公开(公告)号：WO1997009734A1

公开(公告)日：1997-03-13

申请号：PCT/IB1996000871

申请日：1996-08-29

Applicant: PHILIPS ELECTRONICS N.V. ,  PHILIPS NORDEN AB

Inventor： PHILIPS ELECTRONICS N.V. ,  PHILIPS NORDEN AB ,  GEHRING, Frederik, Christiaan ,  VAN ZUTPHEN, Tom ,  MANENSCHIJN, Albert

IPC: H01J29/46

CPC classification number: H01J29/488 ,  H01J3/029 ,  H01J2201/308

Abstract: Electron-optical device having two elongate emitting regions arranged symmetrically with respect to a longitudinal axis for producing two electron beams having an elongate cross section. By means of electron grids, the two beams are focused at the same point of an electron target arranged transversely to the longitudinal axis and having a short central axis and a long central axis. The elongate emitting regions have their smallest cross section parallel to the scanning direction of a device, cooperating with the electron-optical device, for scanning a target arranged transversely to the longitudinal axis.

Abstract translation: 电子 - 光学器件具有相对于纵向轴线对称布置的两个细长发射区域，用于产生具有细长横截面的两个电子束。 通过电子栅格，两个光束聚焦在横向于纵向轴线布置并具有短的中心轴和长的中心轴的电子靶的相同点上。 细长发射区域具有平行于装置的扫描方向的最小横截面，与电子 - 光学装置配合，用于扫描横向于纵向轴线布置的靶。

公开(公告)号：JP2017502469A

公开(公告)日：2017-01-19

申请号：JP2016544063

申请日：2014-12-22

Applicant: マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

Inventor： ディヌ−グールトレル、ローラ ,  ホガーボルスト、エリック・ペトルス

IPC: H01J37/06 ,  G03F7/20 ,  H01J1/20 ,  H01J1/28 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/3174 ,  G03F7/70058 ,  H01J1/15 ,  H01J1/28 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J37/075 ,  H01J37/3177 ,  H01J2229/481 ,  H01J2237/061

Abstract: 本発明は、電子を放出するための放出表面が設けられた放出部分と、加熱されたとき、放出部分に向かって拡散して放出表面から第1の蒸発速度(Φc)で発せられる仕事関数低下粒子を放出する材料を保持するためのリザーバーとを有する熱電子陰極と、陰極の放出表面から放出された電子を集束させるための集束表面を有する集束電極と、集束表面上の仕事関数低下粒子の蓄積が防止される温度に集束表面を保つように構成された調整可能な熱源とを具備する陰極構成体に関する。

Abstract translation: 本发明包括被设置用于当被加热时，功函数在从排出表面的第一蒸发速率降低发射到朝向释放部分扩散发射电子发射表面的释放部分（.PHI.c） 具有用于保持发射的粒子，其具有用于聚焦从阴极的发射表面发射的电子的聚焦表面的聚焦电极的材料的贮存器中的热离子阴极，功函数的聚焦表面上降低颗粒 包括被配置为保持存储的聚焦表面温度可调节的热源防止阴极结构涉及。

公开(公告)号：JP2005011585A

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：JP2003172369

申请日：2003-06-17

Applicant: Toshiba Corp ,  株式会社東芝

Inventor： ONO OSAMU

IPC: H01J29/04 ,  H01J3/02 ,  H01J23/08 ,  H01J29/48

CPC classification number: H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J29/488

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cathode-ray tube with high contrast (high brightness) and high resolution. SOLUTION: An electron beam generating part of an electron gun structure is provided with at least a cathode K emitting electron beam and a control electrode G1 arranged at a phosphor screen side of the cathode K. A cathode face 22 of the cathode K facing the control electrode G1 is of a concave shape at its center part 22C. The electron beams emitted from the cathode face 22 form a crossover crossing a tube axis O, and at the same time, a crossover position of the electron beams emitted from the center part 22C of the cathode face 22 is different from that of the electron beams emitted from a part distant from axis 22P of the cathode face 22. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：提供具有高对比度（高亮度）和高分辨率的阴极射线管。 解决方案：电子枪结构的电子束产生部分至少设置有阴极K发射电子束和布置在阴极K的荧光屏侧的控制电极G1。阴极K的阴极面22 控制电极G1在其中心部分22C处是凹形的。 从阴极面22发射的电子束形成与管轴O交叉的交叉，同时，从阴极面22的中心部22C发射的电子束的交叉位置与电子束的交叉位置不同 从远离阴极面22的轴线22P的部分发射。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：JPS59123200A

