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公开(公告)号：KR101331202B1
公开(公告)日：2013-11-18
申请号：KR1020110043627
申请日：2011-05-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/414 , G01N27/416
Abstract: 본 발명은 센서 지지판의 상부에 안착되는 다중 센서 및 상기 다중 센서에 접촉하여 전기적 특성을 측정하는 복수의 프로브를 포함하는 다중 센서용 프로브 스테이션에 적용되는 다중 센서 자동 측정 시스템에 관한 것으로, 프로브를 통해 검지를 위한 전압을 공급하는 전압 공급부, 전압이 인가된 개별 프로브나 개별 센서의 전류 또는 저항을 측정하는 전류 및 저항 측정부, 다중 센서로 전압을 공급할 때, 또는 다중 센서로부터 측정 신호를 수신할 때 개별 센서 또는 개별 프로브의 단자를 스위칭하는 릴레이부, 개별 센서로의 전압 공급이 끊기지 않는 상태에서 개별 센서에 대한 전류를 측정하도록, 여러 개별 센서 중에서 검지하고자 하는 센서를 선택하는 멀티플렉서부 및, 사용자의 입력을 받아들여 전압 공급부, 전류 및 전압 측정부, 릴레이부 및, 멀티플렉서부를 제어하거나, 또는 프로브 스테이션의 조절 장치를 제어하는 제어부를 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020120137773A
公开(公告)日：2012-12-24
申请号：KR1020110056820
申请日：2011-06-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N21/64 , G01N21/31 , G01N33/18 , G01N33/483
Abstract: PURPOSE: A sensor for measuring concentration of chlorophyll-a which is included in underwater plant plankton is provided to detect fluorescence quantity with a photo detection part comprising two photo detectors, thereby being effective in easily measuring a micro signal . CONSTITUTION: A sensor for measuring concentration of chlorophyll-a included in underwater plant plankton comprises a light emitting part, a sample part, a first sensor part, and a second sensor part. The light emitting part provides light to be absorbed in chlorophyll-a. The chlorophyll-a is included in underwater plant plankton. The light emitted from the light emitting part passes through the sample part. The first sensor part measures the quantity of light which is absorbed in chlorophyll-a by passing through the sample part. The second sensor part measures the quantity of fluorescence which is emitted from plant plankton in the sample part. [Reference numerals] (AA) Motor; (BB) Wiper; (CC) LED; (DD) PD[λ=680nm] fluorescence detector; (EE) PD[λ460nm] light absorption detector
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量水下植物浮游生物中包含的叶绿素a浓度的传感器，以便利用包含两个光电检测器的光检测部分检测荧光量，从而有效地容易地测量微信号。 构成：用于测量水下植物浮游生物中包含的叶绿素a浓度的传感器包括发光部分，样品部分，第一传感器部分和第二传感器部分。 发光部分提供被叶绿素a吸收的光。 叶绿素a包括在水下植物浮游生物中。 从发光部发出的光通过样品部。 第一传感器部件通过通过样品部分来测量在叶绿素a中吸收的光量。 第二传感器部分测量样品中植物浮游生物发出的荧光量。 （标号）（AA）马达; （BB）雨刮器; （CC）LED; （DD）PD [λ= 680nm]荧光检测器; （EE）PD [λ460nm]光吸收检测器
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公开(公告)号：KR1020120091811A
公开(公告)日：2012-08-20
申请号：KR1020110011824
申请日：2011-02-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: F21S9/03 , H05B37/02 , H04Q9/00 , F21Y101/02
CPC classification number: F21S9/03 , F21Y2101/00 , H04Q9/00 , H05B33/0818 , H05B33/0857 , H05B37/0272
Abstract: PURPOSE: A lighting system using solar cells is provided to improve the generation amount of solar cells by employing a low-power consumption solar tracking device which rotates a solar panel according to the position of the sun. CONSTITUTION: A lighting system(10) comprises a solar cell(100), a solar panel, a solar tracking device(300), a secondary battery(400), a lighting unit(500), a control unit(600), and an antenna(700). The solar tracking device, the secondary battery, and the control unit are installed inside a lamp post(12). The solar cell converts the solar energy into the electric energy. The solar tracking device rotates the solar panel. The secondary battery accumulates the electric energy converted by the solar cell. The lighting unit is turned on with the electric energy from the secondary battery or solar cell. The control unit controls the electric energy accumulated from the solar cell to the secondary battery. The antenna performs wireless communication with outside.
