VARIABLE TUNABLE RANGE MEMS CAPACITOR
    24.
    发明申请
    VARIABLE TUNABLE RANGE MEMS CAPACITOR 审中-公开
    可变电容范围MEMS电容器

    公开(公告)号:WO0156046A9

    公开(公告)日:2002-10-31

    申请号:PCT/US0102202

    申请日:2001-01-22

    Inventor: CHENG PENG MA QING

    CPC classification number: H01G5/16 Y10T29/435

    Abstract: The invention relates to a variable capacitor and method of making it. The variable capacitor comprises a fixed charge plate disposed in a substrate, a movable charge plate disposed above the fixed charge plate, and a stiffener affixed to the movable charge plate. The movable charge plate may be patterned to form a movable actuator plate where the fixed charge plate is elevated above a fixed actuator plate.

    Abstract translation: 本发明涉及一种可变电容器及其制造方法。 可变电容器包括设置在基板中的固定充电板,设置在固定充电板上方的可移动充电板和固定到可移动充电板的加强件。 可移动充电板可以被图案化以形成可动致动器板,其中固定的充电板在固定的致动器板上方升高。

    VARIABLE TUNABLE RANGE MEMS CAPACITOR
    25.
    发明申请
    VARIABLE TUNABLE RANGE MEMS CAPACITOR 审中-公开
    可变电容范围MEMS电容器

    公开(公告)号:WO0156046A2

    公开(公告)日:2001-08-02

    申请号:PCT/US0102202

    申请日:2001-01-22

    Inventor: CHENG PENG MA QING

    CPC classification number: H01G5/16 Y10T29/435

    Abstract: The invention relates to a variable capacitor and method of making it. The variable capacitor comprises a fixed charge plate disposed in a substrate, a movable charge plate disposed above the fixed charge plate, and a stiffener affixed to the movable charge plate. The movable charge plate may be patterned to form a movable actuator plate where the fixed charge plate is elevated above a fixed actuator plate.

    Abstract translation: 本发明涉及一种可变电容器及其制造方法。 可变电容器包括设置在基板中的固定充电板,设置在固定充电板上方的可移动充电板和固定到可移动充电板的加强件。 可移动充电板可以被图案化以形成可动致动器板,其中固定的充电板在固定的致动器板上方升高。

    Gerät und System zum Bereitstellen von Messungen der Beschleunigung, Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Beschleunigungsmessers

    公开(公告)号:DE112013000589B4

    公开(公告)日:2020-06-25

    申请号:DE112013000589

    申请日:2013-06-20

    Applicant: INTEL CORP

    Abstract: Gerät umfassend: einen mikroelektromechanischen Beschleunigungsmesser, umfassend:eine Masse;einen ersten Magneten zur Erzeugung eines Magnetfeldes;einen ersten Trägerholmteil und einen zweiten Trägerholmteil, jeweils zum Leiten eines zeitlich variierenden Signals, welches das Magnetfeld entlang einer ersten Dimension quert, worin eine Resonanzfrequenz für das zeitlich variierende Signal auf dem Magnetfeld basiert, worin die Masse am ersten Trägerholmteil und am zweiten Trägerholmteil aufgehängt ist;einen ersten Drahtteil, der an die Masse gekoppelt und an einem ersten Anker flexibel gekoppelt ist; undeinen zweiten Drahtteil, der an die Masse gekoppelt und an einem zweiten Anker flexibel gekoppelt ist, worin der erste Anker und der zweite Anker ein erstes Signal mit dem ersten Drahtteil und dem zweiten Drahtteil austauschen, wobei basierend auf dem ersten Signal und dem Magnetfeld der erste Drahtteil und der zweite Drahtteil eine Kraft entlang einer zweiten Dimension senkrecht zur ersten Dimension auf die Masse wirken lassen.

