-
公开(公告)号:KR100885188B1
公开(公告)日:2009-02-23
申请号:KR1020070053758
申请日:2007-06-01
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 고전압 펄스를 인가하는 펄스 구동 고전압 전원부 없이 고전압 펄스 구동을 가능하게 하는 전계 방출 장치에 관한 것으로, 본 전계 방출 장치는 전계 에미터를 포함하는 제1 전극; 상기 제1 전극과 서로 평행하게 배치되어 상기 전계 에미터에서 방출된 전자를 가속시키는 제2 전극; 상기 제2 전극에 연결되어 상기 전계 에미터의 전계 방출에 필요한 DC 전압을 상기 제2 전극에 인가하는 고전압 전원부; 및 상기 제1 전극에 연결되어 상기 제2 전극에 DC 전압이 인가된 상태에서 상기 제1 전극에 흐르는 전계 방출 전류를 제어하는 전류 제어부를 포함한다. 이에 따라, DC 전압을 인가하는 고전압 전원부와 전계 방출 전류를 제어하는 전류 제어부를 포함함으로써, 제1 전극으로 인가하는 전류를 제어하여 고전압 펄스 구동을 가능하게 할 수 있다.
전계 방출, 발광, 고전압, 구동, DC 전원, 반도체 스위칭 회로, 펄스 발생기-
公开(公告)号:KR100865384B1
公开(公告)日:2008-10-24
申请号:KR1020070018871
申请日:2007-02-26
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 전계 발광 장치에 관한 것으로, 본 전계 발광 장치는 표면에 형성된 애노드 전극과, 상기 애노드 전극 상에 형성된 형광체를 구비하는 애노드 기판; 상기 애노드 기판과 소정 간격을 두고 대향 배치되며, 상기 애노드 기판을 향해 형성되는 적어도 하나의 캐소드 전극과 상기 각 캐소드 전극 상에 형성되는 전계 에미터를 포함하는 캐소드 기판; 및 일면이 상기 캐소드 기판과 접촉하며, 상기 각 전계 에미터를 둘러싸며 상기 각 전계 에미터를 노출시키기 위해 형성된 복수의 개구를 구비한 게이트 절연체와, 상기 게이트 절연체 상의 상기 각 개구 주위에 상호 전기적으로 절연되도록 형성된 복수의 게이트 전극을 포함하는 게이트 기판을 포함한다. 이에 따라, 복수개의 게이트 전극의 전압 차에 의해 전계 에미터에서 방출된 전자빔 궤적이 시간에 따라 빠르게 변화할 때 잔상 효과에 의해 전자빔 주사 영역을 확장할 수 있으며, 전자빔 산란 효과 및 선 방향 빔 퍼짐 효과로 인해 전자빔 균일도가 높아져 형광체의 발광 균일도를 높일 수 있다.
전계 방출, 백라이트 유닛, 게이트 전극, 캐소드, 애노드, 궤적, 전자빔-
公开(公告)号:KR100687717B1
公开(公告)日:2007-02-27
申请号:KR1020040107224
申请日:2004-12-16
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H02N2/028 , H01J2237/20264
Abstract: 본 발명은, 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지에 관한 것으로서, 중심부에 상하방향으로 관통형성된 관통공을 구비하는 몸체; 전자를 방출하는 에미션 팁(emission tip)을 포함하는 팁부를 중심에 내장하고, 상기 몸체의 관통공을 관통하도록 배치되되 상기 관통공 내에서 상하방향에 대해 수직인 제1축 상의 움직임이 가능하도록 결합되는 보빈; 상기 몸체에 구비되며, 전압을 가하면 길이가 늘어나면서 상기 보빈을 상기 제1축의 일방향으로 밀 수 있는 제1압전소자; 상기 몸체에 구비되며, 전압을 가하면 길이가 늘어나면서 상기 보빈을 상기 제1축의 타방향으로 밀 수 있는 제2압전소자; 및 상기 몸체의 관통공과 연통되는 관통공을 구비하여 상기 보빈을 통과시키며, 상기 몸체의 상부에 결합되는 상부커버;를 포함하여 이루어져, 상기 제1압전소자와 제2압전소자에 가하는 전압을 조절함으로써 상기 보빈을 상기 제1축 상의 원하는 위치에 위치시킬 수 있다는 특징이 있다. 본 발명에 의한 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지에 의하면, 압전소자들의 거동 특성만으로 에미션 팁부의 정확하고 안정적인 위치정렬이 가능하다는 효과가 있다.
-
公开(公告)号:KR100628321B1
公开(公告)日:2006-09-27
申请号:KR1020040107222
申请日:2004-12-16
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/067 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3177 , H01J2237/1205 , H01J2237/1502 , H01J2237/2818
Abstract: 본 발명은, 마이크로칼럼 전자빔 장치에 관한 것으로서, 베이스; 상기 베이스에 중심부에 장착되며, 전자렌즈 모듈이 고정된 전자렌즈 브라켓; 상기 전자렌즈 모듈의 상부에 상하 길이 방향으로 길게 배치되는 전자빔 방출원 팁모듈; 상기 베이스의 상측에 장착되고, 상기 전자빔 방출원 팁모듈을 그 중심부에 지지하되, 전자빔 방출원 팁모듈의 중심을 상하 방향으로 지나는 수직축과 수직인 하나의 평면상의 3방향에서 각각 상기 전자빔 방출원 팁모듈에 결합된 제1, 2, 3스프링부를 포함하는 3-커플링 판 스프링 플레이트부(3-coupling pan spring plate portion)를 구비하여, 상기 전자빔 방출원 팁모듈을 3방향에서 탄성적으로 지지하는 판스프링 플레이트 스테이지 모듈(pan spring plate stage moule); 상기 판스프링 플레이트 스테이지 모듈에 구비되며, 상기 전자빔 방출원 팁모듈을 상기 수직축과 수직인 제1축 상에서 이동시키는 제1피지티 엑츄에이터(PZT acutator); 및 상기 판스프링 플레이트 스테이지 모듈에 구비되며, 상기 전자빔 방출원 팁모듈을 상기 수직축 및 제1축과 각각 수직인 제2축 상에서 이동시키는 제2피지티 엑츄에이터(PZT acutator);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
-
公开(公告)号:KR1020060070398A
公开(公告)日:2006-06-23
申请号:KR1020050051981
申请日:2005-06-16
Applicant: 한국전자통신연구원 , 선문대학교 산학협력단
IPC: H01L21/02
Abstract: LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이에 대해 개시한다. 그 마이크로칼럼 어레이는 배선이 형성된 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic) 기판과 상기 LTCC 기판의 적어도 일측에 접합되며, 전자빔을 편향시키는 복수개의 편향소자가 배열된 상기 웨이퍼 크기의 편향기 어레이를 포함한다. LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이에 의하면 시간당 반도체 웨이퍼 처리량을 획기적으로 증가시킬 수 있고, 제조공정을 간단하게 하고 소요되는 경비를 크게 낮출 수 있다.
웨이퍼 규모, LTCC 기판, 편향소자, 동일한 방위각
-
-
-
-