Abstract translation: 目的：提供使用太阳能电池的照明系统，通过采用根据太阳的位置使太阳能电池板旋转的低功耗太阳能跟踪装置来提高太阳能电池的产生量。 构成：照明系统（10）包括太阳能电池（100），太阳能电池板，太阳能跟踪装置（300），二次电池（400），照明单元（500），控制单元（600）和 天线（700）。 太阳能跟踪装置，二次电池和控制单元安装在灯柱（12）的内部。 太阳能电池将太阳能转换成电能。 太阳能跟踪装置旋转太阳能电池板。 二次电池蓄积由太阳能电池转换的电能。 照明装置由二次电池或太阳能电池的电能开启。 控制单元控制从太阳能电池蓄积到二次电池的电能。 天线与外部进行无线通信。
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公开(公告)号：KR101125603B1
公开(公告)日：2012-03-27
申请号：KR1020100016300
申请日：2010-02-23
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/288
CPC classification number: C25D7/123 , A61N1/0529 , H01L23/3192 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L2224/0345 , H01L2224/03466 , H01L2224/03515 , H01L2224/0362 , H01L2224/03831 , H01L2224/0401 , H01L2224/05572 , H01L2224/05655 , H01L2224/05666 , H01L2224/05671 , H01L2224/0603 , H01L2224/11462 , H01L2224/11622 , H01L2224/11903 , H01L2224/13018 , H01L2224/13019 , H01L2224/13082 , H01L2224/13139 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13169 , H01L2224/1403 , H01L2924/0002 , H01L2924/01029 , H01L2924/01074 , H01L2924/01027 , H01L2224/05552 , H01L2924/00012
Abstract: 본 발명은 미세전극 어레이 제조방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 전기도금을 통해 양각 형태로 전극을 형성하여, 전극 표면의 거칠기를 크게 하면서, 전극의 두께를 증가시킬 수 있는 미세전극 어레이 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 미세전극 어레이 제조방법은, 미리 준비된 실리콘 기판 상에 희생층을 증착하는 단계; 상기 증착된 희생층 상에 제1 폴리머를 도포하여 패터닝한 후, 열 경화시키는 단계; 상기 제1 폴리머 상에 본딩 패드 영역과, 트랜스미션 라인과, 레코딩 패드 영역을 형성하도록 금속박막을 패터닝하는 단계; 상기 트랜스미션 라인을 폐쇄하고, 상기 본딩 패드 영역과 레코딩 패드 영역을 패터닝하도록 제2 폴리머를 도포하는 단계; 상기 제2 폴리머와 금속박막 상에 스퍼터 장비를 통해 시드층을 증착하는 단계; 상기 본딩 패드 영역과 레코딩 패드 영역에 대해 금속을 전기도금하여 전기도금층을 형성하는 단계; 상기 전기도금층의 상부가 개방되도록 포토레지스트를 패터닝하는 단계; 상기 포토레지스트와 전기도금층 상에 백금을 증착시키는 단계; 및 상기 포토레지스트를 제거하는 단계를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110129675A
公开(公告)日：2011-12-02
申请号：KR1020100049185
申请日：2010-05-26
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N33/487 , G01N35/08 , G01N21/45
CPC classification number: G02B26/10 , G02B2006/1215 , G02B2006/12159
Abstract: PURPOSE: A beam scanning system for detecting a bio-substance by an optical phased array is provided to continuously detect the bio-substance without sample fixation. CONSTITUTION: A bean scanning system(100) comprises: a light source forming part(110) for forming a supercontinuum light source; a voltage application unit(120) for variably forming a voltage; and an optical device(130) which changes the phase of a supercontinuum light source to form and output beams(22). The optical device comprises an incident port, a plurality of output ports, and electrodes.
Abstract translation: 目的：提供用于通过光学相控阵列检测生物物质的束扫描系统，以在不进行样品固定的情况下连续检测生物物质。 构成：豆扫描系统（100）包括：用于形成超连续光源的光源形成部分（110）; 用于可变地形成电压的电压施加单元（120）; 以及改变超连续光源的相位以形成和输出光束（22）的光学装置（130）。 光学装置包括入射端口，多个输出端口和电极。
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公开(公告)号：KR1020110060704A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：KR1020090117374
申请日：2009-11-30
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A field effect transistor sensor array and a manufacturing method thereof are provided to simultaneously measure a plurality of materials by increasing the number of gate electrodes of a field effect transistor according to the kind of materials. CONSTITUTION: An n x n sensor array is arranged on a substrate. A plurality of gate electrodes corresponds to materials. A common source electrode commonly connects n sources comprising each row of the n x n sensor array. A common drain electrode commonly connects n drains comprising each row of the n x n sensor array. A nano wire channel is formed between the common source electrode and the common drain electrode.
