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公开(公告)号:KR1020120061531A
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:KR1020100122869
申请日:2010-12-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: B41F17/26 , B05C1/0808 , H01L21/0274 , G03F1/22 , G03F7/0002
Abstract: PURPOSE: A metal pattern formation method and an apparatus using the same are provided to improve electrical properties of a metal wire by forming the metal wire using a non-electrode electrochemical plating method. CONSTITUTION: An adhesive pattern is formed on a substrate(S10). An initiator is combined on the adhesive pattern by spraying an initiator solution on the substrate(S20). A metal is combined with the initiator by performing a plating process after spraying a metal precursor solution on the substrate(S30). The initiator solution and the metal precursor solution on the substrate are eliminated between the adhesive patterns by performing a cleaning process(S40).
Abstract translation: 目的:提供一种金属图案形成方法及其使用方法,通过使用非电极电镀法形成金属线来提高金属线的电特性。 构成:在基材上形成粘合剂图案(S10)。 通过在基板上喷射引发剂溶液将引发剂组合在粘合剂图案上(S20)。 通过在金属前体溶液喷涂到基板上之后进行电镀处理,将金属与引发剂结合(S30)。 通过进行清洗处理,在粘合剂图案之间消除了基板上的引发剂溶液和金属前体溶液(S40)。
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公开(公告)号:KR1020110064149A
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:KR1020090120620
申请日:2009-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L21/6835 , H01L21/84 , H01L24/83 , H01L24/93 , H01L2221/6835 , H01L2221/68359 , H01L2221/68368 , H01L2224/2919 , H01L2224/83192 , H01L2224/8385 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01015 , H01L2924/01023 , H01L2924/01033 , H01L2924/01049 , H01L2924/01051 , H01L2924/01072 , H01L2924/0665 , H01L2924/07802 , H01L27/1266 , H01L27/1262 , H01L29/78603 , H01L2924/00
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a semiconductor device is provided to form an embedded insulating film and a gate insulating film by different materials, thereby preventing damage of the gate insulating film when the embedded insulating film is eliminated. CONSTITUTION: An embedded insulating film(14) and an active layer(16) are stacked on a single-crystalline silicon wafer(12). A gate insulating layer(18) is formed on the active layer. A gate electrode(20) is formed on the gate insulating layer. Source/drain areas(22,24) are formed on the active layer of the gate electrode. A part of the embedded insulating film is eliminated to form an under cut in the lower part of the thin film transistor.
Abstract translation: 目的:提供一种用于制造半导体器件的方法,以通过不同的材料形成嵌入式绝缘膜和栅极绝缘膜,从而防止当绝缘膜被去除时对栅极绝缘膜的损坏。 构成:在单晶硅晶片(12)上堆叠嵌入绝缘膜(14)和有源层(16)。 在有源层上形成栅极绝缘层(18)。 栅电极(20)形成在栅极绝缘层上。 源极/漏极区域(22,24)形成在栅电极的有源层上。 消除了嵌入式绝缘膜的一部分,以在薄膜晶体管的下部形成欠切割。
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公开(公告)号:KR1020110044454A
公开(公告)日:2011-04-29
申请号:KR1020090101136
申请日:2009-10-23
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L21/4814 , H01L21/4867 , H01L23/49822 , H01L2924/0002 , H05K1/0277 , H05K1/0298 , H05K1/0306 , H05K1/0313 , H05K1/09 , H05K3/105 , H05K3/125 , H05K3/4069 , H05K2203/1105 , H05K2203/125 , Y10T29/49117 , Y10T29/49126 , Y10T29/4913 , Y10T29/49144 , Y10T29/49155 , Y10T29/49165 , H01L2924/00
Abstract: PURPOSE: A multilayered wire connecting structure and manufacturing method thereof are provided to eliminate a chemical and mechanical grinding process which eliminates a conductive metal layer, thereby maximizing productivity. CONSTITUTION: A first wire(12) is formed on a substrate(10). An interlayer insulating film(14) is formed on the first wire. A second wire(22) is formed on the interlayer insulating film. A via contact(20) includes at least one conductive filament(17). The conductive filament electrically connects a first wire with a second wire.
Abstract translation: 目的:提供多层导线连接结构及其制造方法,以消除消除导电金属层的化学和机械研磨过程,从而最大限度地提高生产率。 构成:在基板(10)上形成第一线(12)。 在第一导线上形成层间绝缘膜(14)。 第二线(22)形成在层间绝缘膜上。 通孔接触件(20)包括至少一个导电细丝(17)。 导电丝将第一线与第二线电连接。
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公开(公告)号:KR1020110010535A
公开(公告)日:2011-02-01
申请号:KR1020090113221
申请日:2009-11-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L51/30
Abstract: PURPOSE: An organic thin film transistor is provided to improve an electrical property by decreasing a driving voltage and a threshold voltage. CONSTITUTION: A source electrode and a drain electrode are formed on a substrate(110). An active layer(140) is formed between the source electrode and the drain electrode. An organic insulating layer(150) is arranged between the source electrode and, the drain electrode, and the active layer. A gate electrode controls the active layer. The organic insulating layer is arranged between the active layer and the gate electrode.
