公开(公告)号：KR101651512B1

公开(公告)日：2016-08-29

申请号：KR1020150077138

申请日：2015-06-01

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김성근 ,  정두석 ,  권범진 ,  백승협 ,  강종윤 ,  최지원 ,  김진상 ,  편정준

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/02 ,  C23C16/06

Abstract: 본발명은 HS 또는 NH를기판상에전처리하는단계및 상기기판상에백금족박막을형성하는단계를포함하는것을특징으로하는백금족박막의원자층증착방법을개시한다.

Abstract translation: 公开了铂族金属薄膜的原子层沉积方法。 铂族金属薄膜的原子层沉积方法包括：在衬底上预处理H 2 S或NH 3的步骤; 以及在基板上形成铂族金属薄膜的工序。 因此，本发明通过控制铂族纳米颗粒的尺寸和分布能够连续沉积薄膜。

公开(公告)号：KR1020150139282A

公开(公告)日：2015-12-11

申请号：KR1020140067694

申请日：2014-06-03

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 강종윤 ,  윤석진 ,  김진상 ,  최지원 ,  백승협 ,  김성근 ,  권범진 ,  정우석

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/113 ,  H01L41/16 ,  H01L41/047

CPC classification number: H01L41/113 ,  H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/193 ,  H02N2/18

Abstract: 본발명은이종(異種)의에너지발생수단들을결합하여하이브리드에너지를생성하는에너지발생장치에관한것이다. 본발명에따른하이브리드에너지발생장치는, 압전물질을포함하는적어도하나의압전부를구비한제 1 층및 정전물질을포함하는적어도하나의정전부를구비한제 2 층을포함하고, 제 1 층에가해지는외력에의한압력에따라압전부는압전에너지를생성하고, 외력에의한제 1 층과제 2 층의접촉및 분리에따라정전부는정전에너지를생성하는하이브리드에너지발생장치.

Abstract translation: 本发明涉及通过耦合不同类型的能量产生装置产生混合能量的装置。 根据本发明，用于产生混合能量的装置包括具有至少一个包括压电材料的压电部件的第一层和具有至少一个包括静电材料的静态部分的第二层。 压电部件通过施加到第一层的外力根据压力产生压电能量，并且静电部分通过外力通过第一层和第二层之间的接触或分离而产生静电能。

公开(公告)号：KR101522666B1

公开(公告)日：2015-05-26

申请号：KR1020130156283

申请日：2013-12-16

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 최지원 ,  임해나 ,  윤석진 ,  강종윤 ,  김성근 ,  권범진 ,  백승협 ,  김진상

IPC: H01G4/12 ,  H01G4/30

Abstract: 본발명은내부전극층과유전체나노시트가교번적층된적층세라믹캐패시터를구현함에있어서수직방향으로이웃하는내부전극층들을서로연결되도록함으로써별도의외부전극이요구되지않는적층세라믹캐패시터및 그제조방법에관한것으로서, 본발명에따른적층세라믹캐패시터는내부전극층과유전체나노시트가교번하여반복적층된구조를이루며, 홀수번째적층된내부전극층은제 1 내부전극층, 짝수번째적층된내부전극층은제 2 내부전극층이며, 제 1 내부전극층의일부는유전체나노시트의제 1 방향으로외부로노출되고, 제 2 내부전극층의일부는유전체나노시트의제 2 방향으로외부로노출되며, 노출된제 1 내부전극층들각각, 노출된제 2 내부전극층들각각은수직방향으로서로전기적으로연결되는것을특징으로한다.