    Substrat für IC-Bausteine mit Mehrschichtglaskern und Verfahren zu seiner Herstellung

    公开(公告)号:DE112010004888B4

    公开(公告)日:2019-02-07

    申请号:DE112010004888

    申请日:2010-11-01

    Applicant: INTEL CORP

    Abstract: Substrat, das Folgendes umfasst:einen Kern, der eine Anzahl diskreter, amorpher Festkörper-Glasschichten enthält, wobei zwischen den diskreten Glasschichten Bondungsschichten angeordnet sind und wobei der Kern eine erste Fläche und eine gegenüberliegende zweite Fläche aufweist;eine Anzahl Leiter, die sich durch den Kern von der ersten Fläche zu der zweiten Fläche erstrecken;mindestens eine dielektrische Schicht und mindestens eine Metallschicht, die auf der ersten Fläche des Kerns angeordnet sind, wobei die mindestens eine Metallschicht auf der ersten Fläche mit mindestens einem der Leiter elektrisch gekoppelt ist;mindestens eine dielektrische Schicht und mindestens eine Metallschicht, die auf der zweiten Fläche des Kerns angeordnet sind, wobei die mindestens eine Metallschicht auf der zweiten Fläche mit mindestens einem der Leiter elektrisch gekoppelt ist.

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    公开(公告)号:IN3163DEN2012A

    公开(公告)日:2015-09-18

    申请号:IN3163DEN2012

    申请日:2012-04-12

    Applicant: INTEL CORP

    Abstract: Disclosed are embodiments of a glass core substrate for an integrated circuit (IC) device. The glass core substrate includes a glass core and build-up structures on opposing sides of the glass core. Electrically conductive terminals may be formed on both sides of the glass core substrate. An IC die may be coupled with the terminals on one side of the substrate, whereas the terminals on the opposing side may be coupled with a next-level component, such as a circuit board. The glass core may comprise a single piece of glass in which conductors have been formed, or the glass core may comprise two or more glass sections that have been joined together, each section having conductors. The conductors extend through the glass core, and one or more of the conductors may be electrically coupled with the build-up structures disposed over the glass core. Other embodiments are described and claimed.

    Verfahren, Gerät und System zum Bereitstellen von Messungen der Beschleunigung

    公开(公告)号:DE112013000589T5

    公开(公告)日:2015-03-05

    申请号:DE112013000589

    申请日:2013-06-20

    Applicant: INTEL CORP

    Abstract: Technik und Mechanismen zur Bereitstellung der Beschleunigungsmessung. In einer Ausführungsform umfasst ein mikroelektromechanischer Beschleunigungsmesser einen Magneten, eine Masse und einen ersten Trägerholmteil und einen zweiten Trägerholmteil zur Aufhängung der Masse. Resonanzfrequenzkennlinien des ersten Trägerholmteils und des zweiten Trägerholmteils, basierend auf dem Magneten und einem Strom, der vom ersten Trägerholmteil und vom zweiten Trägerholmteil geleitet wird, zeigen die Beschleunigung der Masse an. In einer weiteren Ausführungsform umfasst der Beschleunigungsmesser zudem einen ersten Drahtteil und einen zweiten Drahtteil, die jeweils an der Masse und darüber hinaus an dem entsprechenden Anker gekoppelt sind, um so ein Signal mit dem ersten Drahtteil und dem zweiten Drahtteil auszutauschen. Der erste Drahtteil und der zweite Drahtteil sorgen für ein Biasing der Masse.

    Inductive inertial sensor architecture & fabrication in packaging build-up layers

    公开(公告)号:GB2514022A

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:GB201411224

    申请日:2013-06-19

    Applicant: INTEL CORP

    Abstract: This invention relates to inductive inertial sensors employing a magnetic drive and/or sense architecture. In embodiments, translational gyroscopes utilize a conductive coil made to vibrate in a first dimension as a function of a time varying current driven through the coil in the presence of a magnetic field. Sense coils register an inductance that varies as a function of an angular velocity in a second dimension. In embodiments, the vibrating coil causes first and second mutual inductances in the sense coils to deviate from each other as a function of the angular velocity. In embodiments, self-inductances associated with a pair of meandering coils vary as a function of an angular velocity in a second dimension. In embodiments, package build-up layers are utilized to fabricate the inductive inertial sensors, enabling package-level integrated inertial sensing advantageous in small form factor computing platforms, such as mobile devices.

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