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公开(公告)号:CN101861537A
公开(公告)日:2010-10-13
申请号:CN200880117508.2
申请日:2008-11-13
Applicant: 三菱电线工业株式会社
IPC: G02B6/036 , C03B37/012 , C03B37/014 , C03B37/018
CPC classification number: C03B37/01211 , C03B37/01446 , C03B37/018 , C03B2201/10 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2203/23 , G02B6/02271 , G02B6/0365 , G02B6/03683
Abstract: 本发明的光纤包括:外径(D1)为8.2μm以上、10.2μm以下的纤芯(1);被设置成被覆纤芯(1)且外径(D2)为30μm以上、45μm以下的第1包层(2);被设置成被覆第1包层(2)且厚度(T)为7.4μm以上的第2包层(3);及被设置成被覆第2包层(3)的支承层(4),相对于支承层(4)的、支承层(4)和第2包层(3)之间的相对折射率差为0.5%以上。
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公开(公告)号:CN101730667A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200880023314.6
申请日:2008-04-28
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/21 , C03B2201/22 , C03B2201/23 , C03B2201/31 , C03C2201/22 , C03C2201/23 , C03C2203/54
Abstract: OH和OD中至少一种的合并浓度最高达到约50ppm的熔凝氧化硅玻璃和熔凝氧化硅制品。所述熔凝氧化硅玻璃这样制备:在包含干燥剂的惰性气氛中干燥熔凝氧化硅烟炱坯体,然后在包含惰性气体和氧气的气氛中加热干烟炱坯体,从干烟炱坯体中除去残余干燥剂。
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公开(公告)号:CN1285526C
公开(公告)日:2006-11-22
申请号:CN02813049.9
申请日:2002-06-27
IPC: C03C3/06 , C03B20/00 , C01B33/158
CPC classification number: C03B19/1065 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03C1/026 , C03C3/06 , C03C2201/02
Abstract: 本发明是以碱金属硅酸盐为来源、总金属杂质量为1μg/g或以下的高纯度合成石英玻璃粒子,是特别具有氧缺乏缺陷的高纯度合成石英玻璃粒子。它象天然石英那样具有高粘性,且象现有的合成石英那样为高纯度,而且成本低。
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公开(公告)号:CN1270197C
公开(公告)日:2006-08-16
申请号:CN01135324.4
申请日:2001-09-29
Applicant: 住友电气工业株式会社
CPC classification number: G02B6/03633 , C03B37/01211 , C03B37/01446 , C03B2201/20 , C03B2201/23 , C03B2201/31 , C03B2203/22 , C03C13/045 , G02B6/0283 , G02B6/03627 , G02B6/2835 , G02B6/29332
Abstract: 一种光纤耦合器用光纤,如果设与光轴中心的径向距离为r,以设于纤芯部周围的包层部的折射率为基准的纤芯部内的位置r处的相对折射率差为Δn(r),相对折射率差Δn(r)在位置rpeak处的值为峰值Δnpeak,纤芯半径为a,则在范围rpeak≤r≤a的范围内,相对折射率差Δn(r)满足Δn(r)≤Δnpeak[1-(r/a)3]的关系,而且包层部的折射率朝径向外侧逐渐降低。
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公开(公告)号:CN1603260A
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN200410055047.4
申请日:2004-04-30
Applicant: 朔特玻璃公司
IPC: C03B19/01
CPC classification number: C03B19/1423 , C03B2201/23 , C03B2207/62 , C03B2207/64 , Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及一种制造石英玻璃辊的装置,其中,一个烧嘴以其口和要熔化的辊彼此进行相对运动,石英玻璃辊绕着它的几何轴线进行旋转。石英玻璃辊的有用核心区域应被增大,并且材料消耗被减少。石英玻璃辊具有球形拱顶。该烧嘴在两个反向点之间根据预定的位移-时间-关系在空间曲线上如此进行运动,以致在运动期间,该烧嘴口与拱顶的距离不变,并且烧嘴轴线总是对准球形拱顶的曲率中心。
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公开(公告)号:CN103619767B
公开(公告)日:2017-07-28
申请号:CN201280030434.5
申请日:2012-11-16
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/018 , C03B20/00
CPC classification number: G02B6/03622 , C03B37/01413 , C03B37/018 , C03B37/01807 , C03B37/01815 , C03B37/027 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/23 , C03B2201/50 , C03B2203/22 , C03B2203/23 , C03B2203/34 , C03B2203/36 , C03C13/04 , C03C13/045 , C03C13/046 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2203/44 , C03C2203/46 , G02B6/02019 , G02B6/02242 , G02B6/02266 , G02B6/036 , G02B6/03611 , G02B6/03627 , G02B6/03694 , Y02P40/57 , Y10T428/2964
Abstract: 本发明提供了一种容易制备的光纤预制件,通过对该光纤预制件进行拉丝可获得光纤,该光纤的芯可含有足够浓度的碱金属。所述光纤预制件(10)含有石英玻璃作为主要成分,并且具有芯部分(20)和包层部分(30)。所述芯部分(20)包括:第一芯部分(21),其包括中心轴;和第二芯部分(22),其设置在所述第一芯部分(21)的外周。所述包层部分(30)包括:设置在所述第二芯部分(22)的外周的第一包层部分31;以及设置在所述第一包层部分(31)的外周的第二包层部分(32)。所述芯部分(20)含有平均浓度为5原子ppm以上的碱金属。所述第一包层部分(31)的外周部分中的OH基团浓度为200摩尔ppm以上。
