公开(公告)号：EP2702004A2

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：EP12719509.7

申请日：2012-03-23

Applicant: Clean Energy Labs, LLC

Inventor： LACKOWSKI, William Martin ,  EVERETT, William Neil ,  PINKERTON, Joseph F.

IPC: B82B3/00

CPC classification number: B82B3/0023 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2207/053 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/0194 ,  B81C2203/036 ,  B81C2203/051 ,  G01L9/0042 ,  H01H1/0094

Abstract: The present invention relates to thin membranes (such as graphene windows) and methods of aligned transfer of such thin membranes to substrates. The present invention further relates to devices that include such thin membranes.

公开(公告)号：EP2520368A1

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：EP12179250.1

申请日：2006-10-03

Applicant: Rheonix, Inc.

Inventor： Young, Lincoln ,  Zhou, Peng

IPC: B01L3/00 ,  F04B43/04 ,  B32B27/00 ,  F04B53/10 ,  B01F11/00 ,  B01F13/00 ,  B01F5/06 ,  B29C65/48 ,  B81B1/00 ,  C09J5/00 ,  B81C1/00 ,  F04B43/06 ,  F16K99/00

CPC classification number: F16K7/12 ,  B01F5/0683 ,  B01F5/0688 ,  B01F11/0071 ,  B01F13/0059 ,  B01F2215/0034 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0638 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/084 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/004 ,  B29C66/54 ,  B29C66/5412 ,  B29C66/71 ,  B29K2025/00 ,  B29K2025/04 ,  B29K2033/08 ,  B29K2069/00 ,  B29K2101/12 ,  B29L2031/7496 ,  B29L2031/7506 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/028 ,  F04B43/043 ,  F04B43/06 ,  F15C1/08 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0021 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0055 ,  F16K99/0057 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/212 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2218 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T156/1002 ,  Y10T156/1043 ,  B29K2033/12 ,  B29K2025/06

Abstract: Plastic microfluidic structures having a substantially rigid diaphragm that actuates between a relaxed state wherein the diaphragm sits against the surface of a substrate and an actuated state wherein the diaphragm is moved away from the substrate. As will be seen from the following description, the microfluidic structures formed with this diaphragm provide easy to manufacture and robust systems, as well readily made components such as valves and pumps.

Abstract translation: 塑料微流体结构具有基本上刚性的膜片，其在松弛状态之间起作用，其中隔膜与衬底的表面相抵靠，并且其中隔膜从衬底移开的致动状态。 从下面的描述可以看出，用该隔膜形成的微流体结构提供易于制造和坚固的系统，以及容易制造的部件，例如阀和泵。

公开(公告)号：EP2325490A1

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：EP10012025.2

申请日：2010-09-30

Applicant: Carl Freudenberg KG

Inventor： Diekmann, Hans-Jürgen ,  Stephan, Ingo ,  Trares, Werner ,  Uhl, Daniel

IPC: F04B43/00 ,  B81B3/00 ,  G01B7/00 ,  B29C70/88

CPC classification number: F04B43/0054 ,  B81B2201/036 ,  B81C99/0045 ,  F04B43/0081 ,  F04B43/009 ,  F04B2201/0201

Abstract: Eine Anordnung, umfassend mindestens einen Sensor (7, 8), ein deformierbares Element (1) und eine Einrichtung (11) zur Erfassung und Auswertung der vom Sensor (7, 8) erfassten und ausgegebenen Signale, ist im Hinblick auf die Aufgabe, eine Anordnung der eingangs genannten Art derart auszugestalten und weiterzubilden, dass bei einfachem Aufbau eine zuverlässige Erkennung von Schadstellen eines deformierbaren Elements ermöglicht ist, dadurch gekennzeichnet, dass das deformierbare Element (1) ein Magnetfeld (9) erzeugt und der Sensor (7, 8) Änderungen des Magnetfeldes (9) erfasst.

