声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器

    公开(公告)号:CN106533385B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201610811315.3

    申请日:2016-09-08

    Abstract: 提供一种声波谐振器和包括该声波谐振器的滤波器,所述声波谐振器包括:基板;谐振部件,设置在基板的第一表面上并包括第一电极、压电层和第二电极;以及盖,设置在基板的第一表面上并且包括容纳谐振部件的容纳部分。谐振部件被构造成通过下列信号中的任一个或者两个进行操作:从第一装置基板输出的信号以及从第二装置基板输出的信号,其中,第一装置基板被设置成在与基板的第一表面的相对侧面对基板的第二表面,第二装置基板被设置在所述盖上。

    体声波谐振器
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108964631A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201711444086.7

    申请日:2017-12-27

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极、上电极连接构件和介电层,其中,所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。延伸部从所述下电极或所述上电极延伸以从所述谐振部向外突出。所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部,其中,所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上,所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间。

    体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法

    公开(公告)号:CN108736856A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810030542.1

    申请日:2018-01-12

    CPC classification number: H03H9/173 H03H9/02015 H03H9/0514

    Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法。所述体声波谐振器包括:基板,包括腔槽;膜层,设置在所述基板的上方并包括凸起部。下电极的一部分设置在所述凸起部上。所述体声波谐振器还包括压电层和上电极,所述压电层被构造为使得所述压电层一部分设置在所述凸起部之上,所述上电极设置在所述压电层上。通过所述腔槽形成的第一空间以及通过所述凸起部形成的第二空间形成腔,所述腔槽设置在有效区域之下,所述凸起部包括设置在所述腔槽的外部的倾斜表面。

    声波谐振器及其制造方法
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107592090A

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201710059879.0

    申请日:2017-01-24

    Abstract: 提供一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;激活振动区域,所述激活振动区域包括顺序地堆叠在所述基板上的下电极、压电层和上电极;水平谐振抑制部,通过所述压电层形成且设置在所述压电层中,所述水平谐振抑制部具有与所述压电层的压电物理性质不同的压电物理性质。

    体声波谐振器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107317561A

    公开(公告)日:2017-11-03

    申请号:CN201710032174.X

    申请日:2017-01-13

    Abstract: 提供一种体声波谐振器及其制造方法,所述体声波谐振器可包括:空气腔;蚀刻停止层和蚀刻停止部,限定空气腔的下边界表面和侧边界表面;谐振部,形成在通过空气腔的上边界表面和蚀刻停止部的顶表面形成的近似平坦的表面上。蚀刻停止部的顶表面的宽度可比蚀刻停止部的底表面的宽度大。将蚀刻停止部的顶表面和蚀刻停止部的底表面连接的蚀刻停止部的侧表面可以是倾斜的。

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