Abstract translation: 目的:提供有机薄膜晶体管,以通过降低驱动电压和阈值电压来改善电性能。 构成:源电极和漏电极形成在基板(110)上。 在源电极和漏电极之间形成有源层(140)。 有机绝缘层(150)设置在源电极和漏电极与有源层之间。 栅电极控制有源层。 有机绝缘层设置在有源层和栅电极之间。
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公开(公告)号:KR1020070113737A
公开(公告)日:2007-11-29
申请号:KR1020060047388
申请日:2006-05-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L51/00
CPC classification number: H01L27/12 , H01L27/283 , H01L51/0554
Abstract: An inverter using a dual gate organic transistor is provided to embody a transistor used as a driver by an enhancement-type transistor by using an organic transistor made of a dual gate. An inverter includes a driver transistor including a dual gate structure and an organic channel wherein the driver transistor is connected to the load transistor. The driver transistor can include a lower gate electrode(11), an upper gate electrode(17) and a source/drain electrode(13,14). The lower gate electrode confronts the organic channel by interposing a first dielectric layer(12). The upper gate electrode confronts the organic channel by interposing a second dielectric layer(16). The source/drain electrode is connected to the organic channel.
Abstract translation: 提供了使用双栅极有机晶体管的反相器,通过使用由双栅极制成的有机晶体管,通过增强型晶体管来体现用作驱动器的晶体管。 逆变器包括驱动晶体管,其包括双栅极结构和有机沟道,其中驱动晶体管连接到负载晶体管。 驱动晶体管可以包括下栅电极(11),上栅电极(17)和源/漏电极(13,14)。 下栅电极通过插入第一介电层(12)来面对有机沟道。 上栅电极通过插入第二电介质层(16)来面对有机沟道。 源极/漏极连接到有机沟道。
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公开(公告)号:KR100779087B1
公开(公告)日:2007-11-27
申请号:KR1020060058094
申请日:2006-06-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786
Abstract: 유기 박막 트랜지스터의 제조방법을 개시한다. 본 발명에 의하면, 유기 박막 트랜지스터의 유기막 뿐만 아니라, 유기 박막 트랜지스터를 구성하는 전극, 절연층 및 유기막 모두를 레이저 프린팅 방식으로 형성한다. 상기 레이저 프린터 방식은 레이저 빔이 조사된 부분에만 선택적으로 토너를 비산시켜 막을 형성할 수 있으므로, 미세한 패턴 제작이 가능하고, 정착 롤러에 의해 고착화되므로 별도의 건조 공정이 요구되지 않는다.
유기박막트랜지스터(OTFT), 레이저 프린터, 드럼, 정착 롤러Abstract translation: 公开了一种有机薄膜晶体管的制造方法。 根据本发明,不仅有机薄膜晶体管的有机膜而且通过激光印刷方法形成构成有机薄膜晶体管的电极,绝缘层和有机膜。 在激光打印机方法中,调色剂可以仅在用激光束照射的部分上选择性地散射以形成膜,使得可以通过定影辊形成和固定精细图案,因此不需要单独的干燥步骤。
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公开(公告)号:KR100779081B1
公开(公告)日:2007-11-27
申请号:KR1020060027358
申请日:2006-03-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01L1/20
Abstract: 본 발명은 전자 피부용 압력 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 소정 압력 이상이 가해지면 전도도가 증가하는 전도성 고무, 전도성 고무의 양쪽 측면에 형성되어 전도성 고무에 전류가 흐르는 것을 측정하는 전극, 및 전극의 일측면 상단부에 형성되어 전도성 고무에 가해지는 압력을 분산시키는 탄성 고무;로 구성되어, 압력의 정도를 측정할 수 있는 전자 피부용 압력 센서 및 이를 제조할 수 있다.
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公开(公告)号:KR102207224B1
公开(公告)日:2021-01-27
申请号:KR1020150025358
申请日:2015-02-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/1339 , G02F1/1343 , G02F1/1333
Abstract: 표시장치및 이를제조하는방법을제공한다. 표시장치는, 하부표시소자와, 제1 상부전극, 발광부, 제2 상부전극및 보호부가순차적으로적층된상부표시소자와, 하부및 상부표시소자들로구동신호를전달하는중간부를포함하되, 보호부는상부표시소자의적어도일부를덮는다.
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