286 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。

公开(公告)号：CN101499398A

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200810181897.7

申请日：2008-11-21

Applicant: FEI公司

Inventor： A·亚库谢夫斯卡 ,  E·索尔蒂 ,  U·鲁肯 ,  B·弗赖塔格

IPC: H01J37/00 ,  G01N23/04

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2809

Abstract: 本发明揭示了用于扫描透射电子显微镜(STEM)的方法。在STEM中，用电子聚焦束(2)扫描样本(1)。跨接直径(3)能低到0.1nm。本领域普通技术人员了解，跨接直径取决于射束的孔径半角α。因此，为了获得最佳分辨率，选取跨接直径R(α)最小处的孔径半角。然而，对于厚样本而言，在样本远离跨接平面那些部分的分辨率被射束的会聚限制，从而产生了在样本表面的射束直径D。根据本发明，孔径角被选取，用以通过选择小于最佳孔径半角的孔径半角来平衡会聚和跨接直径的作用。然后射束有效地扫描样本，该射束具有在与透射粒子必须穿过的样本材料的长度L相等的长度范围内基本恒定的直径。

公开(公告)号：WO2012165293A1

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：PCT/JP2012/063320

申请日：2012-05-24

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  津野 夏規 ,  数見 秀之 ,  望月 譲 ,  三羽 貴文 ,  木村 嘉伸 ,  横須賀 俊之

Inventor： 津野　夏規 ,  数見　秀之 ,  望月　譲 ,  三羽　貴文 ,  木村　嘉伸 ,  横須賀　俊之

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/265 ,  G01B15/04 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2803

Abstract: 　本発明は、試料に電子ビームを断続的に照射して二次電子信号を検出する電子顕微鏡において、照射電子ビームのパルス幅（Ｔｐ）より短い任意の検出時間（Ｔ２）を選択して、前記検出時間に取得された二次電子信号を用いて二次電子像を形成することを特徴とする。これにより、試料の内部構造や積層界面などの必要な試料情報を画像のコントラストに反映させ、不要な情報が前記画像に重畳することを防ぐことができるので、試料情報の選択性と画質とが向上した二次電子像を得ることが可能となった。

Abstract translation: 本发明的特征在于电子显微镜，其间断地向样品施加电子束并检测二次电子信号，其中选择比所施加的电子束的脉冲宽度（Tp）短的任意定义的检测时间（T2） 并且使用在检测时间期间获取的二次电子信号形成二次电子图像。 因此，可以在图像的对比度中反映包括样本的内部结构和层叠界面的必要样本信息，并且防止不必要的信息被叠加在图像上，从而可以获得具有改进的样本的二次电子图像 信息选择性和图像质量。

公开(公告)号：WO2009154953A4

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：PCT/US2009045131

申请日：2009-05-26

Applicant: CARL ZEISS SMT INC ,  SIJBRANDIJ SYBREN ,  NOTTE IV JOHN A ,  THOMPSON WILLIAM B

Inventor： SIJBRANDIJ SYBREN ,  NOTTE IV JOHN A ,  THOMPSON WILLIAM B

IPC: G01N23/22 ,  G01N23/225 ,  G01T1/24 ,  G01T1/29 ,  H01J37/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N23/2251 ,  G01N23/2208 ,  G01N23/2258 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2444 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2803 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: The disclosure relates to sample inspection using an ion-beam microscope. In some embodiments, the disclosure involves the use of multiple detectors, each of which provides different information about a sample.

Abstract translation: 本公开涉及使用离子束显微镜的样品检查。 在一些实施例中，本公开涉及使用多个检测器，每个检测器提供关于样本的不同信息。

公开(公告)号：EP2372337A3

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：EP11160332.0

申请日：2011-03-30

Applicant: FEI Company

Inventor： Tanner, Ryan

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/304 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/3005 ,  G01N1/286 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: A method and apparatus for performing a slice and view technique with a charged particle beam system. The feature of interest in an image of a sample is located by machine vision, and the area to be milled and imaged in a subsequent slice and view iteration is determined through analysis of data gathered by the machine vision at least in part. A determined milling area may be represented as a bounding box around a feature, which dimensions can be changed in accordance with the analysis step. In a dual beam system, the FIB is then adjusted accordingly to slice and mill a new face in the subsequent slice and view iteration, and the SEM images the new face. Because the present invention accurately locates the feature and determines an appropriate size of area to mill and image, efficiency is increased by preventing the unnecessary milling of substrate that does not contain the feature of interest.

