3차원 구조체의 형성 방법
    22.
    发明公开
    3차원 구조체의 형성 방법 审中-实审
    形成三维结构的方法

    公开(公告)号:KR1020160103232A

    公开(公告)日:2016-09-01

    申请号:KR1020150025280

    申请日:2015-02-23

    CPC classification number: B32B25/20 B32B3/00 B32B27/00

    Abstract: 본발명은용액공정을통한실리콘기반의 3차원구조체의형성방법에관한것으로, 보다상세하게는기판상에유기실리콘전구체를제공하여, 유기실리콘패턴을형성하는것; 및상기유기실리콘패턴에자외선을조사하여, 실리콘산화물패턴을형성하는것을포함할수 있다. 이때, 상기유기실리콘전구체는 20℃및 1기압하에서 1.0 cP 내지 1.0×10cP의점도를갖고, 상기유기실리콘패턴과상기실리콘산화물패턴은실질적으로동일한크기를가질수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及通过溶液法形成基于硅氧烷的三维结构的方法。 更具体地说,形成基于硅氧烷的三维结构的方法包括以下步骤:通过在基底上提供有机硅氧烷前体形成有机硅树脂图案; 并通过向有机硅树脂图案发射紫外线而形成硅氧烷图案。 有机硅酮前体在20℃和大气压1atm下的粘度为1.0-1.010 ^ 7cP。 有机硅树脂图案和氧化硅图案可以具有基本相同的尺寸。 该方法可以在常温和常压下形成具有高密度的三维有机硅结构。

    금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치
    23.
    发明公开
    금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치 审中-实审
    形成金属氧化物薄膜和金属氧化物薄膜印刷装置的方法

    公开(公告)号:KR1020150095164A

    公开(公告)日:2015-08-20

    申请号:KR1020140078173

    申请日:2014-06-25

    CPC classification number: H01L29/7869

    Abstract: 본 발명은 기상 제트 프린팅을 이용한 금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치에 관한 것으로, 상기 금속 산화물 박막의 형성 방법은, 제1 금속 산화물 전구체를 기화시키는 것; 기화된 상기 제1 금속 산화물 전구체를 제1 캐리어 가스를 이용하여 혼합 챔버로 유입시키는 것; 유입된 상기 제1 금속 산화물 전구체를 상기 혼합 챔버의 하단에 연결된 마이크로 노즐을 통해 기판 상으로 분사하여, 상기 기판 상에 제1 금속 산화물 전구체층을 형성하는 것; 및 상기 제1 금속 산화물 전구체층에 전자기파를 조사하여 제1 금속 산화물층을 형성하는 것을 포함할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及使用气相印刷法形成金属氧化物薄膜的方法和金属氧化物薄膜印刷装置。 形成金属氧化物薄膜的方法包括:蒸发第一金属氧化物前体; 通过使用第一载气将蒸发的第一金属氧化物前体引入混合室; 通过将第一金属氧化物前体通过连接到混合室的底部的微型喷嘴注入到基板上而在基板上形成第一金属氧化物前体层; 以及通过用电磁波照射所述第一金属氧化物前体层来形成第一金属氧化物层。

    나노 압전 소자 및 그 형성방법
    25.
    发明授权
    나노 압전 소자 및 그 형성방법 失效
    纳米压电器件及其形成方法

    公开(公告)号:KR101208032B1

    公开(公告)日:2012-12-04

    申请号:KR1020090024626

    申请日:2009-03-23

    Inventor: 박종혁

    Abstract: 나노압전소자및 그형성방법이제공된다. 나노압전소자는하부전극, 하부전극으로부터위로연장되는나노와이어및 나노와이어상의상부전극을포함하되, 나노와이어는전도성을가지는와이어코어(core) 및와이어코어를둘러싸며압전소재로구성된와이어쉘(shell)을포함한다.

    마이크로 히터를 이용한 금속 산화물 나노 소재의 선택적증착방법 및 이를 이용한 가스센서
    29.
    发明授权
    마이크로 히터를 이용한 금속 산화물 나노 소재의 선택적증착방법 및 이를 이용한 가스센서 有权
    마이크로히터를이용한금속산화물나노소재의선택적증착방법및이를이용한가스센서

    公开(公告)号:KR100932522B1

    公开(公告)日:2009-12-17

    申请号:KR1020070126490

    申请日:2007-12-07

    Abstract: A method for selectively depositing a metal oxide nano material and a gas sensor using the same are provided to improve crystallization through a rapid thermal process by using a micro heater and to remove the moisture attached on the surface of a nano line. A substrate removing a central region is provided. A membrane(20) is formed in an upper part of the substrate. A micro-heater electrode(40) is formed in the upper part of the membrane of the central region. An insulating layer(30) covering the micro heater is formed in the upper part of the membrane. A sensing electrode(50) is formed in the upper part of the insulating layer of the micro heater electrode part. The metal oxide nano material is deposited in an upper part of the sensing electrode.

    Abstract translation: 提供了一种用于选择性地沉积金属氧化物纳米材料的方法和使用该方法的气体传感器,以通过使用微型加热器的快速热处理来改善结晶并且去除附着在纳米线表面上的水分。 提供去除中心区域的衬底。 膜(20)形成在基板的上部。 微型加热器电极(40)形成在中心区域的膜的上部。 覆盖微型加热器的绝缘层(30)形成在膜的上部。 感测电极(50)形成在微型加热器电极部分的绝缘层的上部。 金属氧化物纳米材料沉积在感测电极的上部。

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