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发明授权
Ｓｂ－Ｔｅ계 열전박막의 제조방법 有权
Title translation: 锑碲热电薄膜的制备方法

公开(公告)号：KR101306007B1

公开(公告)日：2013-09-12

申请号：KR1020120013515

申请日：2012-02-10

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 이영국 , 김창균 , 정택모 , 안기석 , 이선숙 , 심장보 , 박보근 , 이창완

IPC: H01L35/34 , H01L35/16

Abstract: 본 발명은 화학기상증착법을 이용하여 기판 상부에 Sb 증착막을 형성하는 단계; 및 Te 증착막을 형성하는 단계;를 교번하여 수행하는 Sb-Te계 열전박막을 증착 방법이며, Sb 증착 및 Te 증착 단계에서 플라즈마를 발생하는 Sb-Te계 열전박막의 제조방법에 관한 것이다.

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