Abstract translation: 目的：提供场效应晶体管传感器阵列及其制造方法，以通过根据材料的种类增加场效应晶体管的栅电极的数量来同时测量多种材料。 构成：一个n x n传感器阵列布置在基片上。 多个栅电极对应于材料。 公共源电极通常连接包括n×n个传感器阵列的每一行的n个源。 公共漏电极通常连接包括n×n个传感器阵列的每行的n个漏极。 在公共源电极和公共漏电极之间形成纳米线通道。
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公开(公告)号：KR100152582B1
公开(公告)日：1998-10-15
申请号：KR1019950008802
申请日：1995-04-14
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N7/18
Abstract: 본 발명은 전자회로 패턴이 되어 있지 않고 전자부품 삽입용 홀, 배선용 비아홀 및, 기판 고정용 홀등을 포함하거나 또는 홀을 포함하지 않는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치 및 그 검색방법에 관한 것으로, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없는 독립적인 단일모듈형 검색기로 구성된 자동검색장치를 이용하여 한개 또는 두개의 길고 가는 선형광원으로 기판 표면에 빔을 조사한 후 표면에서의 반사광을 카메라렌즈에 의해 1차원 CCD 영상센서어레이에서 아날로그 영상신호로 변환시키는 제1단계와; 상기 CCD 영상센서어레이에서 출력된 아날로그 영상신호를 비디오 아날로그/디지탈 변환기를 통해 디지탈 신호로 바꾼 후 고속으로 신호를 처리할 수 있는 디지탈신호처리 칩으로 보내는 제2단계와; 상기 디지탈신호처리 칩 내부에서 프로그램과 데이타 메모리를 통해 신호를 처리하는 알고리즘을 구현하고 이것에 의해 검출된 검색결과를 출력표시부에 표시하는 제3단계를 거쳐 무패턴 기판의 결함을 검출하므로써, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없어 제조비용을 절감할 수 있고, 1차원 스캐닝에 의한 광영상화와 신호처리의 고속화 및 실시간 처리가 가능하며, 디지탈 신호처리 칩(digital signal processing chip)을 내장함으로 인해 다양한 결함 유형의 자동검출이 용이하다는 장점을 가지게 된다. 또한 단일모듈에 의한 검색시스템을 광영상화부, 고속영상신호처리부 및, 출력표시부로 구성하여 응용에 따라 각 기능부를 용이하게 조정할 수 있게 되며, 기판의 크기와 검출되어야 하는 결함의 크기에 따라 기판 표면의 영상화 배율 및 다양한 센서수를 갖는 CCD (charge coupled device) 센서어레이를 쉽게 변경할 수 있는 고신뢰성의 무패턴 기판 결함 자동검색장치를 구현할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR1019960038409A
公开(公告)日：1996-11-21
申请号：KR1019950008802
申请日：1995-04-14
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N7/18
Abstract: 본 발명은 전자회로 패턴이 되어 있지 않고 전자부품 삽입용 홀, 배선용 비이홀 및, 기판 고정용 홀등을 포함하거나 또는 홀을 포함하지 않는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치 및 그 검색방법에 관한 것으로, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없는 독립적인 단일모듈형 검색기로 구성된 자동검색장치를 이용하여 한 개 또는 두 개의 길고 가는 선형 광원으로 기판 표면에 빔을 조사한 후 표면에서의 반사광을 카메라렌즈에 의해 1차원 CCD 영상센서어레이에서 아날로그 영상신호로 변환시키는 제1단계와; 상기 CCD 영상센서어레이에서 출력된 아날로그 영상신호를 비디오 아날로그/디지탈 변환기를 통해 디지탈 신호로 바꾼 후 고속으로 신호를 처리할 수 있는 디지탈신호처리 칩으로 보내는 제2단계와; 상기 디지탈신호처리 칩 내부에서 프로그램과 데이타 메모리를 통해 신호를 처리하는 알고리즘을 구현하고 이것에 의해 검출된 검색결과를 출력표시부에 표시하는 제3단계를 거쳐 무패턴 기판의 결함을 검출함으로써, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없이 제조비용을 절감 할 수 있고, 1차원 스캐닝에 의한 광영상화와 신호처리의 고속화 및 실시간 처리가 가능하며, 디지탈 신호처리 칩(digital signal processing chip)을 내장함으로 인해 다양한 결함 유형의 자동검출이 용이 하다는 장점을 가지게 된다. 또한 단일모듈에 의한 검색시스템을 광영상화부, 고속영상신호처리부 및, 출력표시부로 구성하여 응용에 따라 각 기능부를 용이하게 조정할 수 있게 되며, 기판의 크기와 검출되어야 하는 결함의 크기에 따라 기판 표면의 영상화 배율 및 다양한 센서수를 갖는 CCD(charge coupled device) 센서어레이를 쉽게 변경할 수 있는 고신뢰성의 무패턴 기판 결함 자동검색장치를 구현할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR101265067B1
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：KR1020100054881
申请日：2010-06-10
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/14 , C23C14/26
Abstract: 본발명은측면방출형선형증발원, 그제작방법및 선형증발기에관한것이다. 진공속에서도가니를가열하여, 도가니에서방출되는재료를기판에증착하는방법을사용하는증발시스템에서, 도가니와발열부로구성되고증발원의측면에형성된방출구를갖는선형증발원, 그선형증발원의제작방법및 선형증발기에관한것이다.본발명에서는증발장치용 PBN 방출부와, 상기방출부의외부표면에증착되어가열에적합하게패터닝된발열부와, 상기방출부의측면에형성된다수개의방출구를포함하는선형증발원, 그제작방법및 선형증발기가제시된다.
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