公开(公告)日：1984-07-16

申请号：JP23263783

申请日：1983-12-09

Applicant: Ca Atomic Energy Ltd

Inventor： RONARUDO EMU HATSUCHIEON

IPC: H01J37/06 ,  H01J3/02 ,  H05H7/08

CPC classification number: H01J3/029

公开(公告)号：JP2004253395A

公开(公告)日：2004-09-09

申请号：JP2004089139

申请日：2004-03-25

Applicant: Advantest Corp ,  株式会社アドバンテスト

Inventor： FROSIEN JUERGEN DR ,  LANIO STEFAN DR ,  SCHOENECKER GERALD DR

IPC: H01J37/06 ,  H01J3/02 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J37/145

CPC classification number: H01J3/029 ,  H01J37/063

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gun lens that has high luminance, a low aberration coefficient, and a high spatial resolution, and a particle beam device equipped with the gun lens.
SOLUTION: The gun lens (1, 1', 1") for generating the particle beam comprises a negative electrode (2), an extraction electrode (3), a positive electrode (4), and a condenser lens (5), and a deceleration field is generated between the extraction electrode (3) and the positive electrode (4), and a magnetic field (6) superimposed on the negative electrode (2), extraction electrode (3), and positive electrode (4) is formed by the condenser lens (5).
COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

公开(公告)号：JPWO2002027745A1

公开(公告)日：2004-02-05

申请号：JP2002531439

申请日：2001-09-27

Applicant: シャープ株式会社

Inventor： 井出　哲也 ,  澤幡　純一 ,  浦山　雅夫

IPC: H01J1/304 ,  H01J3/02 ,  H01J29/46 ,  H01J29/48 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J29/488 ,  H01J1/304 ,  H01J3/021 ,  H01J3/029 ,  H01J29/467 ,  H01J2329/00

Abstract: 電子ビームの利用効率を向上することができ、簡単な構造により実現することができる冷陰極電子源を提供する。本発明の冷陰極電子源は、基板2上に絶縁層3を介して形成されたゲート電極4と、該絶縁層3及びゲート電極4を貫通して設けられゲート開口部に設けられたエミッタ6とを備え、該エミッタ6からの電子放出時には、アノード−エミッタ間距離をHa[μm]、アノード−エミッタ間電圧をVa[V]、ゲート−エミッタ間距離をHg[μm]、ゲート−エミッタ間電圧をVg[v]とした場合、10[V/μm]≧(Va−Vg)/(Ha−Hg)≧Vg/Hgを満たし、さらにVg/Hg[V/μm]≧Va×10−4×(9.7−1.3×ln(Hg))×(1000/Ha)0.5を満たす。

公开(公告)号：JP3359677B2

公开(公告)日：2002-12-24

申请号：JP11093

申请日：1993-01-04

Applicant: コミツサリア タ レネルジー アトミーク

Inventor： ピイ クリストフ ,  ルル チェリー

IPC: H01J1/304 ,  H01J3/02 ,  H01J3/18 ,  H01J3/30

CPC classification number: H01J3/022 ,  H01J3/029

公开(公告)号：JP2018032861A

公开(公告)日：2018-03-01

申请号：JP2017171156

申请日：2017-09-06

Applicant: マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

Inventor： ローラ・ディヌ−グールトレル ,  エリック・ペトルス・ホガーボルスト

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/06 ,  H01J1/28 ,  H01J1/20 ,  H01J3/18 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/3174 ,  G03F7/70058 ,  H01J1/15 ,  H01J1/28 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J37/075 ,  H01J37/3177 ,  H01J2229/481 ,  H01J2237/061

Abstract: 【課題】より長期間、改善された寿命にわたって良好な性能を有する電子ビームリソグラフィ用の電子銃熱電子陰極を提供する。 【解決手段】電子を放出するための放出表面32が設けられた放出部分30と、加熱されたとき放出部分に向かって拡散して放出表面から第1の蒸発速度で発せられる仕事関数低下粒子70を放出する材料を保持するためのリザーバー38とを有する熱電子陰極と、陰極の放出表面から放出された電子を集束させるための集束表面を有する集束電極40と、集束表面上の仕事関数低下粒子の蓄積が防止される温度に集束表面を保つように構成された調整可能な熱源50とを具備する陰極構成体20を設ける。 【選択図】図1a

公开(公告)号：JP4180854B2

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：JP2002207291

申请日：2002-07-16

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社アドバンテスト ,  株式会社日立製作所

Inventor： 岳士 原口 ,  洋也 太田 ,  昌彦 奥貫 ,  徳郎 斉藤 ,  明佳 谷本 ,  真樹 高桑

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01J1/46 ,  H01J3/02 ,  H01J29/46 ,  H01J37/06 ,  H01J37/07 ,  H01J37/09 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3177 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J37/07 ,  H01J37/09

公开(公告)号：JP3558325B2

公开(公告)日：2004-08-25

申请号：JP35187297

申请日：1997-12-22

Applicant: 株式会社アドバンテスト

Inventor： シェーネッカー ゲラルド ,  ラニオ シュテファン ,  フロジエン ユルゲン

IPC: H01J37/06 ,  H01J3/02 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J37/145

CPC classification number: H01J3/029 ,  H01J37/063