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公开(公告)号：CN1186476C
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN98809274.3
申请日：1998-09-17
Applicant: 东京电子株式会社
CPC classification number: H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J2237/0206
Abstract: 一种用于检测并防止等离子体处理系统中的电弧放电的系统和方法。通过测量并分析来自与等离子体耦合的电路(22)的电信号，检测并表征电弧放电。表征之后，随后可使电信号与一个处理期内发生的电弧放电事件相关。可获得关于电弧放电的位置、强度和频率的信息。该系统和方法较好地诊断了电弧放电的原因，并提高了对不良电弧放电的保护，电弧放电可对系统和工件造成损坏。
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公开(公告)号：CN1365596A
公开(公告)日：2002-08-21
申请号：CN01800699.X
申请日：2001-03-28
Applicant: 科学技术振兴事业团 , 财团法人熊本技术波利斯财团
IPC: H05H1/00 , H01L21/205 , H01L21/302 , B01J19/08 , G01N29/04 , G01H1/00
CPC classification number: G01N29/38 , B01J19/088 , B01J19/10 , B01J2219/0894 , G01H1/00 , G01N29/0618 , G01N29/14 , G01N29/223 , G01N29/4436 , G01N29/4445 , G01N2291/011 , G01N2291/015 , G01N2291/0258 , G01N2291/105 , H01J37/32082 , H01J37/32935 , H01J37/34 , H01J2237/0206 , H05H1/0093
Abstract: 本发明涉及等离子区异常放电检测装置及其检测方法。在等离子处理室的构成零部件中配置多个超声波检测装置,用超声波检测装置对异常放电时所产生的超声波进行测定,将各个超声波检测装置的传感器的输出在同一时间轴上进行比较,求得超声波检测装置的传播时间的差及最大振幅值,以这些为基础判定等离子处理中异常放电的发生及其位置,并予以显示和警告。通过用逐次逼近法计算传播时间之差和距异常放电源的距离的关系式,可以用设置在处理室壁面上的4个超声波检测装置达到目的。将AE传感保持盒的下部盒粘结到处理室的一定位置,用上盖由上部内侧以适当的压力将AE传感器压紧到下部盒。
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公开(公告)号：CN1350284A
公开(公告)日：2002-05-22
申请号：CN01142786.8
申请日：2001-10-04
Applicant: ENI技术公司
Inventor： 杰弗·C·塞勒斯
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/54 , H01J37/34 , H01J2237/0206
Abstract: 一种用无源电路控制直流溅射系统中的电弧形成的方法和系统,该电弧控制系统包括:溅射腔;此溅射腔包括阳极和由靶材料形成作为阴极的溅射靶。直流电源,用来提供直流阴极电压使阴极电流由阳极流向阴极;谐振网络,连接在直流电源和腔之间,此谐振网络具有与电弧产生对应地,使阴极电流谐振通过0,在阴极和阳极之间形成正电压的Q;以及反向电压钳位电路,与谐振网络连接,用来将阴极电压钳制到预先设定的反向电压。反向阴极电压通过在溅射靶沉积带正电的电介质来抑制随后的电弧。电弧控制系统限制了由电弧消耗的能量。
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公开(公告)号：CN1270640A
公开(公告)日：2000-10-18
申请号：CN98809274.3
申请日：1998-09-17
Applicant: 东京电子株式会社
CPC classification number: H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J2237/0206
Abstract: 一种用于检测并防止等离子体处理系统中的电弧放电的系统和方法。通过测量并分析来自与等离子体耦合的电路(22)的电信号,检测并表征电弧放电。表征之后,随后可使电信号与一个处理期内发生的电弧放电事件相关。可获得关于电弧放电的位置、强度和频率的信息。该系统和方法较好地诊断了电弧放电的原因,并提高了对不良电弧放电的保护,电弧放电可对系统和工件造成损坏。
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公开(公告)号：CN106688075B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201580049124.1
申请日：2015-07-31
Applicant: TEL艾派恩有限公司
Inventor： 马修·C·格温 , 阿夫鲁姆·弗赖特西斯 , 罗伯特·K·贝克尔
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/305 , H01J2237/006 , H01J2237/0206 , H01J2237/061 , H01J2237/0812 , H01J2237/0822 , H01J2237/3151
Abstract: 描述了一种用于执行各种材料的气体团簇离子束(GCIB)蚀刻处理的喷嘴组件。具体地，喷嘴组件包括两个或更多个圆锥形喷嘴，这些圆锥形喷嘴对准成使得它们都用于产生同一GCIB。第一圆锥形喷嘴可以包括最初形成GCIB的喉部，并且第二喷嘴可以形成可附加至第一圆锥形喷嘴的较大圆锥形腔。可以在两个圆锥形喷嘴之间设置过渡区域，该过渡区域可以是大致圆柱形的并且略大于第一圆锥形喷嘴的最大直径。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104810231B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201410808396.2
申请日：2014-12-22
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/3002 , H01J2237/0206 , H01J2237/18 , H01J2237/304 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明提供一种离子注入装置以及离子注入装置的控制方法，其课题在于提供一种保护电源以避免因负载电流的产生而产生的过电流的技术。在本发明的离子注入装置(10)中，切断机构在射束线的中途切断离子束(B)。等离子体淋浴装置(40)设置于比切断机构更靠射束线的下游侧。控制部(60)在等离子体淋浴装置(40)的点火开始期间，使切断机构切断离子束(B)。切断机构可以设置于比高电压电场式电极部更靠射束线的上游侧，所述高电压电场式电极部至少设置一个以上。气体供给机构可以向等离子体淋浴装置(40)供给源气体。控制部(60)可以在使切断机构切断离子束(B)之后，使气体供给机构开始供给源气体。
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公开(公告)号：CN107039225A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710276773.6
申请日：2017-04-25
Applicant: 上海新傲科技股份有限公司
IPC: H01J37/04 , H01J37/302 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/045 , H01J37/3023 , H01J2237/0206 , H01J2237/043 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，其包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与加热灯连接，用于控制加热灯的开关状态；电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，二次侧与控制器连接；电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流时，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。
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公开(公告)号：CN103843104B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201280039808.X
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/065 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/026 , H01J2237/045 , H01J2237/06316
Abstract: 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。
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公开(公告)号：CN103843104A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280039808.X
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/065 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/026 , H01J2237/045 , H01J2237/06316
Abstract: 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。
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公开(公告)号：CN102017057B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200980115927.7
申请日：2009-04-30
Applicant: 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32091 , H01J37/32541 , H01J2237/0206
Abstract: 一种远程等离子体源，包括平行布置并彼此电DC隔离的第一板状电极(7s)和第二板状电极(7b)。两个电极(7s，7b)可操作地连接至Rf发生器(11)。第一电极(7s)具有自由地暴露于基板支持器(3)的表面，并具有沿其表面范围分布的通孔(19)的图案。
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