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1.发明专利
公开(公告)号：KR102233750B1
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：KR1020140078173A
申请日：2014-06-25
IPC: H01L29/786 , H01L21/02 , H01L21/335
Abstract: 본 발명은 기상 제트 프린팅을 이용한 금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치에 관한 것으로, 상기 금속 산화물 박막의 형성 방법은, 제1 금속 산화물 전구체를 기화시키는 것; 기화된 상기 제1 금속 산화물 전구체를 제1 캐리어 가스를 이용하여 혼합 챔버로 유입시키는 것; 유입된 상기 제1 금속 산화물 전구체를 상기 혼합 챔버의 하단에 연결된 마이크로 노즐을 통해 기판 상으로 분사하여, 상기 기판 상에 제1 금속 산화물 전구체층을 형성하는 것; 및 상기 제1 금속 산화물 전구체층에 전자기파를 조사하여 제1 금속 산화물층을 형성하는 것을 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160103242A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：KR1020150025358
申请日：2015-02-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/1333 , G02F1/1339 , G02F1/1343
CPC classification number: G02F1/133308 , G02F2001/133317 , G02F2001/133616 , G02F2201/44 , G02F1/1339 , G02F1/1343 , G02F2001/133342
Abstract: 표시장치및 이를제조하는방법을제공한다. 표시장치는, 하부표시소자와, 제1 상부전극, 발광부, 제2 상부전극및 보호부가순차적으로적층된상부표시소자와, 하부및 상부표시소자들로구동신호를전달하는중간부를포함하되, 보호부는상부표시소자의적어도일부를덮는다.
Abstract translation: 提供了显示装置及其制造方法。 显示装置包括：下显示元件; 依次层叠有第一上电极，发光单元，第二上电极和保护单元的上显示元件; 以及构造成将驱动信号传送到下部和上部显示元件的中间单元。 保护单元覆盖上部显示元件的至少一部分。 因此，可以提高显示装置的图像质量。
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公开(公告)号：KR101239137B1
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：KR1020090031275
申请日：2009-04-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N27/4145
Abstract: 바이오 센서 리더기 및 바이오 센서 리더기 시스템이 제공된다. 전극들 사이에서, 감지 물질들이 고정된 감지 채널을 포함하는 FET형 바이오 센서가 장착되어, 분석 용액에 포함된 타겟 물질과 상기 감지 물질의 결합에 의한 상기 감지 채널의 전기전도도 변화를 분석하는 바이오 센서 리더기에 있어서, FET형 바이오 센서의 장착에 의해, 고정된 저항값을 갖는 기준 저항과 감지 채널을 전기적으로 연결시키며, 기준 저항에서의 기준 전압 강하와 감지 채널에서의 채널 전압 강하를 측정하여, 기준 전압 강하와 채널 전압 강하로부터 감지 채널의 전기전도도 변화를 분석하는 측정 모듈 및 전기전도도 변화에 따른 타겟 물질의 분석 결과를 출력하는 출력 모듈을 포함한다.
FET형 바이오 센서, 기준 저항, 채널 저항-
公开(公告)号：KR101191232B1
公开(公告)日：2012-10-16
申请号：KR1020090027383
申请日：2009-03-31
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N33/50 , G01N33/72 , G01N33/563
Abstract: 바이오 센서 및 이를 이용한 바이오 분자 검출 방법이 제공된다. 바이오 센서는 기판 상에 배치되며, 프로브 분자들과 특이 결합하는 검출용 타겟 분자들이 표면에 고정된 감지부 및 프로브 분자들을 포함하는 분석 용액을 검출용 타겟 분자들로 제공하는 유체 채널을 포함하되, 프로브 분자는 타겟 분자 및 검출용 타겟 분자들과 특이 결합한다.
바이오 센서, 하전되지 않은 분자, 저분자-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101056385B1
公开(公告)日：2011-08-12
申请号：KR1020080098141
申请日：2008-10-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N33/53 , G01N33/48 , G01N27/26 , G01N27/327
CPC classification number: G01N27/4145 , G01N27/4146
Abstract: 본 발명에 따른 검출 소자는 유체 내의 특정 작용기에 반응하는 반응 물질층, 절연층의 상하에 위치한 제1 전극과 제2 전극을 포함하며, 상기 반응 물질층 하부에 상기 제1 전극이 형성되어 있는 검출 커패시터, 그리고 상기 검출 커패시터의 상기 제1 전극과 연결되어 있는 게이트 전극을 포함하는 전계 효과 트랜지스터를 포함하며, 상기 반응 물질층은 표면적을 넓히기 위한 전도성 입체 구조 형태를 가진다. 따라서 전하집적부의 전도성 입체구조물의 표면적을 넓히고 유체의 흐름에 대해 입체적으로 형성함으로써, 커패시터 공유 효과 및 게이트에 인가되는 전압 변화량을 극대화함으로써 훨씬 높은 고민감도를 가질 수 있다.
