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公开(公告)号：KR1020150061341A
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：KR1020130145340
申请日：2013-11-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04R19/04
Abstract: 마이크로폰이제공된다. 본발명의개념에따른마이크로폰은음향챔버를갖는기판; 상기기판상에배치된하부백플레이트; 상기하부백플레이트상에서, 상기하부백플레이트와이격되고, 그내부를관통하는홀을갖는다이어프램; 상기하부백플레이트상에배치되어, 상기다이어프램의홀을통하여연장되는연결부; 및상기연결부상에제공되며, 상기다이어프램과이격배치되는상부백플레이트를포함할수 있다. 본발명의마이크로폰은감도및 신뢰성이향상될수 있다.
Abstract translation: 提供麦克风。 根据本发明的概念的麦克风包括：基板，包括声室，布置在基板上的底背板，与底背板分离并具有穿过其内侧的孔的隔膜; 在底背板上设置有连接单元，该连接单元布置在底部背板上并延伸穿过隔膜的孔，并且设置在连接单元上并与隔膜分离的顶部背板。 根据本发明的麦克风提高了灵敏度和可靠性。
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公开(公告)号：KR1020140040997A
公开(公告)日：2014-04-04
申请号：KR1020120107761
申请日：2012-09-27
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor： 제창한
CPC classification number: B81B3/0018 , B81B7/0054 , B81B2201/0257 , B81C1/00158
Abstract: The present invention relates to a structure for improving the performance of a MEMS microphone by reducing the rigidity of a membrane and preventing deformation due to the package stress and the remaining stress of the membrane. The MEMS microphone according to the present invention includes a back plate which is formed on a substrate, an insulation layer which is formed on the substrate to surround the back plate, a membrane which is separately formed on the back plate with a preset gap, a membrane support unit which connects the membrane to the substrate, and a buffering unit which is formed with a dual spring structure between the membrane and the membrane support unit.
Abstract translation: 本发明涉及通过降低膜的刚性并防止由于封装应力和膜的剩余应力引起的变形来提高MEMS麦克风的性能的结构。 根据本发明的MEMS麦克风包括形成在基板上的背板，形成在基板上以围绕背板的绝缘层，以预定间隙分开形成在背板上的膜， 将膜连接到基板的膜支撑单元以及在膜和膜支撑单元之间形成有双弹簧结构的缓冲单元。
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公开(公告)号：KR1020140028467A
公开(公告)日：2014-03-10
申请号：KR1020120094819
申请日：2012-08-29
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: B81B3/0018 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81C1/00158 , B81C1/00182 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006
Abstract: More particularly, the present invention relates to an MEMS acoustic sensor and a manufacturing method thereof, which is capable of removing nonlinear elements caused by the vertical movement of a bottom electrode during the input of external sound pressure by fixing the bottom electrode to a substrate by a fixing pin. The present invention improves a frequency response feature by forming the fixing pin in a fixing groove after the fixing groove is formed on a part of the substrate and removing the undesirable vertical movement of a fixing electrode during the input of the sound pressure by fixing the fixing electrode to the substrate by the fixing pin. The yield of a manufacturing process is improved by suppressing the thermal deformation of the fixing electrode generated during the manufacturing process.
Abstract translation: 更具体地说，本发明涉及一种MEMS声学传感器及其制造方法，该MEMS声学传感器及其制造方法能够通过将底部电极固定在基板上来去除外部声压的输入期间由底部电极的垂直移动引起的非线性元件 固定销。 本发明通过在固定槽形成在基板的一部分上之后将固定销形成在固定槽中来改善频率响应特征，并通过固定固定装置来消除固定电极在输入声压期间不期望的垂直运动 电极通过固定销到基板。 通过抑制在制造过程中产生的固定电极的热变形来提高制造工艺的产量。
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公开(公告)号：KR1020120041943A
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020100103368
申请日：2010-10-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R31/00 , H04R19/005 , H04R19/02
Abstract: PURPOSE: An acoustic sensor for and a manufacturing method thereof are provided to improve frequency response characteristics by eliminating an nonlinear component due to the swing of a vibration plate and a vibration plate support stand through the planarization of the vibration plate support stand and the vibration plate. CONSTITUTION: A substrate(110) includes a bottom portion expanded from sidewall parts and the floor portion of the sidewall parts. A fixed electrode includes an inter-layer insulating film, a bottom electrode(124), and a bottom electrode insulating layer(126) successively formed on a top of a substrate. A fixed electrode includes first holed(130) part formed on a center region of the bottom portion and second holed(132) part formed on the edge region of the bottom portion. A vibration plate(136) faces a concave portion of the fixed electrode at a certain interval having a vacuum space therebetween.
