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公开(公告)号：KR100592977B1
公开(公告)日：2006-06-23
申请号：KR1020030072877
申请日：2003-10-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학증착 공정 중 용기 내 잔존하는 전구체의 수위를 초음파의 송/수신을 통해 발생되는 신호를 분석하여 정확히 측정할 수 있는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및 진단방법에 관한 것이다. 따라서 본 발명에 의하면, 전구체가 보관되어 있는 용기에 초음파를 사용하는 수위 진단기를 설치하여 전구체의 수위를 실시간으로 측정하여 전구체의 고갈로 인한 피해를 사전에 방지하여 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있고, 상기의 측정결과를 토대로 전구체의 정확한 교체시기를 알 수 있으므로 전구체의 사용기간을 최대로 연장할 수 있다.
증착, 전구체, 초음파, 웨이퍼, 반도체, A/D 변환기, 펄스, 리시버-
公开(公告)号：KR1020050059505A
公开(公告)日：2005-06-21
申请号：KR1020030091131
申请日：2003-12-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4482 , Y10S261/65
Abstract: 본 발명은 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치에 관한 것으로, 밀폐용기에 담긴 전구체 수용액이 최저수위까지 기화됨이 가능하도록 밀폐용기의 내벽면 일측에 근접되게 편중/배치되고 높이방향을 따라 최저수위까지 배관되는 연결관과, 연결관의 하단에 관이음되고, 밀폐용기의 바닥면을 따라 배관되는 기포발생관을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 때 기포발생관은, 바닥면의 내주연을 따라 배관되는 폐곡선 형상, 바닥면을 가로질러 배관되는 직선 형상, 폐곡선 형상 및 폐곡선의 내주연을 가로질러 배관되는 직선 형상 등으로 이루어지는 것이 바람직하며, 그 외주연 상부에 일정간격을 따라 통기구가 형성되어 전구체 수용액의 최저수위에서 그 전반에 걸친 기포발생 및 버블링이 이루어질 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050037651A
公开(公告)日：2005-04-25
申请号：KR1020030072877
申请日：2003-10-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학증착 공정 중 용기 내 잔존하는 전구체의 수위를 초음파의 송/수신을 통해 발생되는 신호를 분석하여 정확히 측정할 수 있는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및 진단방법에 관한 것이다. 따라서 본 발명에 의하면, 전구체가 보관되어 있는 용기에 초음파를 사용하는 수위 진단기를 설치하여 전구체의 수위를 실시간으로 측정하여 전구체의 고갈로 인한 피해를 사전에 방지하여 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있고, 상기의 측정결과를 토대로 전구체의 정확한 교체시기를 알 수 있으므로 전구체의 사용기간을 최대로 연장할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100386822B1
公开(公告)日：2003-06-09
申请号：KR1020010015394
申请日：2001-03-24
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01P5/08
Abstract: A flux distribution measuring apparatus measures distribution of flow rates of a flowable medium. The measuring apparatus includes thin metal wire(s) for scanning a flowable medium and lead wires connected to the thin metal wire(s), wherein a voltage difference is detected between adjacent lead wires while the measuring apparatus scans the flowable medium in the direction perpendicular to a flow path of the flowable medium. The voltage differences are generated due to temperature changes in the thin metal wire(s) while scanning the flowable medium having different flow rates. The measuring apparatus visualizes the distribution of flow rates of a flowable medium using a computer which receives and processes the voltage differences detected.
Abstract translation: 磁通量分布测量装置测量可流动介质的流量分布。 测量装置包括用于扫描可流动介质的细金属丝和连接到细金属丝的导线，其中当测量装置在垂直方向上扫描可流动介质时在相邻导线之间检测到电压差 到可流动介质的流动路径。 当扫描具有不同流速的可流动介质时，由于细金属丝中的温度变化而产生电压差。 测量装置使用接收并处理检测到的电压差的计算机使流动介质的流量分布可视化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090116039A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020080041715
申请日：2008-05-06
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01L11/06
Abstract: PURPOSE: A pressure measuring device using acoustic impedance change is provided to measure atmospheric pressure even in a high vacuum condition and a low vacuum condition. CONSTITUTION: A pressure measuring device using acoustic impedance change comprises an ultrasonic wave excitation part(20), an ultrasonic receiver(30), a controller(70) and a pressure measurement part(80). The ultrasonic wave excitation part outputs ultrasonic wave and is installed inside a container part(10). The ultrasonic receiver is placed on the ultrasonic wave excitation part and is installed inside the container part. The controller controls the frequency and signal waveform of the ultrasonic wave outputted from the ultrasonic wave excitation part. The pressure measurement part measures the inner pressure of the container part.
