公开(公告)号：KR1020150004398A

公开(公告)日：2015-01-12

申请号：KR1020147032898

申请日：2013-04-04

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 로키츠키로스티슬라프 ,  성낙건 ,  오브라이언케빈엠

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J3/027 ,  G01J3/1809 ,  G01J11/00 ,  G01J2001/4238 ,  G01J2009/006 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/7085

Abstract: 광원에 의해 산출된 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특성은 복수의 스텝을 포함하는 패턴 주기를 가지는 사전 결정된 반복 패턴을 기초로 펄스형 광 빔의 파장을 변경하는 단계로서, 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 기준선 파장으로부터의 파장 오프셋 만큼 펄스형 광 빔의 파장을 시프트하는 것을 포함하는 상기 변경하는 단계; 패턴에 걸쳐 파장이 변경될 때 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 광 빔의 파장을 측정하는 단계; 및 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 광 빔의 측정된 파장을 적어도 일부 기초로 하여 패턴 주기 내의 모든 스텝을 포함하는 평가 윈도우에 걸쳐 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특성을 추정하는 단계에 의해 추정된다.

公开(公告)号：KR101416111B1

公开(公告)日：2014-07-08

申请号：KR1020087026063

申请日：2007-03-23

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 라팍로버트제이.

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/027 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J9/0246

Abstract: 상기 펄싱된 레이저에 의해 산출된 레이저 출력 광의 일부를 상기 광 검출 어레이의 출력에서 앨리어싱 아티팩트를 방지하기 위해 상기 광 검출 엘리먼트의 어레이를 가로질러 상기 레이저 빔의 일부를 이동시키는 방식으로 광 검출 엘리먼트의 어레이로 통과시키는 것을 포함하는 단계에 의해, 광검출 엘리먼트의 어레이를 활용하는 펄싱된 레이저의 레이저 출력 광 펄스의 대역폭을 검출하는 것을 포함하는 방법 및 장치가 제공된다. 레이저 출력 광에 의해 형성된 이미지의 부분이 예를 들면 공간 또는 시간 도메인에서 언더 샘플링된다. 샘플링된 프린지 패턴생성 엘리먼트의 출력의 이미지의 연관된 피처 크기는 광 검출 엘리먼트의 어레이에서의 개별 광 검출 엘리먼트의 크기에 대해 작은 크기를 포함한다.
광검출 엘리먼트, 레이저, 레이저 출력 광 펄스, 대역폭, 레이저 빔, 언더 샘플링, 공간 도메인, 시간 도메인, 프린지, 프린지 패턴생성 엘리먼트, 광 디텍터 엘리먼트, 보간 기술

公开(公告)号：KR1020130125713A

公开(公告)日：2013-11-19

申请号：KR1020130038478

申请日：2013-04-09

Applicant: 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤

Inventor： 아카다도모히로 ,  나카무라겐지 ,  무라모토야스노리 ,  요코타히데아키

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/027 ,  G01J1/0242 ,  G01J3/0275

Abstract: The present invention provides an optical characteristics measuring apparatus capable of planning quickness of measurement. According to an optical characteristics measuring apparatus (1) of the present invention, a supporting unit (4) supports a plate type sample (S), by being in contact with a plurality of separated parts in a lower surface of the sample. A lifting unit (5) includes one or a plurality of sustain heads (52) being movable toward the supported sample, and makes the sustain head be in contact with the proximity of the measurement part of the sample, and generates contact pressure between the sustain head and the sample. A floodlighting unit (6) irradiates a light to the measurement part of the sample, under the state that the contact pressure is generated between the sustain head and the sample. A light detection unit (7) detects a light transmitting the measurement part of the sample.

Abstract translation: 本发明提供能够规划测量速度的光学特性测量装置。 根据本发明的光学特性测量装置（1），支撑单元（4）通过与样品的下表面中的多个分离部分接触来支撑板状样品（S）。 提升单元（5）包括能够朝向被支撑的样品移动的一个或多个维持头（52），并使得维持头与样本的测量部分附近接触，并产生维持点之间的接触压力 头和样本。 在维持头与样品之间产生接触压力的状态下，泛光装置（6）将光照射到样品的测量部分。 光检测单元（7）检测透射样品的测量部分的光。

公开(公告)号：KR1020070001051A

公开(公告)日：2007-01-03

申请号：KR1020067005681

申请日：2004-09-21

Applicant: 메트로솔 인코포레이티드

Inventor： 헤리슨,데일,에이.