Abstract translation: 目的：提供一种声传感器及其制造方法，通过消除由于振动板和振动板支撑架的摆动引起的非线性分量，通过振动板支撑架和振动板的平面化来提高频率响应特性 。 构成：衬底（110）包括从侧壁部分膨胀的底部和侧壁部分的底板部分。 固定电极包括依次形成在基板的顶部上的层间绝缘膜，底部电极（124）和底部电极绝缘层（126）。 固定电极包括形成在底部的中心区域上的第一孔洞部分（130）和形成在底部的边缘区域上的第二孔穴部分（132）。 振动板（136）以固定电极的凹部与其间具有真空间隔一定间隔地面对。
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公开(公告)号：KR1020110066346A
公开(公告)日：2011-06-17
申请号：KR1020090122962
申请日：2009-12-11
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L41/1138 , B60C23/0411 , H01L41/1136 , H02N2/186
Abstract: PURPOSE: A piezoelectric power generator is provided to use the amount of changed air pressure as a source which generates electricity, thereby efficiently generating power. CONSTITUTION: A hole is punched on a site where a PCB board(120) is placed. Copper and gold is plated around the hole to form a conductive metal pattern(140), an upper electrode pad(142), and a lower electrode pad(144). A piezoelectric object(110) can be bulk PZT, AlN, or PZN-PT. Sound resonance is generated by a change of air pressure by forming one side of a device by a cavity of a Helmholtz resonator structure to maximize the displacement of a metal board.
Abstract translation: 目的：提供一种压电发电机，以使用变化的气压量作为发电的源，从而有效地发电。 规定：在放置PCB板（120）的位置上打孔。 铜和金镀在孔周围，形成导电金属图案（140），上电极焊盘（142）和下电极焊盘（144）。 压电体（110）可以是体积PZT，AlN或PZN-PT。 通过用亥姆霍兹共振器结构的腔形成器件的一侧来使空气压力的变化产生声共振，以使金属板的位移最大化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110021635A
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020100042320
申请日：2010-05-06
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor： 제창한
IPC: H01L21/308 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/3083 , H01L21/0274 , H01L21/0337 , H01L21/3085
Abstract: PURPOSE: A 3d MEMS structure equipped and a manufacturing method thereof are provided to accurately control the height of the level formed on the 3d MEMS structure by implementing the patterning or etching process in multiple stages. CONSTITUTION: A first etching mask(210) is deposited on a substrate(200). The substrate is exposed by etching the area of the first etching mask. A groove(H) is formed by partially etching the area of the substrate exposed through the first etching mask. A second etching mask(240) is deposited on the sidewall of the groove.
Abstract translation: 目的：提供一种3D MEMS结构及其制造方法，以通过多级实现图案化或蚀刻工艺来精确地控制在3d MEMS结构上形成的高度。 构成：第一蚀刻掩模（210）沉积在衬底（200）上。 通过蚀刻第一蚀刻掩模的区域来暴露衬底。 通过部分蚀刻通过第一蚀刻掩模曝光的衬底的区域来形成沟槽（H）。 第二蚀刻掩模（240）沉积在凹槽的侧壁上。
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公开(公告)号：KR1020110014786A
公开(公告)日：2011-02-14
申请号：KR1020090072313
申请日：2009-08-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L35/02
Abstract: PURPOSE: A thermoelectric device having improved thermoelectric efficiency and manufacturing a method thereof are provided to increase thermoelectric efficiency by using a thermal insulating film having low thermoelectric efficiency. CONSTITUTION: A heat absorbing film(230) is formed on a substrate(210) and absorbs an outer heat source. A leg(240) transfers the heat absorbed through the heat absorbing film to the heat radiation film. A heat radiation film(250) emits the heat which it is transmitted from the leg to outside. Thermal isolation films(220,260) reduce the heat transfer rate at the leg. The thermal isolation film is formed in at least one of the leg lower part and upper part.