Abstract translation: 目的：提供使用声阻抗变化的压力测量装置，即使在高真空条件和低真空条件下也可测量大气压力。 构成：使用声阻抗变化的压力测量装置包括超声波激励部分（20），超声波接收器（30），控制器（70）和压力测量部分（80）。 超声波激发部输出超声波，安装在容器部10内。 超声波接收器放置在超声波激发部上，安装在容器部内。 控制器控制从超声波激发部输出的超声波的频率和信号波形。 压力测量部件测量容器部件的内部压力。
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公开(公告)号：KR100905235B1
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：KR1020077016395
申请日：2004-12-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에 따르면, 본 발명에서 가장 도전적인 이슈는 보수 엔지니어가 그들의 현재의 성능시험 테스트 결과에 기초하여 진공펌프의 교체를 위한 적절한 시간의 판단을 가능하게 하는 시스템적 방법을 찾는 것이였다. 게다가, 현재 얻어진 진단분석 결과와 초기(또는 표준) 데이터 집합을 비교하는 것은 보수 엔지니어가 도출된 펌프 성능 지표에 따라 대상 진공펌프의 교체여부를 결정하는 것을 가능하게 하는 것으로 보여진다. 또한, 현재 진공펌프의 도출된 펌핑 속도 지표는 대체로 감소하는 것으로 보고된다. 이러한 양적 진단 분석 결과는 그들의 현재 성능 수행 결과에 기초하여 진공펌프의 교체를 위한 적절한 시간을 판단하는 것을 가능하게 할 뿐만 아니라, 저 진공펌프의 예보유지의 안정성 및 신뢰성 또한 개선시킬 것으로 예상된다.
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公开(公告)号：KR100724103B1
公开(公告)日：2007-06-04
申请号：KR1020050092789
申请日：2005-10-04
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01L11/02
Abstract: 본 발명은 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10); 진공용기(10) 내에 구비되는 금속 시편(62); 진공용기(10)의 투시창에 밀착되어 진공용기(10) 내부의 시편(62)을 향해 적외선(60)을 조사하는 적외선 조사수단; 시편(62)으로부터 반사되는 적외선(60)을 영상으로 촬영하기 위한 적외선 카메라(40); 적외선 카메라(40)가 촬영한 영상에 기초하여 진공용기(10) 내의 압력변화에 따른 시편의 온도변화를 산출하는 온도 산출수단; 및 온도 산출수단에 의해 산출된 온도변화에 기초하여 진공용기(10) 내의 압력을 산출하는 압력 산출수단;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치가 제공된다.
진공, 압력, 측정, 센서, 적외선, 카메라, 영상, 산출, 표시, 용기-
公开(公告)号：KR100724092B1
公开(公告)日：2007-06-04
申请号：KR1020050101657
申请日：2005-10-27
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01L27/005 , C21D11/00
Abstract: 본 발명은 부피가 서로 다른 진공체임버에 기체를 순차적으로 확장시켜 진공체임버의 압력을 계산하는 정적법 표준기에서 절대교정된 기준진공게이지를 이용하여 진공게이지의 이동이 없이 in-situ 상태에서 오리피스 기체흐름 제어 방법에 따라 진공게이지의 비교교정이 가능한 장치의 개발에 관한 사항이다. 관련 세부기술로는 정적법에 의한 기준진공게이지 절대교정과 오리피스 기체흐름 제어 방법에 의한 진공게이지 비교교정 결합기술, 저진공에서 고진공 영역까지의 기준압력 발생기술 및 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법에 의한 진공게이지 비교교정에 관한 기법을 포함한다. 본 발명은 진공게이지의 절대 교정과 비교교정이 각각 다른 장치에서만 가능했던 것을 두 교정 장치를 결합한 새로운 장치의 개발로 교정시간 단축과 이동교정 등 교정효율 향상에 관한 것이다.
정적법, 기준진공게이지, 절대교정, 비교교정, 결합기술, 기준압력, 발생기술, 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법, 진공게이지, 이동교정, 교정효율-
公开(公告)号：KR100721513B1
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：KR1020050094775
申请日：2005-10-10
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 내부의 상태를 확인할 수 없는 파이프 시스템에 대해 진동 응답 특성을 파악하여 내부의 막힘 상태를 예측할 수 있는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 화학반응이 일어나는 챔버(25), 챔버(25)와 연결되어 화학물질을 전송하는 파이프(20), 및 파이프(20)로 화학물질을 압송하는 펌프수단(10)으로 구성된 챔버 장치에 있어서, 파이프(20)의 외면에 부착되어 소정의 충격파를 발생하는 가진기(30); 파이프(20)의 가진기(30)로부터 소정 거리만큼 이격된 곳에 설치되어 가진기(30)에 의한 파이프(20)의 진동을 감지하는 센서(35); 센서(35)의 출력신호를 도식적으로 표시하는 신호처리부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치가 제공된다.
증착, 챔버, 파이프, 내부, 화학물질, 막힘, 예측, 데이터베이스, 표시
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