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公开(公告)号:CN102583974B
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201110372600.7
申请日:2011-09-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/62 , C03B2207/64 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/42
Abstract: 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃:通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气,使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒,在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒,及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。
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公开(公告)号:CN104995145A
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201480009659.1
申请日:2014-02-19
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
Inventor: B.屈恩
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B32/00 , C03B32/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/24 , C03C4/04 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2203/54 , C03C2204/00 , G02B1/00 , G02B1/02 , Y02P40/57
Abstract: 本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件,所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中,所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x1016个分子/cm3至1.0x1018个分子/cm3的范围内的氢含量并且具有少于2x1017个分子/cm3的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量,其中玻璃结构具有小于1070℃的假定温度。为了基于在633nm的测量波长的情况下压实行为的测量在使用应用波长的UV激光辐射的情况下能够实现关于压实行为的可靠预测,提出光学部件的一种构型,其中,所述部件对利用波长为193nm、具有5x109个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500μJ/cm2以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应,所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M193nm并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M633nm,其中适用:M193nm/M633nm
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公开(公告)号:CN104245610A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380020602.7
申请日:2013-04-16
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14
CPC classification number: C03B37/01446 , C03B19/1453 , C03B37/01453 , C03B37/018 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/23
Abstract: 本发明公开了一种由含氟的合成石英玻璃制备圆柱形组件的方法,包括以下方法步骤:制备SiO2-烟灰体;从该烟灰体中除去羟基;用氟负载所述烟灰体;使所述负载氟的烟灰体后氯化和使所述烟灰体玻璃化以获得圆柱形组件。为了实现可重复的尤其是氟的轴向和径向特别均匀的分布,根据本发明在干燥时调节烟灰体中的羟基浓度为1-300重量-ppm和在用氟负载时调节至少1500重量-ppm的平均氟含量,并且在后氯化时用氯负载而使得在所述玻璃化之后在所述组件的合成石英玻璃中产生至少50重量-ppm的平均氯含量,进一步的条件是氟含量与氯含量的重量比小于30。
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公开(公告)号:CN103619767A
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:CN201280030434.5
申请日:2012-11-16
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/018 , C03B20/00
CPC classification number: G02B6/03622 , C03B37/01413 , C03B37/018 , C03B37/01807 , C03B37/01815 , C03B37/027 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/23 , C03B2201/50 , C03B2203/22 , C03B2203/23 , C03B2203/34 , C03B2203/36 , C03C13/04 , C03C13/045 , C03C13/046 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2203/44 , C03C2203/46 , G02B6/02019 , G02B6/02242 , G02B6/02266 , G02B6/036 , G02B6/03611 , G02B6/03627 , G02B6/03694 , Y02P40/57 , Y10T428/2964
Abstract: 本发明提供了一种容易制备的光纤预制件,通过对该光纤预制件进行拉丝可获得光纤,该光纤的芯可含有足够浓度的碱金属。所述光纤预制件(10)含有石英玻璃作为主要成分,并且具有芯部分(20)和包层部分(30)。所述芯部分(20)包括:第一芯部分(21),其包括中心轴;和第二芯部分(22),其设置在所述第一芯部分(21)的外周。所述包层部分(30)包括:设置在所述第二芯部分(22)的外周的第一包层部分31;以及设置在所述第一包层部分(31)的外周的第二包层部分(32)。所述芯部分(20)含有平均浓度为5原子ppm以上的碱金属。所述第一包层部分(31)的外周部分中的OH基团浓度为200摩尔ppm以上。
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