Abstract translation: 目的：提供一种具有改善的热电效率的热电装置及其制造方法，以通过使用具有低热电效率的绝热膜来提高热电效率。 构成：在基板（210）上形成吸热膜（230）并吸收外部热源。 腿部240将通过吸热膜吸收的热量传递到散热膜。 散热片（250）发射从腿部向外部传递的热量。 隔热膜（220,260）降低了腿部的传热速率。 热隔离膜形成在腿部下部和上部中的至少一个中。
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公开(公告)号：KR100986221B1
公开(公告)日：2010-10-08
申请号：KR1020080056396
申请日：2008-06-16
Applicant: 한국전자통신연구원 , 한국산업기술대학교산학협력단
IPC: G01P15/08 , G01P15/097
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: 본 발명은 수직 방향 가속도 측정 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 기판, 상기 기판과 분리되며 가동하는 질량추, 상기 질량추의 상단에 일정한 방향으로 형성되는 복수의 가동 전극판, 상기 질량추의 상단에 형성되며 상기 가동 전극판을 지지하는 가동 전극판 지지부, 상기 기판의 상단에 형성되는 고정체, 상기 고정체와 결합하며 상기 질량추의 상단과 인접하여 형성되는 고정 전극판 지지부, 상기 고정 전극판 지지부에 의해 지지되며 상기 가동 전극판과 평행하게 대면하도록 배열되는 복수의 고정 전극판 및 상기 고정체 및 상기 가동 전극판 지지부를 연결하는 연결 스프링을 포함하는 수직 방향 가속도 측정 장치를 제공할 수 있다.
가속도 측정, 수직 방향-
公开(公告)号：KR100744543B1
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：KR1020050120187
申请日：2005-12-08
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/0013 , B81B3/0072 , B81B2201/016
Abstract: MEMS 스위치의 구조적인 문제점으로 인해 발생되는 열적 변형과 스틱션 문제를 해결할 수 있는 정전기력으로 구동되는 MEMS 스위치 및 그 스위치 제조방법을 제공한다. 그 MEMS 스위치는 트렌치, 접지라인 및 일정 부분의 개방부를 갖는 신호라인이 형성된 기판; 전극판 및 개방부를 연결할 수 있는 접촉수단을 구비하고 기판과 일정 간격 이격되어 있으며 트렌치에 삽입될 수 있는 깊은 주름이 형성된 이동판부; 및 이동판부를 지지하는 지지부;를 포함한다.
미세전자기계적 스위치, 신호라인, 깊은 주름, 스위칭 전극 라인-
公开(公告)号：KR1020060035078A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020040084407
申请日：2004-10-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H2059/0072 , H01P1/127 , Y10T29/417 , Y10T29/49105 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155 , Y10T29/49204 , Y10T29/49208
Abstract: 본 발명은 고주파 대역의 무선통신 또는 고주파(RF) 시스템에서 신호의 전달을 제어하기 위해 사용되는 미세전자기계적(Micro-electro Mechanical Systems; MEMS) 스위치에 관한 것으로, 기판 상에 형성되며 소정 부분이 개방된 신호선, 상기 신호선 양측의 기판에 각각 형성된 적어도 하나의 지지대, 지지대와 신호선 사이의 기판에 형성된 접지선, 지지대에 양측부가 고정되며 상, 하 이동이 가능한 이동판, 이동판에 위치되며 개방된 신호선을 연결시키기 위한 접촉수단를 구비하는 스위칭부, 이동판과 스위칭부를 지지하며, 기판과의 간격 유지를 위한 지지돌출부를 구비하는 지지층을 포함한다.
미세전자기계적 스위치, 신호선, 스위칭부, 중앙지지층, 지지돌출부
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