压电致动器、喷墨头组件及制造该喷墨头组件的方法

    公开(公告)号:CN103129144A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201210051453.8

    申请日:2012-03-01

    CPC classification number: B41J2/14233 B41J2002/14491 B41J2202/18

    Abstract: 本发明提供一种压电致动器、喷墨头组件及制造该喷墨头组件的方法。该压电致动器包括:下电极和多个上电极,提供驱动电压;压电膜,通过使液态压电物质固化而形成在下电极和所述多个上电极之间,并向设置在喷墨头中的多个压力室中的每个压力室中的墨提供驱动力,其中,压电膜包括:多个分叉部分,各自设置在所述多个压力室中的每个压力室的上部上;大区域部分,在连接到所述多个分叉部分中的每个分叉部分的同时一体地设置在所述多个分叉部分的一端。

    体声波谐振器
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112187206B

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN201911288488.1

    申请日:2019-12-12

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器可包括:基板;谐振部,包括第一电极、压电层和第二电极,所述第一电极设置在所述基板上;所述压电层设置在所述第一电极上,所述第二电极设置在所述压电层上;以及种子层,设置在所述第一电极的下部。所述种子层可利用具有密排六方(HCP)结构的钛(Ti)或具有所述HCP结构的Ti的合金形成。所述种子层可具有大于或等于#imgabs0#且小于或等于#imgabs1#的厚度,或者可比所述第一电极薄。

    体声波谐振器封装件
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115622527A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202210553672.X

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器封装件。所述体声波谐振器封装件包括基板;盖;谐振部,包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,并且设置在所述基板与所述盖之间,其中,所述基板和所述盖在所述第一方向上彼此面对;以及盖熔化构件,被设置为当在所述第一方向上观察时围绕所述谐振部并被设置为与所述盖的面对所述基板的表面的一部分接触,并且包括基于所述盖的所述表面的所述一部分的熔化的材料或结构。

    声波谐振器及其制造方法、压电层及其制造方法

    公开(公告)号:CN114679153A

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202110924115.X

    申请日:2021-08-12

    Inventor: 李泰京 严在君

    Abstract: 本公开提供了一种声波谐振器及其制造方法、压电层及其制造方法。所述声波谐振器包括:基板;以及谐振器,包括依次堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极。所述压电层利用含有钪(Sc)的氮化铝(AlN)形成,所述压电层中钪的含量为10wt%至25wt%,并且所述压电层具有1μA/cm2或更小的漏电流密度。

    体声波谐振器
    29.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109412550B

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN201810937920.4

    申请日:2018-08-17

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;下电极,设置在所述基板上;压电层,至少部分地设置在所述下电极上;以及上电极,设置在所述压电层上,其中,所述下电极和所述上电极中的任意一者或者两者具有包括钪(Sc)的铝合金的层。

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