公开(公告)号：KR1019990015373A

公开(公告)日：1999-03-05

申请号：KR1019970037478

申请日：1997-08-06

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 주관종 ,  이상환 ,  황남 ,  문종태 ,  송민규

IPC: G02B6/00

Abstract: 본 발명은 광섬유 축에 대하여 기울어진 광도파로를 갖는 광소자를 플립칩 접합 방법으로 수동정렬용 기판 위에 정렬하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 광소자 길이의 편차에 따른 광도파로의 위치이탈을 정밀하게 교정해 주기 위한 정렬부호를 사용하며, 또한 이를 가능하게 하는 수동정렬용 기판 제작시 정렬부호를 삽입하고, V-홈을 형성함에 있어서, 별도의 포토리소그라피 공정 중에 발생하는 마스크 정렬오차를 제거하며, V-홈의 이방성 식각 후에 변화된 V-홈의 중심 위치에 대한 플립칩 접합용 정렬부호의 위치변화를 방지하기 위하여 이들을 한번의 식각 공정으로 동시에 형성함으로써, 광소자와 광섬유를 수동정렬 할 때 광결합 효율을 극대화시킬 수 있는 것이다.

公开(公告)号：KR1019980043607A

公开(公告)日：1998-09-05

申请号：KR1019960061534

申请日：1996-12-04

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 강승구 ,  송민규 ,  황남 ,  박성수 ,  이희태

IPC: H01S3/10

Abstract: 본 발명은 광섬유가 부착된 고속 광통신용 반도체 레이저 모듈 제작시 레이저 서브 모듈을 정확한 위치에 부착하기 위한 빔 정렬기구 및 정렬방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 빔 정렬기구는, 빔 정렬기구 받침대(42) 상에 부설되고, 서브 모듈(50)을 정렬하기 위한 서브 모듈 홀더(45)를 x, y, z 방향으로 움직이기 위한 서브 모듈 홀더용 스테이지(46)와, 정렬이 이루어진 후 서브 모듈(50)과 열전 냉각소자(7) 사이의 열전도성 에폭시를 열정화시켜 서브 모듈(50)을 열전 냉각소자(7)에 고정시키기 위한 핫플레이트(31)와, 버터플라이 패키지(13)의 궤환광 차단기 삽입홈(44)에 그 일단이 삽입 설치되며, 서브 모듈(50)의 레이저 다이오드(1)에 발산된 빔을 평행광으로 변환하여 스크린(39)상에 맺히도록 하는 빔 정렬통(37)과, 빔 정렬통(37)을 고정하며 x, y, z 방향으로 움직이기 위한 x, y, z-스테이지(32)와, 서브 모듈(50)의 정렬과정 중 정렬된 빔을 관찰하기 위한 스크린(39) 및 적외선 카메라(40)로 구성된다. 본 발명에 다른 반도체 메모리 모듈의 빔 정렬기구 및 정렬방법에 의해 빔 정렬을 수행하는 경우에는, 고가의 고속 광통신용 반도체 레이저 모듈 제작시 불량률을 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 부품가공 정밀도의 완화를 통하여 경제성을 높일 수 있고, 부품 간의 광축 일치화에 따라 높은 광결합 효율을 얻을 수 있으므로, 레이저 모듈의 성능을 제고시킬 수 있는 유용한 발명이다.

公开(公告)号：KR1019960026488A

公开(公告)日：1996-07-22

申请号：KR1019940033904

申请日：1994-12-13

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 강승구 ,  송민규 ,  황남 ,  이희태 ,  박승교 ,  김동구

IPC: H01L21/52

Abstract: 본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로 더욱 구체적으로는 반도체 소자와 패키지를 결합시키는 접촉식 고속가열/냉각 다이본더에 관한 것으로 본딩 플레이트가 매우 빠른 온도상승/하강 시간을 갖도록 하기 위하여 본 발명에서는 다이본딩을수행할 윗판인 본딩 플레이트는 열장고 및 본체와 차단되도록 하고 가운데 부분에는 진공으로 기판을 잡을 수 있도록 작은 구멍이 형성되어 있고 가장자리에는 다이본딩 후 재빨리 식힐 수 있고 본딩공정중에 포오밍가스(질소와 수소의 혼합가스)를 흘려줄 수 있도록 가스선과 연결된 구멍이 형성되어 있으며 또한 본체 내부에는 히터, 열전쌍, 그리고 온도 콘트롤러에 의해서 항상 일정한 온도를 유지할 수 있도록 한 열저장고가 구비되며, 열저장고(18)를 상승 하강시켜주는 작동부재는 정확한 수직 운동이 이 루어지도록 안내기능을 하는 상하운동 가이딩기둥과 접촉용스프링 및 외부에 노출되어 직접 작동시키는 열장고 착/탈용 스위치로 구성됨을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020040000926A

