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公开(公告)号：KR101756641B1
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：KR1020160071305
申请日：2016-06-08
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01L51/5253 , C01B32/182 , H01L21/02274 , H01L21/56 , H01L29/1606
Abstract: 플라즈마처리된그래핀층을포함하며, 해당플라즈마처리된그래핀층의상면은수소(H), 질소(N), 산소(O), 플루오린(F), 붕소(B), 인(P) 및황(S)으로이루어진그룹에서선택된하나이상을포함하는원소가도핑된것을특징으로하는유기전자소자용보호막이제공된다.
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32.发明公开
公开(公告)号：KR1020170038499A
公开(公告)日：2017-04-07
申请号：KR1020150137941
申请日：2015-09-30
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/205
Abstract: 본원발명은원격고주파유도결합플라즈마가적용된화학적기상증착방법을이용하여금속촉매표면위에고품질육방질화붕소막 (h-BN, Hexagonal Boron Nitride, White Graphene) 을성장시키는공정기술에대한것으로, 보다구체적으로는금속촉매를가열하여금속촉매표면의그레인크기를증가시키는어닐링단계; 어닐링된 금속촉매를육방질화붕소막제조온도로급속냉각하는금속촉매냉각단계; 육방질화붕소막의전구체를공급하는전구체공급단계; 원격고주파유도결합플라즈마를적용하여금속촉매위에육방질화붕소막을형성하는육방질화붕소막제조단계; 및상기육방질화붕소막을상온으로급속냉각하는육방질화붕소막냉각단계를포함하는것을특징으로하는원격고주파유도결합플라즈마를이용한육방질화붕소막의제조방법에대한것이다. 본원발명은기존의 1,000℃이상의높은온도에서화학기상증착법을적용하여제조되던육방질화붕소막을기존에비하여매우낮은온도인 500 내지 600 ℃에서도고품질로제조할수 있는장점이있다.
Abstract translation: 本发明作为用于远程感应耦合等离子体的工艺技术是使用化学气相沉积工艺，以在高品质的六方氮化硼膜（的h-BN，六方氮化硼，白石墨烯）生长的金属催化剂的表面，具体而言施加更 加热金属催化剂以增加金属催化剂表面的晶粒尺寸的退火步骤; 将退火后的金属催化剂骤冷至氮化硼硼膜形成温度的金属催化剂冷却工序; 提供硼六叠氮化物膜的前体的前体供应步骤; 通过应用远程高频电感耦合等离子体在金属催化剂上形成六氟化硼膜来制备硼六键氮化硼膜的步骤; 并且本发明涉及使用远程感应耦合等离子体包含六方晶系氮化硼薄膜冷却的六方氮化硼薄膜快速冷却至室温步骤六方氮化硼膜的制造方法。 本发明具有产生六方氮化硼可在温度高于1000℃现有相比于常规优质甚至从500至600℃很低的温度下释放通过应用化学气相沉积工艺制备的膜的优点。
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33.发明公开
公开(公告)号：KR1020160092344A
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：KR1020150012858
申请日：2015-01-27
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C01B32/184 , B41M5/03 , B41M5/10 , C01B32/194
Abstract: 본발명은탄소를포함하는액체상의전구체를활용하여, 밀폐된반응챔버(Reactive Chamber)의내부기체와외부기체를분리할뿐만아니라전구체에서기화된탄소가포함된가스가화학적기상증착법에서사용되는빛, 열, 플라즈마, 극초단파, 유도가열법, 고주파유도결합플라즈마등의높은에너지를이용하여연속적으로공급되는다양한금속촉매표면위에얇은그래핀을제조하고, 여러가지원하는기판에연속으로전사가가능한롤투롤전사장치및 이를이용한고품질그래핀제조방법에관한것이다. 보다구체적으로는 (a) 그래핀제조를위한탄소원(Carbon source)으로탄소가포함된액체상의전구체(Liquid precursor)를이용하여반응챔버(Reactive Chamber)의내부환경과외부환경이구획되도록하는반응챔버밀폐단계; (b) 금속촉매를공급롤(Roll) 장치를이용하여상기탄소가포함된액체상의전구체를통하여밀폐된상기반응챔버(Reactive Chamber)의내부로연속공급되도록하는금속촉매공급단계; (c) 상기반응챔버(Reactive chamber) 내부에서상기금속촉매와빛(Light), 열(Heat), 플라즈마(Plasma), 극초단파(Microwave), 유도가열법(Induction heating), 고주파유도결합플라즈마(inductively coupled plasma) 중의어느하나이상의에너지원(Energy Source)을이용하여상기액체상의전구체로부터금속촉매위에그래핀을제조하는그래핀제조단계; (d) 회수롤(Roll) 장치를이용하여밀폐된상기반응챔버(Reactive Chamber)로부터제조된그래핀을연속공정을통해외부로이송하는그래핀이송단계;를포함하는것을특징으로하는탄소가포함된액체상의전구체를챔버이용한연속롤투롤방식의그래핀제조방법및 그제조장치에대한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及卷对卷转录装置，以及使用该方法的高品质石墨烯的制造方法。 卷对卷转录装置使用包含碳的液体前体，并且在封闭的反应室中分离内部气体和外部气体。 此外，卷对卷转录装置在连续接收的各种金属催化剂的表面上制造薄的石墨烯，并且连续地对各种类型的期望的基材进行转录。 高品质石墨烯的制造方法包括：（a）反应室密封步骤; （b）金属催化剂供给步骤; （c）石墨烯制造步骤; 和（d）石墨烯转移步骤。
