公开(公告)号：CN103843104B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201280039808.X

申请日：2012-05-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 渡边俊一 ,  大西崇 ,  小濑洋一 ,  中村邦康 ,  森山胜 ,  铃木友则

IPC: H01J37/073 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/065 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/06316

Abstract: 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。

公开(公告)号：CN104364878A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380030519.8

申请日：2013-05-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大西崇 ,  渡边俊一 ,  金田实

IPC: H01J37/248 ,  H01J37/067 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J27/024 ,  H01J29/485 ,  H01J37/026 ,  H01J37/067 ,  H01J37/073 ,  H01J37/16 ,  H01J37/241 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/16

Abstract: 本发明的带电粒子束产生装置具备：带电粒子源；沿着来自带电粒子源的带电粒子的照射方向配置的多个第一电极；配置在第一电极之间的多个绝缘部件；以及设置在多个第一电极周围的壳体。壳体由绝缘性的固体材料形成，壳体具备配置在接近多个第一电极的位置上的多个第二电极。多个第二电极中的至少一个第二电极与多个第一电极中的至少一个第一电极电连接，多个第二电极中的各个第二电极成为与接近的第一电极的电位相同的电位。

公开(公告)号：CN103843104A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280039808.X

申请日：2012-05-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 渡边俊一 ,  大西崇 ,  小濑洋一 ,  中村邦康 ,  森山胜 ,  铃木友则

IPC: H01J37/073 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/065 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/06316

Abstract: 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。