公开(公告)号：EP1271155A1

公开(公告)日：2003-01-02

申请号：EP02020310.5

申请日：1995-03-21

Applicant: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.

Inventor： Shiomi, Hiromu, Itami Works of Sumitomo Electric ,  Nishibayashi, Yoshiki c/o Itami Works of Sumitomo ,  Shikata, Shin-ichi c/o Itami Works of Sumitomo

IPC: G01P15/08 ,  G01L9/00 ,  C30B29/04 ,  G01H11/00

CPC classification number: G01P15/0802 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00682 ,  B81C2201/0109 ,  G01H3/08 ,  G01H11/00 ,  G01H11/06 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828

Abstract: A micro mechanical component, in particular an accelerometer, of the present invention comprises a diamond base, and a diamond cantilever supported on the base and relatively driving to the base. A process for producing a micromechanical component involves forming of a dummy layer promoting the growth of diamond, depositing a diamond layer by vapor phase synthesis (CVD), and removing said dummy layer.

Abstract translation: 本发明的微机械部件，特别是加速度计包括金刚石基座和支撑在基座上并相对地驱动到基座的金刚石悬臂。 制造微机械部件的方法包括形成促进金刚石生长的虚拟层，通过气相合成（CVD）沉积金刚石层，以及去除所述虚设层。

公开(公告)号：EP0732635B1

公开(公告)日：2000-06-07

申请号：EP96103115.0

申请日：1996-03-01

Applicant: C.S.E.M. CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA

Inventor： Hänni, Werner ,  Perret, André

IPC: G04D3/00 ,  B23P15/00

CPC classification number: G04D3/0087 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/008 ,  G04B15/14 ,  G04B17/066 ,  H01H1/0036

公开(公告)号：EP0674181A2

公开(公告)日：1995-09-27

申请号：EP95104148.2

申请日：1995-03-21

Applicant: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.

Inventor： Shiomi, Hiromu, c/o Itami Works of Sumimoto Elec. ,  Nishibayahi. Yoshiki, c/o Itami Works of Sumimoto ,  Shikata, Shin-ichi, c/o Itami Works of Sumimoto

IPC: G01P15/08 ,  G01L1/18

CPC classification number: G01P15/0802 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00682 ,  B81C2201/0109 ,  G01H3/08 ,  G01H11/00 ,  G01H11/06 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828

Abstract: A micro mechanical component of the present invention comprises a base, and at least one drive portion supported on the base and relatively driving to the base, in which the drive portion is formed from a diamond layer. Thus, because the drive portion has excellent mechanical strength and modulus of elasticity, the operational performance can be greatly improved as a micro mechanical component processed in a fine shape, from the conventional level. Further, because the drive portion exhibits excellent device characteristics under severe circumstances, the range of applications as a micro mechanical component can be widely expanded from the conventional range.

Abstract translation: 本发明的微型机械部件包括底座以及至少一个驱动部分，其支撑在基座上并相对地驱动到基座，驱动部分由金刚石层形成。 因此，由于驱动部具有优异的机械强度和弹性模量，因此从传统的水平，作为微细的机械部件处理成微细的机械部件，可以大大提高其操作性能。 此外，由于驱动部在恶劣的环境下表现出优异的装置特性，所以作为微机械部件的应用范围可以从传统的范围得到广泛的扩展。

公开(公告)号：EP0518112A1

公开(公告)日：1992-12-16

申请号：EP92108797.9

申请日：1992-05-25

Applicant: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.

Inventor： Ueda, Minoru, c/o Osaka Works of Sumitomo ,  Iiyama, Michitomo, c/o Osaka Works of Sumitomo

IPC: C04B41/91 ,  C23C16/00

CPC classification number: B81C1/00198 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/037 ,  B81B2203/056 ,  C04B41/009 ,  C04B41/53 ,  C04B41/91 ,  C23C16/408 ,  G03F7/00 ,  Y10S505/785 ,  C04B35/45 ,  C04B35/584

Abstract: A novel ceramic material for sacrificial layers used in the process for fabricating "micromachines" having dimensions of several tens micrometers to several hundreds micrometers.
The sacrificial layers are made of oxide ceramic containing rare earth, Ba and Cu such as Re₁Ba₂Cu₃O 7-x (Re = rare earth) which can be etched easily and selectively with HCl solution (1/1000) without spoiling dimensional precision of the machine elements.

