公开(公告)号：KR1020110000103A

公开(公告)日：2011-01-03

申请号：KR1020090057474

申请日：2009-06-26

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 윤준보 ,  이형석 ,  최동훈

IPC: H01L27/02

Abstract: PURPOSE: A variable passive unit and a method for manufacturing the same are provided to improve the flexibility of circuit design and circuit optimization by matching a capacitive load and an inductive load. CONSTITUTION: Bottom electrode parts(110a, 110b) are formed on an insulating substrate(100). A metal layer(120) and the bottom electrode parts form a capacitor. A spiral inductor(130) is oppositely spaced apart from the metal layer. A driving part(140a) moves the metal layer to the vertical direction of the insulating substrate according to the change of temperature. A supporting part(131) supports the spiral inductor from the insulating substrate.

Abstract translation: 目的：提供可变无源单元及其制造方法，以通过匹配容性负载和电感负载来提高电路设计和电路优化的灵活性。 构成：底部电极部分（110a，110b）形成在绝缘基板（100）上。 金属层（120）和底部电极部分形成电容器。 螺旋电感器（130）与金属层相对地间隔开。 驱动部件（140a）根据温度变化使金属层向绝缘基板的垂直方向移动。 支撑部件（131）支撑来自绝缘基板的螺旋电感器。

公开(公告)号：KR101004582B1

公开(公告)日：2010-12-30

申请号：KR1020080088025

申请日：2008-09-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 윤준보 ,  김민우 ,  장원위

IPC: H01L29/00

Abstract: 본 발명은 미케니컬 스위치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 미케니컬 스위치는, 기판, 기판상에 형성된 제1 전극, 기판상이고, 또한 제1 전극의 양측에 소정의 간격으로 이격되어 형성된 두 개의 제2 전극, 기판상이고, 또한 기판의 표면에 대하여 수직방향으로 제1 전극 및 제2 전극과 이격되어 형성된 부착부와, 부착부로부터 제1 전극 및 제2 전극에 대하여 수평방향으로 연장형성되고, 제1 전극 및 제2 전극과 이격되어 형성된 이동부를 포함하는 이동 전극을 포함한다.
미케니컬 스위치, 정전 구동, 캔틸레버

公开(公告)号：KR1020100052275A

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：KR1020080111223

申请日：2008-11-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 송훈 ,  이홍석 ,  윤준보 ,  이주형 ,  연정호

IPC: G02B6/00

Abstract: PURPOSE: A light guide plate having light emitting unit formed in a curved face shape on a side, a manufacturing method thereof, and a display device using the same are provided to enable mass production as there is no deformation caused by several reproduction processes using metal mold. CONSTITUTION: A light guide member(10) reflects incident light toward inside. A plurality of light emitting sections(20) is projected on one face of the light guiding member. The light guiding member and the light emitting section are integrated as one body.

Abstract translation: 目的：提供一种具有侧面形成为弯曲面形状的发光单元的导光板及其制造方法和使用该导光板的显示装置，以便能够进行批量生产，因为不会由于使用金属的多次再现处理而引起变形 模子。 构成：导光部件（10）向内侧反射入射光。 多个发光部（20）突出在导光部件的一个面上。 导光构件和发光部分被集成为一体。

公开(公告)号：KR100773588B1

公开(公告)日：2007-11-05

申请号：KR1020060059530

申请日：2006-06-29

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 윤준보 ,  이경호 ,  이주형 ,  장성일

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0273 ,  G03F7/2008 ,  H01L21/0274

Abstract: A method of forming a polymer pattern and a method of forming a metal film, a metal pattern, a microshutter, a microlens array stamper, and a plastic mold using the same are provided to change a shape of a vertical cross section of the polymer pattern by altering the light exposure irradiated on a polymer layer. An opaque mask pattern(410) is formed on one surface of a transparent substrate(400). A photosensitive polymer layer(420) is formed on the surface of the substrate with the opaque mask pattern. The substrate is irradiated by the light generated by a diffuser(430) which scatters incident light, thereby exposing the photosensitive polymer layer. A filler layer having refractive index higher than air is formed between the other surface of the substrate and the diffuser.

Abstract translation: 提供形成聚合物图案的方法以及使用其形成金属膜，金属图案，微型切割器，微透镜阵列压模和塑料模具的方法以改变聚合物图案的垂直截面的形状 通过改变照射在聚合物层上的光照。 在透明基板（400）的一个表面上形成不透明掩模图案（410）。 光敏聚合物层（420）用不透明掩模图形形成在基片的表面上。 由散射入射光的扩散器（430）产生的光照射基板，从而曝光光敏聚合物层。 在基板的另一表面和扩散器之间形成折射率高于空气的填充层。

公开(公告)号：KR100717870B1

公开(公告)日：2007-05-14

申请号：KR1020050105387

申请日：2005-11-04

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 권오득 ,  장원위 ,  이정언 ,  윤준보

IPC: H01H36/00

Abstract: 정전 구동 방식의 기계적인 스위치 및 그를 이용한 논리 회로가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기계적인 스위치는 제 1 전극, 제 1 전극 상에 형성된 절연층, 절연층 상에 형성된 제 2 전극 및 절연층 상에 제 2 전극과 이격되어 형성된 부착부 및 부착부로부터 연장 형성되고, 절연층 및 제 2 전극과 이격되어 형성된 이동부로 구성된 이동 전극을 포함한다. 본 발명의 바람직한 실시예들에 따른 기계적인 스위치를 이용한 논리 회로는 제 1 전극, 제 1 전극 상에 형성된 절연층, 절연층 상에 형성된 제 2 전극 및 절연층 상에 제 2 전극과 이격되어 형성된 부착부 및 부착부로부터 연장 형성되고, 절연층 및 제 2 전극과 이격되어 형성된 이동부로 구성된 이동 전극을 포함한 기계적인 스위치들을 다양하게 배선함으로써 구성한다.
기계적인 스위치, 논리 회로, 정전 구동