IPC: G01N21/55

CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/08 ,  G01J3/10 ,  G01J3/28 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/36 ,  G01J3/42 ,  G01J3/4531 ,  G01N21/211 ,  G01N21/274 ,  G01N21/33 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/335

Abstract: A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard. ® KIPO & WIPO 2007

Abstract translation: 提供了在真空紫外光谱中操作的光谱系统（500）。 更具体地，提供了在真空紫外光谱中利用反射测量技术的系统用于计量学应用。 为了确保精确和可重复的测量，控制光路（506,508）的环境以限制可能存在于光路中的气体的吸收效应。 为了考虑可能仍然发生的吸收效应，光路的长度被最小化。 为了进一步考虑吸收效应，反射率数据可以参考相对标准。 ®KIPO＆WIPO 2007

公开(公告)号：KR1020060122941A

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：KR1020067017691

申请日：2005-03-10

Applicant: 가부시키가이샤 조이 월드 퍼시픽

Inventor： 하나마쯔,켄고오 ,  오노,히로유키 ,  오다기로,히데오 ,  사와,타카히로 ,  미우라,카츠유키

IPC: G01N21/359 ,  G01N21/31

CPC classification number: G01N21/4738 ,  G01G19/4146 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/027 ,  G01J3/108 ,  G01J3/1256 ,  G01J3/42 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/359 ,  G01N33/02 ,  G01N2021/151 ,  G01N2201/0618 ,  G01N2201/067 ,  G01N2201/0696 ,  G01N2201/1293

Abstract: Near-IR rays are used to be able to measure calorie, thereby measuring the calorie of an object easily and in a short time by a non-destructive method. A calorie measuring device comprising an object holding unit (1) having a table (2) on which to mount an object (M) to be examined, a light source unit (20) irradiating the object (M) on the table (2) with a near-IR-region ray, a light reception unit (30) receiving a reflection light or transmitted light from the object (M), and a control unit (40) calculating the calorie of the object (M) based on the absorbance of light received by the reception unit (30), wherein the control unit (40) computes the calorie of the object (M) from a regression expression calculated by a quadratic differential spectrum multiple regression analysis at the absorbance of a near-IR ray applied in advance to and reflected off or passed through a calorie-known sample object (M) and from the absorbance of light received by the reception unit (30).

Abstract translation: 近红外光线被用于能够测量卡路里，从而通过非破坏性方法在短时间内容易地测量物体的热量。 一种卡路里测量装置，包括：具有用于安装待检查物体（M）的台（2）的物体保持单元（1），在所述台（2）上照射所述物体（M）的光源单元（20） 具有近红外区域射线，接收来自物体（M）的反射光或透射光的光接收单元（30），以及基于吸光度计算物体（M）的热量的控制单元（40） 由所述接收部（30）接收的光，其中，所述控制部（40）根据通过二次微分光谱多项回归分析计算出的回归表达式计算所述物体（M）的热量 预先通过卡路里知道的样品物体（M）和从接收单元（30）接收的光的吸光度反射或反射。

公开(公告)号：KR1020060035639A

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：KR1020057024950

申请日：2004-06-14

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 라팍로버트제이.