公开(公告)号：EP1770752A2

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：EP06254990.2

申请日：2006-09-27

Applicant: JEOL Ltd.

Inventor： Hosokawa, Fumio

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2809

Abstract: An electron microscope is offered which has a spherical aberration correction system (10) operating efficiently while preventing intrusion of undesired aberrations. Transfer optics (14) is inserted between a spherical aberration corrector (13) and the objective lens (15). The transfer optics consists of first and second lenses (14a, 14b) each of which is made of a magnetic lens. Electrons passing across a point located at distance r0 from the optical axis (0) are made to enter the first lens within the multipole element (20) . Electrons are made to enter the second lens at distance r1 of the incident point to the objective lens from the optical axis. The ratio M (= r1/r0) is greater than 1.

Abstract translation: 提供一种具有球面像差校正系统（10）的电子显微镜，其有效地工作，同时防止不想要的像差的入侵。 传输光学器件（14）插入球面像差校正器（13）和物镜（15）之间。 传输光学器件由每个由磁性透镜制成的第一和第二透镜（14a，14b）组成。 通过位于距离光轴（0）的距离r0的点的电子进入多极元件（20）内的第一透镜。 使电子从光轴入射到物镜的入射点的距离r1进入第二透镜。 比值M（= r1 / r0）大于1。

公开(公告)号：EP0653774A1

公开(公告)日：1995-05-17

申请号：EP94117036.7

申请日：1994-10-27

Applicant: HITACHI, LTD. ,  HITACHI SCIENCE SYSTEMS LTD

Inventor： Kawamata, Shigeru ,  Ozasa, Susumu

IPC: H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2803

Abstract: In an electron microscope for observing an image of a sample (8) using secondary electrons emitted from the sample by two-dimensionally scanning an electron beam (2) on the sample, a low magnification and wide view image of the sample is formed on one frame memory by dividing the frame memory for storing one picture of image into 16 areas and by storing the continuous image data of the surface of the sample obtained by moving said sample into each of said 16 divided areas of the frame memory.

Abstract translation: 在电子显微镜中，通过二维扫描样品上的电子束（2），利用从样品发射的二次电子观察样品（8）的图像，在一个样品上形成低倍率和宽视野图像 通过将用于存储图像的一个图像的帧存储器划分为16个区域并且通过将通过将所述样本移动到所述帧存储器的所述16个分割区域中的每一个中而获得的样本的表面的连续图像数据进行存储来进行帧存储。

公开(公告)号：EP3258477A1

公开(公告)日：2017-12-20

申请号：EP17175742.0

申请日：2017-06-13

Applicant: Jeol Ltd.

Inventor： KONDO, Yukihito ,  SAGAWA, Ryusuke

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/22 ,  H01J37/045 ,  H01J37/09 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2803

Abstract: There is provided an electron microscope capable of recording images in a shorter time. The electron microscope (100) includes: an illumination system (4) for illuminating a sample (S) with an electron beam; an imaging system (6) for focusing electrons transmitted through the sample (S); an electron deflector (24) for deflecting the electrons transmitted through the sample (S); an imager (28) having a photosensitive surface (29) for detecting the electrons transmitted through the sample (S), the imager (28) being operative to record focused images formed by the electrons transmitted through the sample (S); and a controller (30) for controlling the electron deflector (24) such that an active electron incident region (2) of the photosensitive surface (29) currently hit by the beam is varied in response to variations in illumination conditions of the illumination system (4).

Abstract translation: 提供了一种能够在较短时间内记录图像的电子显微镜。 电子显微镜（100）包括：用电子束照射试样（S）的照明系统（4） 成像系统（6），用于聚焦透过样本（S）的电子; 电子偏转器（24），用于偏转透过样本（S）的电子; 具有用于检测透过样品（S）的电子的光敏表面（29）的成像器（28），成像器（28）可操作以记录由透过样品（S）的电子形成的聚焦图像; 和用于控制电子偏转器（24）的控制器（30），使得当前受光束击中的光敏表面（29）的有源电子入射区域（2）响应于照明系统的照明条件的变化而变化 4）。