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公开(公告)号：KR1020150117440A
公开(公告)日：2015-10-20
申请号：KR1020140042898
申请日：2014-04-10
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은탄소나노소재-고분자복합소재내의탄소나노소재의정량적으로수치화된분산도를얻을수 있는분산도측정방법에관한것이다. 본발명의여러구현예에따르면, 종래탄소나노소재-고분자복합소재내의탄소나노소재의일부분만측정되거나물성을예측하기어려운문제점을해결할수 있고, 탄소나노소재를직접적으로확인하고정량화시켜분산도를측정할수 있어분산도를수치화할수 있으며, 이에따라탄소나노소재-고분자복합소재의신뢰성평가에중요한기술로응용할수 있는효과를달성할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种分散度测定方法，能够得到碳纳米材料在碳纳米材料 - 聚合物复合材料中的分散度的数值计算方法。 根据本发明的各种应用，解决了在卡纳纳材料 - 聚合物复合材料中的现有碳纳米材料中难以预测物理性能或部分测量碳纳米材料的问题，通过测量分散度 通过直接检查和量化碳纳米材料的程度。 因此，作为重要技术，将分散度测定方法应用于碳纳米材料 - 聚合物复合材料的可靠性评价。
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公开(公告)号：KR1020150081592A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：KR1020140001241
申请日：2014-01-06
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C01B32/168 , B01J19/12
Abstract: 본발명은마이크로웨이브를이용한탄소나노튜브의표면개질방법에관한것이다. 본발명의여러구현예에따르면, 마이크로웨이브의세기및 조사시간을조절하는공정을수행함에따라탄소나노튜브의표면처리정도를쉽게조절할수 있어, 화학적기능화반응공정이매우간편해졌을뿐만아니라반응시간이매우짧아빠르게다량의탄소나노튜브표면을개질할수 있고, 나아가표면개질된탄소나노튜브는고분자나노복합체의제조등에유용하게적용할수 있는효과를달성할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用微波对碳纳米管表面进行改性的方法。 根据本发明的各种实施方式，通过进行调整微波的强度和照射时间的处理，容易调整碳纳米管的表面处理水平。 因此，化学官能化反应过程变得非常简单并且反应时间非常短，能够改变大量碳纳米管的表面，并且表面改性的碳纳米管可以实现在制备聚合物中有用的应用 纳米复合材料等。
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Patent Agency Ranking36.发明授权
公开(公告)号：KR101480817B1
公开(公告)日：2015-01-13
申请号：KR1020130113046
申请日：2013-09-24
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01B21/064 , B01J23/755
CPC classification number: C23C16/342 , C23C14/34 , C23C18/1204 , C23C18/1233 , C23C18/1241 , C23C18/1245 , C23C18/1275 , C23C18/1283 , C23C18/14
Abstract: 본 발명은 보라진 다량체를 용매에 녹여 질화 붕소 전구체 용액을 제조하고, 이를 금속촉매층의 상층 또는 하층에 코팅한 후 어닐링 하여 고품질의 고결정성 육방 질화 붕소막을 손쉽게 합성할 수 있게 하는, 보라진 다량체를 전구체로 활용하여 금속촉매 효과로 성장된 고품질의 질화 붕소막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 종래의 CVD 방법에서 문제되던 기체 전구체 제어 및 증기압 제어 등의 문제점을 해결하여 적은 비용으로 간단하게 고품질의 육방 질화 붕소막을 합성할 수 있게 되었으며 또한, 다양한 구조 및 재료에 육방 질화 붕소막을 코팅 할 수 있고, 원하는 면적에 선택적 코팅이 가능하며, 대면적화가 용이하여 복합 재료 및 다양한 재료의 코팅 응용에 용이하다.