公开(公告)日：2004-01-07

申请号：KR1020020035943

申请日：2002-06-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이상균 ,  황남 ,  고재상

IPC: G02B6/32

Abstract: PURPOSE: An optic fiber is provided to be capable of increasing the focal length of light by forming a semi-circular type concave part at the end portion of the optic fiber and filling predetermined material having a higher refraction index than that of the optic fiber into the semi-circular type concave part. CONSTITUTION: An optic fiber is provided with a core part(11) and a clad part(12). The optic fiber further includes a concave part(15) formed at one end portion of the core part and the clad part. And, predetermined material having a higher refraction index than that of the core part is filled into the concave part. In the device, the concave part is formed into a semi-circular type structure, a wet etching process is carried out for forming the concave part.

Abstract translation: 目的：提供一种光纤，通过在光纤的端部形成半圆形凹部，并将具有比光纤的折射率高的折射率的预定材料填充到能够增加光的焦距的位置 半圆形凹部。 构成：光纤设有芯部（11）和包层部（12）。 光纤还包括形成在芯部的一端部和包层部的凹部（15）。 并且，将具有比芯部更高的折射率的预定材料填充到凹部中。 在该装置中，凹部形成为半圆形结构，进行用于形成凹部的湿式蚀刻工序。

公开(公告)号：KR1020030001044A

公开(公告)日：2003-01-06

申请号：KR1020010037363

申请日：2001-06-28

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 유현규 ,  장재홍 ,  김충기 ,  김성도 ,  윤용식 ,  박필재 ,  김천수 ,  황남 ,  박정우

IPC: H01L29/93

Abstract: PURPOSE: A variable passive device is provided to reduce a serial resistance and a serial loss of a varactor by connecting the varactor with a capacitor in parallel. CONSTITUTION: An N-type well region(26) is formed in the inside of a P-type substrate. A P+ diffusion region(22) and an N+ diffusion region(23) are formed in a predetermined interval in the inside of the N-type well region. An oxide layer is deposited on an upper portion of the N+ diffusion region(23). A polysilicon layer(25) is formed thereon. The P+ diffusion region(22) is connected with the polysilicon layer(25) by using a metal(21). An MOS is formed with the metal(21), the polysilicon layer(25), and the N+ diffusion region(23). A PN varactor is formed with the metal(21), the P+ diffusion region(22), the N+ diffusion region(23), and a metal(21a). The metal(21) is connected with a connection point(24) of the MOS and the P+ diffusion region(22). The P+ diffusion region(22) is used as one terminal of the PN varactor. The N+ diffusion region(23) is connected with the metal(21a).

Abstract translation: 目的：提供可变无源器件，通过并联连接变容二极管和电容器来减少串联电阻和变容二极管串联损耗。 构成：在P型衬底的内部形成有N型阱区（26）。 在N型阱区域的内部，以规定间隔形成P +扩散区域（22）和N +扩散区域（23）。 氧化物层沉积在N +扩散区（23）的上部。 在其上形成多晶硅层（25）。 P +扩散区域（22）通过使用金属（21）与多晶硅层（25）连接。 金属（21），多晶硅层（25）和N +扩散区（23）形成MOS。 PN变容二极管与金属（21），P +扩散区（22），N +扩散区（23）和金属（21a）形成。 金属（21）与MOS和P +扩散区（22）的连接点（24）连接。 P +扩散区域（22）用作PN变容二极管的一个端子。 N +扩散区域（23）与金属（21a）连接。

公开(公告)号：KR100317130B1

公开(公告)日：2001-12-22

申请号：KR1019990040422

申请日：1999-09-20

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김종덕 ,  주관종 ,  이상환 ,  황남 ,  송민규

IPC: H04B10/40

Abstract: 본발명은광가입자망에서송수신이동시에가능한양방향송수신모듈에관한것이다. 이러한양방향송수신모듈은송수신집적칩과, 광섬유와, 실리콘벤치로구성된다. 상기송수신집적칩은, 상기레이저광원의앞에집적되어상기레이저광원에서방출되는송신광의모드크기를변환하는광모드변환수단과, 상기광모드변환수단의위에집적되어상기광모드변환수단을통해도파되는송신광의일부를검출하여송신광을모니터링하는모니터광검출수단, 및상기모니터광검출수단의위에집적되어상기광섬유를통해입사되는수신광을검출하는상기수신광검출수단을포함하고; 상기실리콘벤치는, 기판과, 상기기판에형성되어상기수신광을상기수신광검출소자에게반사하는 U자홈, 상기 U자홈의한쪽끝부분의상기기판에중복형성된 V자홈, 및상기 U자홈과 V자홈 사이에형성되어상기광섬유나 V자홈에서반사된송신광을차단하는반사차단벽을포함하며; 상기광섬유는, 상기송수신집적칩과대면한단부가경사절두원추형으로형성되어, 상기광섬유의코어부분만기울기각을가지도록형성된다.