Abstract translation: 该装置具有检测和评估装置（11），用于检测和评估由传感器（7,8）检测到的信号，例如， 霍尔传感器。 可变形元件（1）产生磁场（9），并且传感器检测磁场的变化，其中磁场的强度取决于膜的表面（10）到传感器的距离。 可变形元件具有由弹性体和绒毛制成的磁场产生层（2），其中磁化颗粒嵌入层中。 可变形元件包括由PTFE制成的涂层（1a）。 还包括用于检测可变形元件的表面中的裂纹的方法的独立权利要求。

公开(公告)号：EP1334060B1

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：EP01992685.6

申请日：2001-10-06

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： BENZEL, Hubert ,  WEBER, Heribert ,  ARTMANN, Hans ,  SCHAEFER, Frank

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81C1/00595 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/036 ,  B81C2201/0114 ,  B81C2201/0115 ,  B81C2201/0136 ,  B81C2203/0136

Abstract: The invention relates to the production of a micromechanical component, comprising a substrate (10), made from a substrate material with a first doping type (p), a micromechanical functional structure arranged in the substrate (10) and a cover layer for the at least partial covering of the micromechanical functional structure. The micromechanical functional structure comprises regions (15; 15a; 15b; 15c; 730; 740; 830) made from the substrate material with a second doping type (n), at least partially surrounded by a cavity (50; 50a-f) and the cover layer comprises a porous layer (30) made from the substrate material.

公开(公告)号：EP0465229A1

公开(公告)日：1992-01-08

申请号：EP91306015.8

申请日：1991-07-02

Applicant: SEIKO EPSON CORPORATION

Inventor： Kamisuki, Shinichi ,  Nose, Yasuto ,  Shimizu, Nobuo ,  Yotsuya, Shinichi

IPC: F04B43/04 ,  F04B21/02 ,  H01L21/308

CPC classification number: B81B3/0005 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  F04B43/046 ,  F04B53/102 ,  H01L21/3083

Abstract: The present invention provides a micropump comprising a silicon substrate (38), which is sandwiched between glass substrates (39, 40) and which is formed with a diaphragm (36) and a valve, the valve including a valve membrane (50) and a valve member (35) for controlling fluid flow through a through-hole (34a) in the valve membrane, the valve member engaging one of the glass substrates. The diaphragm and the valve membrane are disposed closer to the glass substrate engaged by the valve member than to the other glass substrate.

Abstract translation: 本发明提供了一种微型泵，其包括被夹在玻璃基板（39,40）之间并形成有隔膜（36）和阀的硅基板（38），所述阀包括阀膜（50）和阀 用于控制通过阀膜中的通孔（34a）的流体流动的阀构件（35），阀构件接合玻璃基板中的一个。 隔膜和阀膜设置成比与其他玻璃基板接近的与阀构件接合的玻璃基板更靠近。

公开(公告)号：JP2018521576A

公开(公告)日：2018-08-02

申请号：JP2017565061

申请日：2016-06-14

Applicant: フラウンホーファー−ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デル・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲネル・フェライン

Inventor： ハラルド・シェンク ,  ホルガー・コンラド ,  マテュー・ガウデト ,  クラウス・シマンズ ,  ゼルギウ・ランガ ,  ベルトゥ・カイザー

IPC: B81B3/00 ,  H04R1/02 ,  H04R17/00 ,  F04B45/04 ,  F04B45/047 ,  F04B43/02 ,  F04B43/04 ,  H04R19/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/019 ,  B81B2203/051 ,  B81C1/00142 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00158 ,  H04R1/023 ,  H04R1/08 ,  H04R9/02 ,  H04R15/00 ,  H04R17/00 ,  H04R19/005 ,  H04R23/002 ,  H04R2201/003 ,  H04R2499/11

Abstract: 流体の体積流と相互作用するMEMSトランスデューサは、キャビティを備える基板と、キャビティ内で基板に接続され、横運動方向に沿って変形可能な変形可能要素を備える電気機械トランスデューサとを含み、横運動方向に沿った変形可能要素の変形と、流体の体積流とは因果関係にある。

