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公开(公告)号:CN106533385B
公开(公告)日:2019-10-18
申请号:CN201610811315.3
申请日:2016-09-08
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 提供一种声波谐振器和包括该声波谐振器的滤波器,所述声波谐振器包括:基板;谐振部件,设置在基板的第一表面上并包括第一电极、压电层和第二电极;以及盖,设置在基板的第一表面上并且包括容纳谐振部件的容纳部分。谐振部件被构造成通过下列信号中的任一个或者两个进行操作:从第一装置基板输出的信号以及从第二装置基板输出的信号,其中,第一装置基板被设置成在与基板的第一表面的相对侧面对基板的第二表面,第二装置基板被设置在所述盖上。
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公开(公告)号:CN108964631A
公开(公告)日:2018-12-07
申请号:CN201711444086.7
申请日:2017-12-27
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H3/0077 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H7/422 , H03H9/0095 , H03H9/0542 , H03H9/173 , H03H2003/0071 , H03H2003/021 , H03H9/15 , H03H2009/155
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极、上电极连接构件和介电层,其中,所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。延伸部从所述下电极或所述上电极延伸以从所述谐振部向外突出。所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部,其中,所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上,所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间。
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公开(公告)号:CN108736856A
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201810030542.1
申请日:2018-01-12
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H9/02015 , H03H9/0514
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法。所述体声波谐振器包括:基板,包括腔槽;膜层,设置在所述基板的上方并包括凸起部。下电极的一部分设置在所述凸起部上。所述体声波谐振器还包括压电层和上电极,所述压电层被构造为使得所述压电层一部分设置在所述凸起部之上,所述上电极设置在所述压电层上。通过所述腔槽形成的第一空间以及通过所述凸起部形成的第二空间形成腔,所述腔槽设置在有效区域之下,所述凸起部包括设置在所述腔槽的外部的倾斜表面。
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公开(公告)号:CN108631748A
公开(公告)日:2018-10-09
申请号:CN201711315132.3
申请日:2017-12-12
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02007 , H01L41/053 , H01L41/29 , H01L41/31 , H03H3/02 , H03H9/13 , H03H9/17 , H03H9/54 , H03H2003/023
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。所述声波谐振器包括:谐振部,设置在基板上并且通过腔与所述基板分开,所述谐振部包括顺序地堆叠的膜层、第一电极、压电层和第二电极。满足 ΔCg为所述腔的最大间距和最小间距之差。
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公开(公告)号:CN107786181A
公开(公告)日:2018-03-09
申请号:CN201710333369.8
申请日:2017-05-12
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波滤波器装置,所述体声波滤波器装置包括:基板;下电极层,设置在所述基板上;键合部,设置在所述下电极层上并且处于所述基板的边缘;接地部,与所述键合部隔开;抑制流动部,设置在所述键合部和所述接地部之间,并相对于所述键合部和所述接地部偏移。
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公开(公告)号:CN107317561A
公开(公告)日:2017-11-03
申请号:CN201710032174.X
申请日:2017-01-13
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 提供一种体声波谐振器及其制造方法,所述体声波谐振器可包括:空气腔;蚀刻停止层和蚀刻停止部,限定空气腔的下边界表面和侧边界表面;谐振部,形成在通过空气腔的上边界表面和蚀刻停止部的顶表面形成的近似平坦的表面上。蚀刻停止部的顶表面的宽度可比蚀刻停止部的底表面的宽度大。将蚀刻停止部的顶表面和蚀刻停止部的底表面连接的蚀刻停止部的侧表面可以是倾斜的。
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公开(公告)号:CN106898579A
公开(公告)日:2017-06-27
申请号:CN201610264180.3
申请日:2016-04-26
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: B81B7/007 , B81B2201/0271 , B81B2203/0315 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , H01L21/561 , H01L23/00 , H01L23/10 , H01L23/3114 , H01L23/3107 , H01L23/3142 , H01L23/562
Abstract: 提供一种晶圆级封装件及其制造方法,所述晶圆级封装件包括:晶圆构件,具有设置了电路元件的内腔;元件壁构件,设置在晶圆构件的内表面上且包围设置了所述电路元件的元件部分;以及间隙壁构件,布置在所述元件壁构件的外表面上且将所述元件部分之间的空间划分成间隙部分。
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公开(公告)号:CN106059524A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610040724.8
申请日:2016-01-21
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 公开了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器,所述体声波谐振器包括:基板;气腔,形成在基板上;谐振部,形成在气腔上,并包括依次层压的第一电极、压电层和第二电极,其中,气腔的截面具有短边、与短边相对的长边以及使短边和长边彼此连接的第一侧边和第二侧边,第一侧边和第二侧边倾斜,第一电极、压电层、第二电极或它们的任意组合的表面粗糙度在1nm与100nm之间。
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