검출 소자, 바이오 센서, 전계효과 트랜지스터Abstract translation: 根据本发明的感测元件包括响应于流体中的特定官能团的反应材料层，位于绝缘层上方和下方的第一电极和第二电极， 电容器和耦合到感测电容器的第一电极的栅电极，其中反应材料层具有导电构造形状以扩大表面积。 因此，通过增大电荷积聚部分的导电三维结构的表面积并且通过相对于流体的流动形成三维形状，电容器共享效应和施加到栅极的电压变化量被最大化。
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公开(公告)号：KR100980738B1
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：KR1020080099614
申请日：2008-10-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L29/0665 , B82Y10/00 , B82Y15/00 , G01N27/127 , H01L29/0673 , H01L29/66439 , H01L29/772 , Y10S977/959
Abstract: 반도체 나노와이어 센서 소자의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 반도체 나노 와이어 센서 소자가 제공된다. 반도체 나노와이어 센서 소자의 제조 방법은 제 1 도전형 단결정 반도체 기판을 준비하고, 제 1 도전형 단결정 반도체 기판에, 라인 형태의 제 1 도전형 단결정 패턴을 형성하고, 제 1 도전형 단결정 패턴의 양측벽에, 제 2 도전형의 에피택시얼 패턴들을 형성하고, 제 2 도전형 에피택시얼 패턴들의 양끝단에, 소오스 및 드레인 전극을 형성하는 것을 포함한다.
나노와이어, 리소그래피 공정, 에피택시얼 성장-
公开(公告)号：KR1020100030335A
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：KR1020080089237
申请日：2008-09-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N33/54373 , B01L3/502761 , B01L2200/143 , B01L2300/0636 , B01L2300/0645 , B01L2300/0867 , B01L2300/163 , B01L2400/0415 , G01N27/4145
Abstract: PURPOSE: A device and a method for detecting biomolecules are provided to detect biomolecules with high-ionic strength by measuring a current change flowing in a channel area of a Field Effect Transistor. CONSTITUTION: A device for detecting biomolecules comprises a FET(12), a micro fluid supply unit(14), and a biomolecules detecting unit(18). The FET comprises a substrate, a source, a drain electrode, a channel area, and a probe molecule. The micro fluid supply unit selectively supplies reaction solution of high-ionic density to the channel area of the FET. The biomolecules detecting unit measures a first current value of the channel area of the FET in which the probe molecule is fixed. The biomolecules detecting unit measures a second current value of the channel area of the FET in which the probe molecule and a target molecule are fixed. And the biomolecules detecting unit detects the target molecule.
Abstract translation: 目的：提供一种用于检测生物分子的装置和方法，通过测量在场效应晶体管的通道区域中流动的电流变化来检测具有高离子强度的生物分子。 构成：用于检测生物分子的装置包括FET（12），微流体供应单元（14）和生物分子检测单元（18）。 FET包括衬底，源极，漏极，沟道区和探针分子。 微流体供应单元选择性地将高离子密度的反应溶液提供给FET的通道区域。 生物分子检测单元测量探针分子固定的FET的沟道面积的第一电流值。 生物分子检测单元测量探针分子和靶分子固定的FET的沟道面积的第二电流值。 并且生物分子检测单元检测靶分子。
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公开(公告)号：KR100940524B1
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：KR1020070129581
申请日：2007-12-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/336 , H01L29/78
CPC classification number: G01N27/4145 , H01L29/66818 , H01L29/7853
Abstract: 본 발명은 반도체 기술을 이용한 FET(Field-effect transistor) 센서에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 FET 센서의 민감도를 개선시키기 위하여 핀 구조를 이용하는 FET 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 FET 센서를 제조하는 방법은, 반도체 기판을 제공하는 단계와, 상기 반도체 기판상에 핀 구조를 갖는 센서 구조체를 형성하는 단계와, 상기 센서 구조체에 전기적 오믹 콘택을 위한 이온을 주입하고 금속 전극을 증착하는 단계와, 표적물질과 특이성 결합하는 감지물질을 상기 핀 구조의 양쪽 측벽에 고정화시키는 단계와, 상기 표적물질이 상기 핀 구조를 지나가도록 하는 통로를 상기 센서 구조체 위에 형성하는 단계를 포함한다.
반도체 FET 센서, 핀 구조, 바이오 센서, SOI 기판, 벌크 기판-
10.发明授权
公开(公告)号：KR100900955B1
公开(公告)日：2009-06-08
申请号：KR1020070082205
申请日：2007-08-16
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N33/5308 , C12Q1/6825 , G01N33/54313 , G01N33/54393 , Y10T436/143333
Abstract: 본 발명은 자기조립된 분자의 커버리지 분석용 기판 및 나노 입자를 이용하여 벌크 고체 표면이나 고체 표면 또는 고체 표면에 패턴된 나노선, 나노채널에 자기조립된 분자의 커버리지를 분석하는 방법에 관한 것으로서, 나노입자를 자기조립된 분자에 포함된 작용기와 결합시켜서 상기 기판에 도입시킨 후 표면에 존재하는 금 나노 입자 개수를 분석하여 자기조립된 분자의 특정 작용기 유무와 반응 정도 및 이를 이용한 자기조립된 분자의 커버리지를 분석하는 방법을 제공한다.
기판 표면, 나노선, 나노 패턴, DNA 분자, 아민기, 나노입자
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