Abstract translation: 用于制造尺寸为几十微米至几百微米的“微机械”的方法中的用于牺牲层的新型陶瓷材料。 牺牲层由含有稀土，Ba和Cu的氧化物陶瓷制成，例如Re1Ba2Cu3O7-x（Re =稀土），可以用HCl溶液（1/1000）容易且选择性地蚀刻，而不损害机器元件的尺寸精度。

公开(公告)号：JP6381586B2

公开(公告)日：2018-08-29

申请号：JP2016122399

申请日：2016-06-21

Applicant: ニヴァロックス−ファー ソシエテ アノニム

Inventor： アレクス・ガンデルマン

IPC: G04B17/06 ,  G04B15/14 ,  G04B13/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: G04D99/00 ,  B81B2201/035 ,  B81B2203/0384 ,  B81C1/00103 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0138 ,  B81C2201/014 ,  C23F1/00

公开(公告)号：JP6259502B2

公开(公告)日：2018-01-10

申请号：JP2016173423

申请日：2016-09-06

Applicant: ニヴァロックス−ファー ソシエテ アノニム

Inventor： デュボワ,フィリップ

IPC: B81C1/00 ,  G04B15/14

CPC classification number: G04B15/14 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/0038 ,  B81C1/00539 ,  B81C1/00547 ,  B81C1/00714 ,  B81C1/00992 ,  B81C2201/0115 ,  C09K13/00 ,  C09K13/08 ,  C23C14/0611 ,  C23C14/0652 ,  C23C14/10 ,  C23C14/12 ,  C23C16/0254 ,  C23C16/45525 ,  C25F3/02 ,  C25F3/12 ,  G04D3/0069

公开(公告)号：JP6177390B2

公开(公告)日：2017-08-09

申请号：JP2016122395

申请日：2016-06-21

Applicant: ニヴァロックス−ファー ソシエテ アノニム

Inventor： アレクス・ガンデルマン ,  アンドレ・パン

IPC: B81C1/00 ,  G04B13/02 ,  G04B19/06 ,  G04B37/22 ,  G04B15/14

CPC classification number: B81C1/00619 ,  B81C1/00103 ,  G04B13/02 ,  G04B13/026 ,  G04B13/027 ,  G04D99/00 ,  B81B2201/035 ,  B81B2203/0384 ,  B81C2201/0112 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0138 ,  B81C2201/014 ,  B81C2201/0188 ,  B81C2201/0198

公开(公告)号：JP6170621B2

公开(公告)日：2017-07-26

申请号：JP2016526215

申请日：2014-10-06

Applicant: ニヴァロックス−ファー ソシエテ アノニム

Inventor： デュボワ,フィリップ ,  メルツァーギ,セバスチアーノ ,  シャルボン,クリスチャン

IPC: G04B13/02 ,  G04B15/14 ,  G04B17/06 ,  G04B29/02 ,  G04B37/22 ,  G04B39/00 ,  G04B19/06 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81C99/0085 ,  G04B13/00 ,  G04B15/14 ,  G04B19/12 ,  B81B2201/035

公开(公告)号：JP2015210270A

公开(公告)日：2015-11-24

申请号：JP2015087991

申请日：2015-04-23

Applicant: ロレックス・ソシエテ・アノニム ,  ROLEX SA

Inventor： ボッサルト, リチャード ,  ファヴェズ, デニス

IPC: G04B15/14 ,  G04B19/04 ,  G04B17/06 ,  G04B13/02

CPC classification number: G04B1/145 ,  B81C1/00682 ,  G04B13/00 ,  G04B15/14 ,  G04B31/004 ,  G04B31/06 ,  B81B2201/035

Abstract: 【課題】機械的特性を向上させたシリコン製の時計部品の製造方法を提供する。 【解決手段】微細機械加工可能な素材から部品10を製造する製造方法であって、部品10は時計部品の半完成品を形成し、少なくとも1つの初期粗さを有する表面を含む。製造方法は、表面の粗さを減少させるエッチング流体内での部品10の機械的強化処理のステップを含む。微細機械加工可能な素材の基板を提供し、基板の少なくとも一部を、少なくとも一つの開口を有する保護コーティングで被膜し、基板を保護コーティングの開口を通じてエッチングしてエッチングされた表面を形成し、機械的強化処理を保護コーティングの開口を通じてエッチングされた表面へ適用し、その後保護コーティングを除去する。エッチング流体は、プラズマまたは液体化学エッチング液であてよい。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种制造由硅制成的具有改进的机械性能的钟表部件的方法。解决方案：提供从可微加工材料制造部件10的方法，组件10形成钟表部件的坯料 并且包括具有初始粗糙度的至少一个表面。 在一个实施例中，该方法包括在旨在减少表面粗糙度的蚀刻流体中机械强化处理该部件的步骤。 在另一个实施例中，该方法包括：提供可微加工材料的基底的步骤; 至少部分地覆盖包含至少一个孔的保护涂层的基底的步骤; 通过保护涂层的孔蚀刻衬底从而形成蚀刻表面的步骤; 通过保护涂层的孔将蚀刻表面进行机械强化处理的步骤; 以及除去保护涂层的步骤。 蚀刻流体可以是等离子体或液体化学蚀刻剂。

公开(公告)号：JP5665252B2

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：JP2007067204

申请日：2007-03-15

Applicant: ロレックス・ソシエテ・アノニムRolex Sa ,  ロレックス・ソシエテ・アノニムRolex Sa

Inventor： クレマン ソーシー， ,  クレマン ソーシー，

IPC: C25D1/00 ,  G04B15/14

CPC classification number: C25D1/003 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0085 ,  B81C2201/032 ,  C25D1/20 ,  G03F7/00