公开(公告)号：JPWO2015019919A1

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：JP2015530840

申请日：2014-07-30

Applicant: アオイ電子株式会社 ,  国立大学法人静岡大学 ,  オムロン株式会社 ,  株式会社鷺宮製作所

Inventor： 雅人 鈴木 ,  昭登 森 ,  原 橋口 ,  達彦 杉山 ,  浩史 今本 ,  正利 大場 ,  裕幸 三屋 ,  久幸 芦澤 ,  和徳 石橋

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N1/008 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/051 ,  F16K31/02 ,  G02B26/02 ,  H01H59/00 ,  H02N1/00

Abstract: アクチュエータは、固定電極および可動電極を備える静電駆動機構と、静電駆動機構により駆動される第1可動部と、第1可動部を弾性支持する第1弾性支持部と、固定電極および可動電極の少なくとも一方に形成されたエレクトレットと、静電駆動機構への電圧印加を制御する駆動制御部と、を備える。アクチュエータには、エレクトレットに起因する静電力と第1弾性支持部の弾性力とが釣り合う安定位置に、またはその近傍に設定された安定位置に、第1可動部が位置決めされる安定状態が複数設定されている。静電駆動機構に電圧を印加することにより、第1可動部を任意の安定位置から他の安定位置へ移動させることができる。

Abstract translation: 致动器，静电传动机构，其包括一固定电极和可动电极，其通过静电驱动机构驱动一个第一可动部，所述第一可动部的第一弹性支撑部弹性地支撑，固定电极和可动电极 包括驻极体的形成上的至少一个，用于控制施加到静电驱动机构的电压的驱动控制部。 的致动器，弹性力是静电力和所造成的驻极体或在其附近设定的稳定位置的第一弹性支撑部件的平衡稳定的位置，稳定的状态被设置的多个第一可动部的定位 是的。 通过将电压施加到静电驱动机构，它可以从任何稳定的位置的第一可动部移动到另一个稳定位置。

公开(公告)号：JP2009074537A

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：JP2008160628

申请日：2008-06-19

Applicant: Honeywell Internatl Inc ,  ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド

Inventor： YANG WEI

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D17/168 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/056 ,  F04D17/127

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a turbomolecular pump that can produce a high vacuum against a high exhaust pressure, also can be used in an instrument where an application may be portable, hand held or space limited.
SOLUTION: A radial turbomolecular vacuum pump includes a rotor made from a silicon rotor surface comprising monolithically fabricated micro blades, and a stator made from a silicon stator surface comprising corresponding monolithically fabricated grooves. The micro blades and grooves are arranged in multiple rings, and the rotor and stator disks are placed in proximity, creating interdigitated stator and rotor blade rings. The interdigitated stator and rotor blade rings form a multi-stage compression in a radial direction.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供能够产生高排气压力的高真空度的涡轮分子泵，也可以用于应用可以是便携式，手持式或空间限制的仪器中。 解决方案：径向涡轮分子真空泵包括由包括单片制造的微型叶片的硅转子表面制成的转子和由硅定子表面制成的定子，其包括相应的单片制造的凹槽。 微型叶片和槽布置在多个环中，并且转子和定子盘被放置在邻近处，产生相互指向的定子和转子叶片环。 交叉定子和转子叶片环在径向方向形成多级压缩。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2005186265A

公开(公告)日：2005-07-14

申请号：JP2004344861

申请日：2004-11-29

Applicant: California Inst Of Technol ,  カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー

Inventor： UNGER MARC A ,  CHOU HOU-PU ,  THORSEN TODD A ,  SCHERER AXEL ,  QUAKE STEPHEN R ,  LIU JIANN ,  ADAMS MARK L ,  HANSEN CARL L

IPC: B01L3/00 ,  B01L7/00 ,  B01L9/00 ,  B67D99/00 ,  B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  C12Q1/68 ,  F04B43/04 ,  F15C5/00 ,  F16K7/00 ,  F16K31/126 ,  F16K99/00