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45

Abstract: A bandwidth meter method and apparatus for measuring the bandwidth of a spectrum of light emitted from a laser input to the bandwidth meter is disclosed, which may comprise an optical bandwidth monitor providing a first output representative of a first parameter which is indicative of the bandwidth of the light emitted from the laser and a second output representative of a second parameter which is indicative of the bandwidth of the light emitted from the laser; and, an actual bandwidth calculation apparatus utilizing the first output and the second output as part of a multivariable equation employing predetermined calibration variables specific to the optical bandwidth monitor, to calculate 10 an actual bandwidth parameter. The actual bandwidth parameter may comprise a spectrum full width at some percent of the maximum within the full width of the spectrum of light emitted from the laser ("F)WXM") or a width between two points on the spectrum enclosing some percentage of the energy of the full spectrum of the spectrum of light emitted from the laser ("EX"). The bandwidth monitor may comprise an etalon and the first output is representative of at least one of a width of a fringe of an optical output of the etalon at FWXM or a width between two points on the spectrum enclosing some percentage of the energy of the full spectrum of light emitted from the laser ("EX"') and the second output is representative of at least one of a second FWX"M or EX"', where XXX" and X'X"'. The precomputed calibration variables may be derived from a measurement of the value of the actual bandwidth parameter utilizing a trusted standard, correlated to the occurrence of the first and second outputs for a calibration spectrum. The value of the actual bandwidth parameter is calculated from the equation: estimated actual BW parameter = K*w l + L*w2 + M, where wl = the first measured output representative of FWXM or EX' and w2 is the second measured output representative of FWX"M or EX"'. The apparatus and method may be implemented in a laser lithography light source and/or in an integrated circuit lithography tool.

Abstract translation: 公开了一种用于测量从激光输入到带宽计的发射光谱的带宽的带宽测量仪方法和装置，其可以包括光带宽监视器，其提供表示第一参数的第一输出，第一参数指示 从激光器发射的光和表示从激光器发射的光的带宽的第二参数的第二输出; 并且使用第一输出和第二输出的实际带宽计算装置作为使用光带宽监视器特有的预定校准变量的多变量方程的一部分来计算10实际带宽参数。 实际带宽参数可以包括在从激光（“F”WXM“）发射的光谱的全宽度内的最大值的某个百分比处的光谱全宽度或包含一定百分比的光谱的光谱的两个点之间的宽度 从激光发射的光谱的全谱的能量（“EX”）。 带宽监视器可以包括标准具，并且第一输出表示在FWXM处的标准具的光输出的边缘的宽度中的至少一个，或者在包含满量程的一定百分比的能量的频谱上的两个点之间的宽度中的至少一个 从激光（“EX”）发射的光的频谱和第二输出代表第二FWX“M或EX”'中的至少一个，其中XXX“和X'X”'。 预先计算的校准变量可以从利用可信标准的实际带宽参数的值的测量导出，与可校准频谱的第一和第二输出的出现相关。 实际带宽参数的值由以下公式计算：估计的实际BW参数= K * w1 + L * w2 + M，其中w1 =表示FWXM或EX'的第一个测量输出，w2是第二个测量输出的代表 FWX“M或EX”'。 该装置和方法可以在激光光刻光源和/或集成电路光刻工具中实现。

公开(公告)号：KR1020050060995A

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：KR1020030092740

申请日：2003-12-17

Applicant: 에스케이실트론 주식회사

Inventor： 위상욱 ,  양수미

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/027 ,  G01N1/18 ,  G01N1/286

Abstract: 본 발명은 적외선 분광기의 시료홀더에 대한 것이다. 적외선 분광기로 웨이퍼 시료의 상태평가를 수행하는 웨이퍼 측정 스테이지에 걸쳐서 사용하는 잉곳 단면 시료를 지지하는 적외선 분광기의 시료홀더로, 상기 웨이퍼 측정 스테이지에 걸쳐지며, 중앙에는 적외선의 투과를 위한 중공이 형성된 프레임과; 상기 프레임의 상부에 다양한 규격의 시료를 지지 고정할 수 있도록 서로 다른 폭으로 형성된 복수개의 홀딩가이드를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020050000679A

公开(公告)日：2005-01-06

申请号：KR1020030041159

申请日：2003-06-24

Applicant: 주식회사 스펙코어

Inventor： 천용우

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/027 ,  G01J3/0275 ,  G01N21/15

Abstract: PURPOSE: An apparatus for preventing oil from splashing and an oil spectroscopic analyzer having the same are provided to prevent oil from splashing towards a light receiving lens while oil is being converted into a plasma state. CONSTITUTION: An apparatus for preventing oil from splashing includes a blowing source(110) for generating an air flow and a guide(120) for guiding the air flow generated by the blowing source(110) to electrodes(12,14) from a light receiving lens(22) of a spectroscopic analyzer. The guide(120) is installed at a front surface of the receiving lens(22) in order to receive the light receiving lens(22). An output hole(122) is formed at a front surface of the guide(120). An input hole(124) is formed at an upper surface of the guide(120). The guide(120) is connected to the blowing source(110) through an air pipe(102).