公开(公告)号：KR1020010028259A

公开(公告)日：2001-04-06

申请号：KR1019990040422

申请日：1999-09-20

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김종덕 ,  주관종 ,  이상환 ,  황남 ,  송민규

IPC: H04B10/40

CPC classification number: G02B6/4246 ,  G02B6/4214 ,  G02B6/4243 ,  H01S5/02252 ,  H04B10/40

Abstract: PURPOSE: A bidirectional transceiver module for an optical subscriber line is provided to have an integrated transceiver chip, a silicon bench, and an optical fiber, so as to perform a transceiving using two different wavelengths and using a single wavelength as well. CONSTITUTION: An integrated transceiver chip(100) comprises as follows. A spot size converter(120) is integrated in front of an LD(Laser Diode)(110), and converts a mode size of a transmitting light released from the LD(110). A monitor photodiode(130) is integrated into the spot size converter(120), and detects portions of a transmission light waveguided through the spot size converter(120), then monitors the transmission light. A detector photodiode(140) is integrated on the monitor photodiode(130), and detects a receiving light incident through an optical fiber(300). A silicon bench(200) comprises as follows. A 'U'-shaped groove(201) formed on a substrate reflects the receiving light on the detector photodiode(140). A 'V'-shaped groove(202) is overlapped on one end of the substrate with the 'U'-shaped groove(201). A reflection interception wall(203) formed between the 'U'-shaped groove(201) and the 'V'-shaped groove(202) intercepts the transmission light reflected from the optical fiber(300) or the 'V'-shaped groove(202). An end of the optical fiber(300) is faced with the integrated transceiver chip(100), and formed with a slope truncation conic shape, to make a core part of the optical fiber(300) have a slope angle.

Abstract translation: 目的：提供用于光用户线路的双向收发器模块，以具有集成收发器芯片，硅台架和光纤，以便使用两个不同波长执行收发，并使用单个波长。 构成：集成收发器芯片（100）包括如下。 光点尺寸转换器（120）集成在LD（激光二极管）（110）的前面，并且转换从LD（110）释放的透射光的模式尺寸。 监视器光电二极管（130）被集成到光斑尺寸转换器（120）中，并且检测通过光斑尺寸转换器（120）波导的透射光的部分，然后监视透射光。 检测器光电二极管（140）集成在监视器光电二极管（130）上，并检测通过光纤（300）入射的接收光。 硅台（200）包括如下。 形成在基板上的'U'形槽（201）反射检测器光电二极管（140）上的接收光。 “V”形槽（202）与“U”型槽（201）重叠在基板的一端。 形成在U形槽（201）与V形槽（202）之间的反射截取壁（203）截取从光纤（300）反射的透射光或“V”形槽 （202）。 光纤（300）的端部面向集成收发芯片（100），并且形成为斜截头锥形，以使光纤（300）的核心部分具有倾斜角。

公开(公告)号：KR100277695B1

公开(公告)日：2001-02-01

申请号：KR1019980037714

申请日：1998-09-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이상환 ,  주관종 ,  황남 ,  송민규

IPC: H01L31/00 ,  H01L27/12

Abstract: 본 발명은 반도체 기술에 관한 것으로, 특히 광도파로(optical waveguide), 발광소자(light emitting device) 및 수광소자(light receiving device)와 같은 광소자(optical device), 그리고 광섬유 등이 동일한 기판에 실장되는 하이브리드 광집적회로용 기판 제조방법에 관한 것이며, SOI 광도파로의 리브 영역과 광소자용의 정렬 마크 그리고 광섬유 정렬용 V-홈 패턴 사이의 사진전사 정렬 오차를 최소화하며, 다른 부분에 나쁜 영향을 미치지 않으면서 SOI 광도파로의 단면에 최적화된 반사방지막을 구비한 하이브리드 광집적회로용 기판 제조방법을 제공하고자 한다. 본 발명은 SOI 광도파로의 리브 영역과 광소자용의 정렬 마크 그리고 광섬유 정렬용 V-홈 패턴을 자기정렬 방식으로 형성하여 그들 사이의 사진전사 정렬 오차를 최소화한다. 즉, 광소자의 정렬방법으로 기계적인 구조물을 사용치 않고 마크에 의한 인덱스 정렬을 이용할 수 있도록 기판을 형성함으로써 정밀한 광소자의 가공이 필요치 않고 광섬유 정렬용의 V-홈과 SOI 광도파로 그리고 광소자 정렬용의 마크들 간의 정렬정밀도가 우수하여 높은 광결합 효율을 얻을 수 있다. 또한, 본 발명은 SOI 광도파로와 광섬유 및 광소자 정렬용 구조체를 제조하는 과정에서 다른 부분에 나쁜 영향을 미치지 않으면서 SOI 광도파로의 단면에 특성이 우수한 반사방지막을 도포할 수 있도록 한다.