Abstract translation: 本发明涉及通过使用环硼氮烷聚合物作为前体通过金属催化剂效应生长的高质量氮化硼膜，其能够通过以下方式制造氮化硼前体溶液来容易地合成高质量的高结晶六方氮化硼膜： 溶剂，并且在涂覆金属催化剂层的上层或下层之后进行退火，以及其制造方法。 本发明能够通过解决诸如现有CVD方法的问题的诸如气体前体控制，蒸汽压力控制等问题，能够以低成本方便地合成高质量六方氮化硼膜，能够涂覆各种结构和 具有六方氮化硼膜的材料能够选择性地涂覆所需区域，并且通过容易地大规模地方便地应用于复合材料和各种材料的涂层。
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公开(公告)号：KR101438027B1
公开(公告)日：2014-09-04
申请号：KR1020130004948
申请日：2013-01-16
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 아크 방전을 이용한 고품질 그래핀 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 탄소봉 내에 흑연 파우더와 금속 촉매를 채우거나 또는 흑연 파우더, 금속 촉매 및 질소를 포함하는 도펀트(dopant)를 채우는 단계; 반응 챔버 내에 버퍼 가스를 채우는 단계; 및 상기 반응 챔버 내의 양극과 음극 사이에 고 전류를 인가하고 방전을 일으킴으로써 상기 양극에 위치한 상기 탄소봉을 증발시켜 그래핀을 제조하는 단계;를 포함하고, 상기 제조된 그래핀을 열 정제, 어닐링, 초음파 처리로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상의 처리를 함으로써 흑연 파우더 및 금속 촉매 또는 흑연 파우더, 금속 촉매 및 질소를 포함하는 도펀트로부터 전기 전도도가 현저하게 향상된 그래핀을 제조하는 아크 방전을 이용한 고품질 그래핀 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020140092642A
公开(公告)日：2014-07-24
申请号：KR1020130004948
申请日：2013-01-16
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C01B32/184 , B01J19/10 , C01B32/196 , H05B7/18
Abstract: The present invention relates to high quality graphene using arc discharge and a method for producing the same. More specifically, the method comprises the steps of: filling a carbon rod with a graphite powder and a metallic catalyst or a dopant including a graphite powder, a metallic catalyst and nitrogen; filling a buffer gas in a reaction chamber; and producing graphene by applying high voltage between the positive and negative poles of the reaction chamber, causing discharge, and evaporating the carbon rod disposed in the positive pole. One or more treatments selected from the group consisting of heat refinement, annealing, and ultrasonic treatment are performed on the produced graphene. Accordingly, graphene having remarkably improved electrical conductivity is produced from a graphite powder and a metallic catalyst or a dopant including a graphite powder, a metallic catalyst and nitrogen.
Abstract translation: 本发明涉及使用电弧放电的高品质石墨烯及其制造方法。 更具体地，该方法包括以下步骤：用石墨粉末和金属催化剂或包含石墨粉末，金属催化剂和氮气的掺杂剂填充碳棒; 在反应室中填充缓冲气体; 并通过在反应室的正极和负极之间施加高电压而产生石墨烯，导致放电，并使设置在正极中的碳棒蒸发。 在所生产的石墨烯上进行从热精炼，退火和超声波处理中选出的一种或多种处理。 因此，由石墨粉末和金属催化剂或包含石墨粉末，金属催化剂和氮气的掺杂剂产生具有显着改善的导电性的石墨烯。
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公开(公告)号：KR102265375B1
公开(公告)日：2021-06-09
申请号：KR1020190152396
申请日：2019-11-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01B32/184 , C01B32/194 , B01J19/08
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公开(公告)号：KR102197589B1
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：KR1020190049092
申请日：2019-04-26
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본명세서에서는, 구조적결함을포함하는결함영역이존재하는그래핀층; 및상기그래핀층상에형성된유기물차단막;을포함하며, 상기유기물차단막은알킬체인을함유하는유기물분자를포함하고, 상기그래핀층과유기물차단막은반데르발스결합하여유기물차단막이상기구조적결함을치유하도록하는, 복합배리어필름이제공된다.
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