Abstract:
본 발명은 새로운 말레이미드계 단량체인 N-터셔리-부록시말레이미드를 라디칼 개시제 존재하에 단독 중합시키거나 또는 이 단량체와 스티렌계의 단량체등 다른 단량체와 라디칼 개시제 존재하에 공중합시켜 Nt-부톡시말레이미드 공중합체를 제조하고, 이 공중합체를 이용하여 미세가공 공정의 레지스트 미세화상을 형성하는 방법으로, 본 발명에 의하여 고감도, 고해상성으로 만들어지는 레지스트 화상은 내열성이 매우 우수하여 초미세가공공정에 유리하게 적용될수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A phytoncide releasing stent is provided to more efficiently emit phytoncide in a living body. CONSTITUTION: A phytoncide releasing stent comprises a coating layer in which the mixture of phytoncide and biodegradable polymer is coated on the surface thereof. A stent is made of a metal material selected from stainless steel, cobalt-chrome, platinum-chrome, tantalum, titanium, nitinol, gold, platinum, silver, and their alloy. The biodegradable polymer is selected from a group consisting of polyglycolic acid, poly-L-lactic acid, poly-D-lactic acid, poly-D,L-lactic acid, poly-e-carprolactone, polylactic acid-glycolic acid copolymer, poly-L-lactic acid-e-caprolactone copolymer, polyethylene glycol, polyamino acid, polyanhydride, polyortho ester, polydioxanone, polyphosphazene, cellulose acetate butylate, cellulose triacetate, and their copolymer.
Abstract:
PURPOSE: Provided are hydroxy protected 1,4-dihydroxyanthraquinone derivatives used as a precursor of material for forming fine fluorescent image, copolymers thereof applied to material for recording and a sensor, and a process for forming the fine fluorescent image by using the copolymers. CONSTITUTION: The hydroxy protected 1,4-dihydroxyanthraquinone derivatives are represented by the formula (1), and the copolymers thereof represented by the formula (2) are produced by radical polymerizing the hydroxy protected 1,4-dihydroxyanthraquinone derivatives and comonomers selected from the group consisting of styrene, maleimide, and methacrylate in the presence of a polymerization initiator. And the process for forming the fine fluorescent image comprises the steps of: dissolving the copolymers containing the hydroxy protected 1,4-dihydroxyanthraquinone and a photoacid generator in an organic solvent; spreading the solution on a substrate and drying to from a thin film; prebaking the thin film coated substrate; treating under the condition of chemical amplification to remove the hydroxy protecting group from the copolymers. In the formula, R1 is hydroxy protecting group, one of A and B is H, R2 is O or NH, R3 is vinyl, alpha-methyl vinyl, or 4-biphenyl, one of C and D is H and the other is represented by the formula (c) or (d), R4 is hydrogen or methyl, R5 is methyloxycarbonyl or phenyl, m is an integer of 0-20, x and y are independently an integer of 10-5000.
Abstract:
본 발명에는 하기 화학식 1로 표시되는 지환족 유도체 및 그의 제조 방법이 개시되어 있다.
-(M a ) x -(M b ) y -(M c ) u -(M d ) v -
식 중, M a 는 카르복시 또는 히드록시기를 함유한 노르보르넨 단량체로서 이고, M b 는 카르복시 또는 히드록시기를 함유한 디노르보르넨 단량체로서 이며, M c 는 전자 결핍성 단량체로서 이고, M d 는 (메트)아크릴산 에스테르 단량체로서 이며, R 1 및 R 2 는 서로 독립적으로 H 또는 산소 원자수 1 내지 4개를 갖는 이탈기, 예를 들면 H, COOH, CH 2 OH, COOC 2 H 5 , COOC(CH 3 ) 3 , 메틸 에스테르, 테트라히드로피라닐 에스테르, 테트라히드로푸라닐 에스테르, 1-에톡시에틸 에스테르 또는 t-부틸 카르보네이트이며, R 3 은 O, NH 또는 N-CH 2 CH 3 이고, R 4 는 H 또는 CH 3 이고, R 5 는 CH 3 , CH 2 CH 3 , CH 2 CH 2 CH 2 CH 3 또는 C(CH 3 ) 3 이며, x+y+u+v의 총 몰수를 기준으로, x는 0 내지 0.2, 바람직하게는 0.01 내지 0.1의 몰비를 갖는 값이고, y는 0.25 내지 0.5의 몰비를 갖는 값이며, u는 x+y이고, v는 0.1 내지 0.33의 몰비를 갖는 값이다. 이러한 지환족 유도체는 ArF 엑시머 레이저 영역에서의 투명성, 고해상도 및 고감도를 갖고, 기존의 노볼락 수지와 대등한 건식 엣칭 내성을 가지며, 기존의 알칼리 현상액을 적용할 수 있고, 특히 웨이퍼에 대한 접착성 및 현상성이 개선된다. 그러므로, 이러한 지환족 유도체를 사용하여 ArF 엑시머 레이저 가공용 고해상도 레지스트 재료를 제조할 수 있다.
Abstract:
The N-tert-butoxymaleimide/styrene copolymer is produced by radical- copolymerizing N-tert-butoxymaleimide monomer and styrene derivative in the presence of a radical copolymerization initiator i.e. benzoyl peroxide or azobis (isobutylonitrile). The styrene derivative is pref. styrene, p-acetoxy styrene, p-methyl styrene, p-chloro styrene, m-chloromethyl styrene, p-tert- butoxycarbonyloxy styrene or p-trimethylsilyl styrene. The copolymer is used as a microlithographic resist having a high radiation-sensibility, resolution and heat resistance.