公开(公告)号：KR100256705B1

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019970058901

申请日：1997-11-08

Applicant: 주식회사 케이티 ,  한국전자통신연구원

Inventor： 강승구 ,  송민규 ,  이희태 ,  박성수 ,  이상환 ,  황남

IPC: B23K26/08

Abstract: PURPOSE: A laser welding machine and a method for producing a multi-channel optical module package are provided to reduce a displacement and to arrange and to weld multi-channel optical fibers. CONSTITUTION: A laser welding machine contains an auxiliary module holder(21) located in a base to install an auxiliary module substrate; an optical direction converter(10) to arrange an optical fiber housing holder(11) by installing in both sides of the auxiliary module holder(21); many beam heads(41) installed in the optical fiber housing holder(11) and to irradiate laser beams for welding an optical fiber housing(61) and an auxiliary module substrate; a beam delivery(40) to offer directional force by installing in the beam head(41) and to fix a focus of laser beams; and positional displacement devices(30,33,34) of the beam delivery to move the beam delivery(40). Thereby, the multi-channel optical fibers are stuck to various multi-channel elements. Moreover, various welding portions are formed by simply controlling a stage of the beam delivery.

Abstract translation: 目的：提供激光焊接机和多通道光模块封装的制造方法，以减少位移，并布置和焊接多通道光纤。 规定：激光焊接机包含位于基座中的辅助模块支架（21），用于安装辅助模块基板; 光学方向转换器（10），通过安装在辅助模块保持器（21）的两侧来布置光纤壳体保持器（11）; 许多光束头（41）安装在光纤壳体保持器（11）中并照射用于焊接光纤壳体（61）和辅助模块基板的激光束; 光束传送（40），通过安装在光束头（41）中并固定激光束的焦点来提供定向力; 以及所述光束传送的位移位移装置（30,33,34）以移动所述光束传送（40）。 由此，多声道光纤被粘贴到各种多声道元件上。 此外，通过简单地控制束输送的阶段来形成各种焊接部分。

公开(公告)号：KR100249518B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019970061818

申请日：1997-11-21

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 강승구 ,  송민규 ,  이희태 ,  황남 ,  이상환 ,  박성수

IPC: H01L31/02 ,  G02B6/36

CPC classification number: G02B6/4201 ,  G02B6/30 ,  G02B6/4225 ,  G02B6/4237 ,  G02B6/4249 ,  G02B6/4256 ,  G02B6/4267 ,  G02B6/4268 ,  G02B6/4271

Abstract: 본 발명은 모듈 특성을 열화시키지 않으면서 모듈 외부의 열적 환경 변화에 대해서 매우 안정된 특성을 유지하도록, 열변형을 최소화하기 위한 완충 장치를 갖는 광스위치 모듈을 제공하고자 하는 것으로, 이를 위해 본 발명은, 광스위치 소자에 광섬유 어레이를 고정하기 위한 광스위치 모듈에 있어서, 상기 광섬유 어레이를 고정하는 광섬유 고정대; 상기 광섬유 고정대와 동종접합을 이루며, 제1 열변형완충장치를 갖는 제1지지수단; 및 상기 제1지지수단과 이종접합을 이루어 상기 제1지지수단을 지지하고, 상기 광스위치 소자를 지지하며, 제2 열변형완충장치를 갖는 제2지지수단을 포함하여 이루어진다. 바람직하게, 상기 제1지지수단은 제1 열변형완충장치로서 그 주연부에 국부적으로 다수의 슬롯을 갖는다. 또한, 상기 제2지지수단은 그 중앙부에서 상기 광스위치 소자를 지지하고 양측단부에서 상기 제1지지수단을 지지하며, 상기 양측단부에서 상기 제2 열변형 완충 장치로서의 오픈부를 갖는다. 상기 광섬유고정대는 SUS304L 재질이고, 상기 제1지지수단은 SUS304L 재질의 플레이트이고, 상기 제2지지수단은 Cu-W 재질을 갖는다. 상기 제1지지수단과 상기 제2지지수단은 상기 제1지지수단의 모서리에서 용접되어 서로 고정된다.