Abstract translation: 目的：提供防止油溅出的装置和具有该装置的油分析仪，以防止油在转化为等离子体状态时向受光透镜飞溅。 防止油溅出的装置包括用于产生空气流的吹送源（110）和用于将由吹风源（110）产生的气流引导到电极（12,14）的引导件（120） 光谱分析仪的接收透镜（22）。 引导件（120）安装在接收透镜（22）的前表面以便接收光接收透镜（22）。 输出孔（122）形成在引导件（120）的前表面处。 在引导件（120）的上表面处形成有输入孔（124）。 引导件（120）通过空气管道（102）连接到吹风源（110）。

公开(公告)号：KR1020000057929A

公开(公告)日：2000-09-25

申请号：KR1020000005502

申请日：2000-02-03

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 에르쇼브알렉산더아이.

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/027

Abstract: PURPOSE: A dual-pass etalon spectrometer is provided to generate a precise fringe data able to measure band widths having a precision required for microlithography with relation to delta lambda FWHM and delta lambda 95%. CONSTITUTION: In a dual-pass etalon spectrometer, an optical scattering system(34) makes laser beams(16) facing toward a plurality of directions for generating scattered beams, and spectrum components of the scattered beams are divided by an angle to be permeated via the etalon(25). A reverse reflection mirror(38) reflects the permeated light beam components reversely via the etalon. The twice permeated spectrum components is focused on an optical detector(44) formed of an optical diode array by a lens(42) to detect a fringe pattern(49). The reverse reflection mirror is to be a hollow reverse reflection mirror.

Abstract translation: 目的：提供双通道标准光谱仪，以产生精确的条纹数据，能够测量与ΔλFWHM和Δλ95％相关的微光刻所需精度的带宽。 构成：在双通道标准光谱仪中，光散射系统（34）使得激光束（16）面向多个方向产生散射光束，并且散射光束的光谱分量被除以被透过的角度 标准具（25）。 逆反射镜（38）通过标准具反向透过光束成分。 两次渗透的光谱分量聚焦在由透镜（42）由光二极管阵列形成的光学检测器（44）上以检测条纹图案（49）。 反射反射镜为中空反射镜。

公开(公告)号：WO2018072985A1

公开(公告)日：2018-04-26

申请号：PCT/EP2017/074976

申请日：2017-10-02

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： NOLTEMEYER, Ralf ,  BAUMGART, Eugen ,  HUBER, Christian ,  STEIN, Benedikt

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/26 ,  G01J1/02 ,  G01J1/16 ,  G01J1/42

CPC classification number: G01J3/027 ,  G01J1/1626 ,  G01J1/4228 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/26

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren (500) zum Erkennen eines direkten Lichtreflexionsstrahls (120) von einem Objekt (335) auf einen Lichtsensor (100), wobei der Lichtsensor (100) zumindest zwei räumlich getrennt angeordnete und getrennt auslesbare Sensorelemente (110a, 110b, 110c, 110d) aufweist. Das Verfahren (500) umfasst einen Schritt des Einlesens (510) eines ersten Lichtintensitätswertes von auf ein erstes Sensorelement (110a) auftreffenden Lichts und zumindest eines zweiten Lichtintensitätswertes von auf das zumindest zweite Sensorelement (110b) auftreffenden Lichts. Ferner umfasst das Verfahren (500) einen Schritt des Erkennens (520) des Auftreffens des direkten Lichtreflexionsstrahls (120) auf das erste Sensorelement (110a), wenn der erste Lichtintensitätswert größer als der zweite Lichtintensitätswert ist.

Abstract translation: 本发明涉及用于检测从物体（335）到光传感器（100）的直接光反射光束（120）的方法（500），其中光传感器（100）具有至少两个空间分离的光束 和单独可读的传感器元件（110a，110b，110c，110d）。 所述方法（500）包括读入（510）入射在第一传感器元件（110a）上的光的第一光强度值和照射到所述至少第二传感器元件（110b）的光的至少第二光强度值的步骤。 此外，方法（500）包括当第一光强度值大于第二光强度值时检测（520）直射光反射束（120）对第一传感器元件（110a） / p>