CPC classification number: B05D3/04 ,  B01J2219/00355 ,  B01J2219/00378 ,  B01J2219/00396 ,  B01J2219/00398 ,  B01J2219/00439 ,  B01J2219/005 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00605 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00621 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00707 ,  B01J2219/00722 ,  B01J2219/00725 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L7/54 ,  B01L9/527 ,  B01L2200/025 ,  B01L2200/027 ,  B01L2200/0605 ,  B01L2200/10 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2300/14 ,  B01L2300/18 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/0688 ,  B32B2037/1081 ,  B65B31/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  C12Q1/6832 ,  C12Q1/6874 ,  C30B29/54 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C3/00 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/0424 ,  Y10T137/206 ,  Y10T137/2082 ,  Y10T137/2164 ,  Y10T137/2169 ,  Y10T137/2174 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/3084 ,  Y10T137/7837 ,  Y10T137/86027 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24612 ,  C12Q2535/125

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system to fabricate and actuate microstructure created from various layers adhered by an ON/OFF valve, a switch valve, and a pump. SOLUTION: A method of fabricating an elastomeric structure, comprises : a process where a first micromachined mold has a first raised protrusion which forms a first recess extending along a bottom surface of a first elastomeric layer 20; a process where a second micromachined mold has a second raised protrusion which forms a second recess extending along a bottom surface of the second elastomeric layer 22; a process where the bottom surface of the second elastomeric layer 22 is bonded onto a top surface of the first elastomeric layer so that a control channel 32 is formed in the second recess between the first and second elastomeric layers; and a process where the first elastomeric layer 20 on the top of a planar substrate such a flow channel is formed in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种制造和致动由通/断阀，开关阀和泵粘附的各种层产生的微结构。 解决方案：一种制造弹性体结构的方法，包括：第一微加工模具具有第一凸起突起，其形成沿着第一弹性体层20的底表面延伸的第一凹部; 其中第二微加工模具具有第二凸起突起，其形成沿着第二弹性体层22的底表面延伸的第二凹槽; 其中第二弹性体层22的底表面被结合到第一弹性体层的顶表面上，使得控制通道32形成在第一和第二弹性体层之间的第二凹槽中; 以及其中在第一弹性体层和平面基底之间的第一凹部中形成诸如流动通道的平面基底的顶部上的第一弹性体层20的过程。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：EP2520367B1

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：EP12179245.1

申请日：2006-10-03

Applicant: Rheonix, Inc.

Inventor： Lincoln, Young ,  Peng, Zhou

IPC: B01L3/00 ,  F04B43/04 ,  B32B27/00 ,  F04B53/10 ,  B01F11/00 ,  B01F13/00 ,  B01F5/06 ,  B29C65/48 ,  B81B1/00 ,  C09J5/00 ,  F16K99/00 ,  F04B43/06 ,  B81C1/00

CPC classification number: F16K7/12 ,  B01F5/0683 ,  B01F5/0688 ,  B01F11/0071 ,  B01F13/0059 ,  B01F2215/0034 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0638 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/084 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/004 ,  B29C66/54 ,  B29C66/5412 ,  B29C66/71 ,  B29K2025/00 ,  B29K2025/04 ,  B29K2033/08 ,  B29K2069/00 ,  B29K2101/12 ,  B29L2031/7496 ,  B29L2031/7506 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/028 ,  F04B43/043 ,  F04B43/06 ,  F15C1/08 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0021 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0055 ,  F16K99/0057 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/212 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2218 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T156/1002 ,  Y10T156/1043 ,  B29K2033/12 ,  B29K2025/06

Abstract: Plastic microfluidic structures having a substantially rigid diaphragm that actuates between a relaxed state wherein the diaphragm sits against the surface of a substrate and an actuated state wherein the diaphragm is moved away from the substrate. As will be seen from the following description, the microfluidic structures formed with this diaphragm provide easy to manufacture and robust systems, as well readily made components such as valves and pumps.

Abstract translation: 具有基本刚性的隔膜的塑料微流体结构，所述隔膜在隔膜抵靠基底表面的松弛状态和隔膜从基底移开的致动状态之间致动。 从以下描述中可以看出，用该隔膜形成的微流体结构提供了容易制造和坚固的系统，以及容易制造的部件，例如阀门和泵。