Abstract:
본 발명은 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광 전송방법에 관한 것으로, 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광을 전송하는 방법으로서, AFM 팁(2)의 (10㎛ ∼ 100㎛) 크기보다 더 이 빛이 퍼지기 전에 팁에 광화이버 끝을 (100㎛ ∼ 500㎛)로 근접시키고, 빛이 팁 끝에서 전부 반사되어 4-cell 포토다이오드에서 검출되게 하되 샘플과 팁의 거리가 달라지면 팁과 시편 사이에 작용하는 힘의 크기가 달라져서 팁이 위 또는 아래로 구부러지고, 그러면 팁에서 반사된 레이저 빛의 반사각도가 달라져서 포토다이오드의 상부(2개 cell), 하부(2개 cell )에 입사하는 빛의 양이 달라져 상부가 하부보다 빛의 세기가 더 커지거나 작아진다. 그러면 상부와 하부 사이의 빛의 세기 차이를 측정하여 일정한 차이를 유지하는데 이것은 팁과 시편 사이가 일정한 거리로 유지된다는 것을 의미한다. 팁을 시편의 다른 지점으로 이동시키면 시편 표면의 높이가 다르므로 팁과 시편 사이의 거리가 달라져서 팁이 위로 혹은 아래로 휘어진다. 따라서 거리를 일정하게 유지시켜 주기 위해서 팁 혹은 시편을 움직여서 거리를 일정하게 유지시킨다. 이때 움직인 거리가 결국 그 지점에서의 표면 높낮이가 되는 것이다. 그래서 시편의 측정 지점을 바꾸면서 이 높낮이를 측정하면 시편의 표면 굴곡을 측정하는 것이 아토믹 포스 마이크로스코프의 원리이다. 그런데 우리는 광화이버를 팁에 가깝게 접근시키고 반사된 빛이 포토다이오드의 중앙에 입사하도록 광화이버를 조절하기 위하여 광화이버를 스테인리스스틸 튜브 안에 넣고 접착제로 고정시켜서 광화이버를 미세하게 조절하는 것이다.
Abstract:
PURPOSE: A method for transmitting atomic force microscope probe light through an optical fiber is provided to minimize a head and improve a laser property by using an optical fiber without using a lens. CONSTITUTION: In a method for transmitting atomic force microscope probe light, an extreme end of an optical fiber(1) approaches a tip(2) before light is dispersed over a size of the tip(2). When a distance between the tip(2) and a sample(4) is varied, the tip(2) is bent upward and downward so that laser reflected from the tip(2) can be deflected. By deflection of the laser, amounts of light incident to two cells. By measuring the difference, an irregulation of the surface of the sample(4) is measured. The optical fiber(1) is inserted into a tube(5) so as to adjust the optical fiber(1) such that the light reflected from the optical fiber can be incident to a center of a photo diode(3).
Abstract:
본 발명은 마이크로 사이즈의 내경을 갖는 그라핀 마이크로 튜브의 제조방법에 관한 것으로, 자세하게는 마이크로 사이즈의 외경을 갖는 금속 와이어 표면에 탄소를 증착하여 금속만을 식각(etching)하여 제거함으로써 마이크로 사이즈의 내경을 갖는 그라핀 마이크로 튜브 (graphene microtube, GMT)의 제조방법에 관한 것이다. 그라핀, 카본나노튜브, 나노튜브, 마이크로튜브, 그라핀마이크로튜브
Abstract:
PURPOSE: A method for manufacturing a graphine macro-tube is provided to implement a mass-production by simplifying manufacturing processes. CONSTITUTION: Carbon is deposited on the surface of metal wires. The metal wires with the deposited carbon are etched to form a graphine micro-tube. The outer diameter of a metal wire is between 1 and 200um. The metal is transition metal and is selected from copper, gold, silver, palladium, and platinum. The inner diameter and the length of the micro-tube is controlled by the outer diameter and the length of the metal wire.
Abstract:
본 발명은 나노프로브(nano-probe)를 이용하여 기판 위에 있는 나노구조물(nano-structure)을 이동시키는 방법에 관한 것으로서, 특히 나노프로브와 나노구조물 사이에 작용하는 정전기력(electrostatic force)을 이용하여 신속하고 정확하며 단 한차례의 작업으로 손쉽게 나노구조물을 목표 지점으로 이동시킬 수 있는 나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 이동 방법은 상기 나노프로브에 전압을 인가하는 단계와, 상기 전압이 인가된 나노프로브를 상기 나노구조물 근방으로 이동시켜 상기 나노프로브에 나노구조물을 부착시키는 단계와, 상기 나노구조물이 부착된 나노프로브를 상기 기판 위의 목표 지점으로 이동시키는 단계와, 상기 목표 지점에서 상기 나노프로브에 인가된 전압을 끊어 상기 나노프로브에 부착된 나노구조물을 탈리시키는 단계를 포함한다.