Abstract translation: 提供静电驱动型的机械开关和使用该机械开关的逻辑电路。 根据本发明的一个实施例的机械开关包括第一电极，在第二电极上的第二附接部和形成在所述绝缘层，形成于间隔开的第一电极和第二电极的绝缘层上的绝缘层和一个安装部 并且由绝缘层和与第二电极间隔开的移动部分形成的移动电极。 根据本发明的一个实施例的使用机械开关的逻辑电路包括：第一电极，形成在第一电极层上的绝缘性，在所述第二电极以及形成从形成在所述第二电极隔开的绝缘层上的绝缘层 以及从所述附接部分和所述附接部分延伸并由绝缘层和与所述第二电极隔开的可移动部分组成的可动电极。

公开(公告)号：KR100647513B1

公开(公告)日：2006-11-23

申请号：KR1020050106481

申请日：2005-11-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 장성일 ,  윤준보

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

公开(公告)号：KR100643684B1

公开(公告)日：2006-11-10

申请号：KR1020050105551

申请日：2005-11-04

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 전진완 ,  윤준보 ,  임굉수

IPC: H01L21/027

公开(公告)号：KR1020060021675A

公开(公告)日：2006-03-08

申请号：KR1020040070509

申请日：2004-09-03

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이병철 ,  장성일 ,  윤준보

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/162 ,  H01L21/6715

Abstract: 본 발명은 반도체 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 상세하게는 반도체 제조 공정중 노광 공정에서 두꺼운 포토레지스트를 도포할 때 형성되는 에지 비드 효과를 제거하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 제조 공정에서 스핀 코팅을 통하여 형성된 에지 비드 효과를 제거하는 장치는, 웨이퍼를 지지하고 회전시키며, 에지 비드 효과를 제거하기 위한 에지 익스텐션 척과 웨이퍼와 에지 익스텐션 척을 진공에 의해 결합시키고, 에지 익스텐션 척의 중심을 잡아 주는 진공척을 포함하여 구성된다.
반도체 공정, 반도체 소자, MEMS, 웨이퍼, 포토레지스트, 노광 공정, 에지 비드, 에지 비드 리무버, 에지 익스텐션 척, 스핀 코팅

公开(公告)号：KR1020050118565A

公开(公告)日：2005-12-19

申请号：KR1020040043720

申请日：2004-06-14

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 윤준보 ,  장성일 ,  최윤석

IPC: H01L29/00 ,  H01L21/28

Abstract: 본 발명은 3차원 금속 구조체의 형성 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기 정합 단분자층(Self-Assembled Monolayer)을 이용하여 균일하게 금속 시드를 제거할 수 있는 3차원 금속 구조체의 형성 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른, 기판 상에 형성된 3차원 금속 구조체의 형성 방법은, 상기 기판에 3차원 포토레지스트 몰드를 형성하는 단계; 상기 기판에 제1 금속 시드를 증착하는 단계; 상기 제1 금속 시드 상에 자기 정합 단분자층을 증착하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층을 선택적으로 제거하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층이 제거된 부분의 제1 금속 시드를 제거하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층을 모두 제거하는 단계; 및 상기 포토레지스트 몰드에 제1 금속층을 채우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020030052549A

公开(公告)日：2003-06-27

申请号：KR1020010082553

申请日：2001-12-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이형규 ,  조일주 ,  윤준보 ,  윤의식

IPC: G02B5/20

Abstract: PURPOSE: A variable optical filter is provided to vary the wavelength under a low voltage by using the Lorenz force applied to a conductive wire within the magnetic field. CONSTITUTION: A variable optical filter includes a substrate(101), the first reflective body(110), the second reflective body(130), a support body(121), a spring(122), a conductive wire(123), a current supply portion, and a magnetic field supply portion. The first reflective body is formed on the substrate. The second reflective body is formed in parallel to the first reflective body. The support body is used for supporting the second reflective body. The spring is used for connecting the support body with the first reflective body. The conductive wire is formed on the support body and the spring. The current supply portion supplies the current to the conductive wire. The magnetic field supply portion applied the magnetic field to the conductive wire. An effective optical path of an interval between the first reflective body and the second reflective body corresponds to 1/4 of wavelength of an incident ray to a filter.

Abstract translation: 目的：提供可变滤光器，通过使用施加到磁场内的导线的洛伦兹力来改变低电压下的波长。 构成：可变光学滤波器包括基板（101），第一反射体（110），第二反射体（130），支撑体（121），弹簧（122），导线（123）， 电流供应部分和磁场供应部分。 第一反射体形成在基板上。 第二反射体与第一反射体平行地形成。 支撑体用于支撑第二反射体。 弹簧用于将支撑体与第一反射体连接。 导线形成在支撑体和弹簧上。 电流供应部分将电流提供给导线。 磁场供应部分将磁场施加到导线上。 第一反射体与第二反射体之间的间隔的有效光路对应于入射到滤光器的波长的1/4。