Abstract translation: 多层陶瓷电容器及其制造方法技术领域本发明涉及一种多层陶瓷电容器及其制造方法，其不需要额外的外部电极，通过连接内层电极层和电介质纳米片层叠的多层陶瓷电容器，在垂直方向上连接内部电极层 交替。 根据本发明的多层陶瓷电容器被构造成：电容器具有交替重复地层叠内电极层和电介质纳米片的结构; 层叠了奇数次的内部电极层是第一内部电极层，层叠了多次的内部电极层是第二电极层; 第一内部电极层的一部分在电介质纳米片的第一方向上暴露于外部，并且第二内部电极层的一部分在电介质纳米片的第二方向上暴露于外部; 并且暴露的第一内部电极层和第二内部电极层中的每一个在垂直方向上彼此电连接。

公开(公告)号：KR102226125B1

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020190078603

申请日：2019-07-01

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김상태 ,  송현철 ,  백승협 ,  최지원 ,  김진상 ,  강종윤 ,  김성근

IPC: H01G11/46 ,  H01G11/86

Abstract: 전극막의제조방법및 이를이용하는커패시터의제조방법을제공한다. 전극막제조방법은, 기판상에주석전구체및 산소소스를순차적으로제공하는제1 서브사이클(first sub-cycle)을수행하고, 제1 서브사이클을수행한기판상으로주석전구체, 탄탈륨전구체, 및산소소스를순차적으로제공하는제2 서브사이클을수행하고, 제1 서브사이클및 제2 서브사이클이하나의사이클(cycle)을구성하며, 사이클을반복수행하여, 기판상에탄탈륨이도핑된주석산화막을형성하는것을포함한다. 탄탈륨이도핑된주석산화막내 탄탈륨농도는제2 서브사이클에서제공되는주석전구체에의해결정된다.

公开(公告)号：KR102111754B1

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：KR1020180115949

申请日：2018-09-28

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김성근 ,  백인환 ,  송현철 ,  김상태 ,  백승협 ,  김진상 ,  최지원 ,  강종윤

IPC: C23C16/30 ,  C23C16/02 ,  B05D1/18 ,  B05D1/00 ,  B05D7/24

公开(公告)号：KR102084608B1

公开(公告)日：2020-03-04

申请号：KR1020180047915

申请日：2018-04-25

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  기초과학연구원 ,  울산과학기술원

Inventor： 김성근 ,  이우철 ,  김상태 ,  송현철 ,  백승협 ,  최지원 ,  김진상 ,  강종윤 ,  크리스토퍼빌라브스키 ,  염정환 ,  에릭라슨

IPC: H01L27/108 ,  H01L21/762

公开(公告)号：KR102029999B1

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：KR1020170145347

申请日：2017-11-02

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 백승협 ,  김진상 ,  김상태 ,  김성근 ,  강종윤 ,  최지원 ,  정성진

IPC: B22F3/00 ,  B22F3/03 ,  B22F3/20 ,  B22F1/00 ,  H01L35/14 ,  H01L35/34

公开(公告)号：KR101973944B1

公开(公告)日：2019-05-02

申请号：KR1020170088312

申请日：2017-07-12

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 강종윤 ,  김진상 ,  최지원 ,  백승협 ,  김성근 ,  김상태 ,  정인기 ,  신윤환

IPC: H01L41/25 ,  H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  H01L41/193 ,  H01L41/04

公开(公告)号：KR101937293B1

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：KR1020160174500

申请日：2016-12-20

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 편정준 ,  권범진 ,  백승협 ,  강종윤 ,  최지원 ,  김진상 ,  김성근

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/56 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

公开(公告)号：KR101892632B1

公开(公告)日：2018-10-04

申请号：KR1020170030046

申请日：2017-03-09

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 조철진 ,  김상태 ,  백승협 ,  강종윤 ,  최지원 ,  김진상 ,  김성근

IPC: H01L49/02

CPC classification number: H01L28/65

Abstract: 실시예들은하부전극, 상기하부전극상에형성되는유전체층및 상기유전체층상에형성되는상부전극을포함하되, 상기하부전극또는상부전극은백금족산화물과주석산화물의화합물을포함하는, 백금족산화물과주석산화물의화합물을갖는반도체메모리소자및 그제조방법에관련된다.