KR102234699B1 - distributed small scale air purification system

    公开(公告)号:KR102234699B1

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:KR1020190103263A

    申请日:2019-08-22

    Abstract: 본 발명은 분산형 소규모 공기 정화 시스템에 관한 것으로, 저감 장치가 천장에 설치된 레일을 따라 이동하며 오염물질이 발생된 곳을 집중적으로 관리할 수 있는 분산형 소규모 공기 정화 시스템에 관한 것이다. 오염물질 저감 장치가 천장에 설치된 레일을 따라 이동하기 때문에 사용자들이 사용하는 바닥 공간을 차지하지 않으며 바닥에 놓인 장애물의 방해를 받지 않는 분산형 소규모 공기 정화 시스템의 제공함에 있다. 또한, 오염물질 저감 장치의 끝단에도 센서가 부착되어 오염물질의 성분이나 이동하며 오염물질 농도를 측정하여 실내 공조 환경을 조절할 수 있는 분산형 소규모 공기 정화 시스템의 제공을 목적으로 한다.

    KR102230740B1 - Apparatus for in-situ evaluating material characteristics

    公开(公告)号:KR102230740B1

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:KR1020190099687A

    申请日:2019-08-14

    Abstract: 본 발명은, 재료가 수용되는 샘플용기와, 상기 샘플용기의 일측에 배치되며, 상기 샘플용기로부터 증발된 재료가 이송되는 버퍼챔버와, 상기 샘플용기와 버퍼챔버 사이에 배치되며, 상기 샘플용기를 개폐시키는 고정플랜지와, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 증발된 재료를 수집하는 샘플링챔버와, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 증발된 재료가 공급되어 증착막을 형성하는 증착챔버와, 상기 증착챔버와 연결되며, 상기 증발된 재료가 증착될 기판을 상기 증착챔버 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)시키는 로드락챔버를 포함하며, 상기 샘플용기와 연결되며, 상기 샘플용기 내부에 수용된 재료의 점도를 측정하는 점도 측정 모듈, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 상기 버퍼챔버 내부에 수용된 증발된 재료의 증기압을 측정하는 증기압 측정 모듈, 상기 로드락챔버 내부의 상기 기판 상에 증착된 증착막의 물성을 평가하는 박막 측정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 유기증착재료를 이용한 박막 증착 공정에 있어서 증착 전 재료인 전구체 뿐만 아니라 증착 후의 증착막에 대한 분석을 종합적으로 수행할 수 있는 인시츄 물성 평가 장치를 제공하게 된다.

    KR102226791B1 - A resistive switching memory which eliminates erase operations

    公开(公告)号:KR102226791B1

    公开(公告)日:2021-03-11

    申请号:KR1020190013114A

    申请日:2019-01-31

    CPC classification number: H01L45/1253 H01L45/1233 H01L45/145

    Abstract: 본 발명은 소거 동작을 제거한 저항 스위칭 메모리를 공개한다. 이 장치는 하부 전극층, 가변 저항막 및 상부 전극층의 적층을 포함하는 저항 스위칭 메모리에 있어서, 멀티 비트 동작 구간 동안 상기 상부 전극층과 상기 가변 저항막의 인터페이스 근처에서 산소 부족 층이 형성되어 저항 스위칭 메모리 동작 중 소거 동작이 제거되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의할 경우, 상부 전극층이 부분적으로 산화되어, 저항 스위칭 메모리에서 요구되는 저항 스위칭 성능을 수행하기 위하여 필요한 양호한 산소 저장소 및 적절한 부하 저항 기능을 할 수 있게 된다.

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