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公开(公告)号：CN1209788C
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN01800867.4
申请日：2001-04-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01J33/00
Abstract: 一种用于电子束辐射的方法和设备(11)，其中，三角波发生器(22)用于提供三角波电流给扫描线圈(17)，以在第一扫描方向(Y)上移动电子束；方波发生器(21)用于提供方波电流给偏转线圈(16)，以在垂直于第一扫描方向(Y)的第二扫描方向(X)上移动电子束；三角波发生器提供的三角波电流被调制，以消除扫描线圈的磁滞效应。此外，相对于三角波电流的峰值，方波电流上升沿被同步并偏移一个预定时期，以便沿第二扫描方向分散电子束路径上的折返点。
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公开(公告)号：CN1366705A
公开(公告)日：2002-08-28
申请号：CN01800867.4
申请日：2001-04-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01J33/00
Abstract: 一种用于电子束辐射的方法和设备(11),其中,三角波发生器(22)用于提供三角波电流给扫描线圈(17),以在第一扫描方向(Y)上移动电子束;方波发生器(21)用于提供方波电流给偏转线圈(16),以在垂直于第一扫描方向(Y)的第二扫描方向(X)上移动电子束;三角波发生器提供的三角波电流被调制,以消除扫描线圈的磁滞效应。此外,相对于三角波电流的峰值,方波电流上升沿被同步并偏移一个预定时期,以便沿第二扫描方向分散电子束路径上的折返点。
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公开(公告)号：KR100290829B1
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1019990010396
申请日：1999-03-25
Applicant: 사단법인 한국가속기 및 플라즈마 연구협회
IPC: H05H5/00
CPC classification number: G21K5/04 , H01J33/00 , H01J35/14 , H01J2235/083 , H01J2235/1006 , H05H7/18
Abstract: 10 MeV 급의에너지와수 kW 이상의출력을가지는연속운전이가능하고가속공동내에전자빔의교차가이루어지지않는전자빔가속기와이로부터인출된전자빔을이용하여전자빔및 엑스선을공간적으로균일하게조사할수 있는조사장치로이루어진전자빔원 및엑스선원을제공하기위하여, 동축가속공동과, 상기동축가속공동내에 TM모드의전자장을형성하는 RF시스템을포함하는 TM모드를가속모드로사용하는가속기와; 상기가속기에서가속된전자를횡방향및 종방향으로모두편향시키고전자빔의궤도를상기인출창의중심을향해반경방향으로입사하도록전자빔을유도하는수단을포함하는조사장치를포함하는엑스선원및 전자선원을개시한다. .
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公开(公告)号：KR1020160032715A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：KR1020157037295
申请日：2014-10-17
Applicant: 화중과기대
CPC classification number: H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
Abstract: 본발명은일의종전자빔확산단면수정장치및 그방법을제공하는바, 구체적으로: 2개조의영구자성철을포함한다. 제1조영구자성철로구성된자기장이전자빔을근사한타원형으로확산시키고, 제2조영구자성철로구성된자기장은전자빔변두리에대한수정을하여근사한직사각형을형성한다. 4개의종향포지션연결장치에대한조작을통해제1조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 타원형과근사한전자빔에대한 1차종향압축을하며, 이어서제2조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 직사각형과근사한전자빔에대해전자빔종향사이즈가 80mm로압축될때까지 2차종향압축을계속한다. 본발명은확산후의전자빔종향사이즈에대한합리한압축을통해최고의조사균일도와조사효율을보장하는외에종래의티타늄윈도우의설정범위내에서유지할수도있다.
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公开(公告)号：KR1020140106429A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：KR1020140021360
申请日：2014-02-24
Applicant: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
Inventor： 미야모토노부오
IPC: H01J37/305 , H01L21/027
CPC classification number: H01J37/304 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/26 , H01J37/06 , H01J37/07 , H01J37/3174 , H01J2237/0653 , H01J2237/24585 , H01J2237/30461 , H01J37/305 , H01J33/00 , H01L21/027
Abstract: A method to adjust the operating temperature of cathodes given in an aspect of the present invention includes: acquiring an approximate equation approximating a correlation between an emission current value in an electron beam source using a cathode, and an operating temperature of the cathode at which a bias voltage becomes saturated on the emission current; measuring the current density of an electron beam from the cathode in a state where an n^th (n is an integer) emission current value and an n^th cathode operating temperature are set in the electron beam source; determining whether the measured current density is within a tolerance range; changing the n^th emission current value to an (n+1)^th emission current value if the measured current density is not within the tolerance range; calculating the operating temperature of the cathode corresponding to the (n+1)^th emission current value using the approximate equation; and setting the calculated operating temperature as an (n+1)^th cathode operating temperature in the electron beam source.
Abstract translation: 调整本发明一方面给出的阴极的工作温度的方法包括：获取接近于使用阴极的电子束源中的发射电流值之间的相关性的近似方程，以及阴极的工作温度 偏置电压在发射电流上饱和; 在电子束源中设定第n（n是整数）发射电流值和第n个阴极工作温度的状态下测量来自阴极的电子束的电流密度; 确定所测量的电流密度是否在公差范围内; 如果测得的电流密度不在公差范围内，则将第n个发射电流值改变为第（n + 1）个发射电流值; 使用近似等式计算对应于第（n + 1）个发射电流值的阴极的工作温度; 并将计算出的工作温度设定为电子束源中的第（n + 1）第n个阴极工作温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020010051635A
公开(公告)日：2001-06-25
申请号：KR1020000066986
申请日：2000-11-11
Applicant: 우시오덴키 가부시키가이샤
Inventor： 고모리미노루
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01J33/00 , B05D3/068 , B41M7/0081
Abstract: PURPOSE: To make it possible to process a work, regardless of a thick body or large body, by casting large energy an electron beam to the work even when the length between an vacuum tube type electron beam tube and the work is long. CONSTITUTION: An electron beam cast from an electron beam tube 3 (EB tube) is passed through a window 4 to the inside of a process chamber 5 and cast onto an irradiating object 2 like resist or ink on a work 1. The inside of the process chamber 5 has an atmosphere of gases, such as helium, a mixed gas of nitrogen and helium, neon, and the like with density lower than air (nitrogen). Since there is the gas with density lower than the air (nitrogen) in the process chamber 5, the attainable length of the electron beam from the electron beam tube is made long or its attainable range is made large.
Abstract translation: 目的：即使在真空管式电子束管和工件之间的长度较长的情况下，通过将大量能量的电子束投射到工件上，无论厚体或大体如何，都可以处理工件。 构成：从电子束管3（EB管）铸造的电子束通过窗口4到达处理室5的内部并且投射到像工件1上的抗蚀剂或油墨的照射物体2上。 处理室5具有诸如氦气，氮和氦，氖等的混合气体的密度低于空气（氮）的气氛。 由于存在密度低于处理室5中的空气（氮）的气体，所以能够使来自电子束管的电子束的可达到的长度变长，或者使其可达到的范围变大。
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公开(公告)号：KR101681000B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020157037295
申请日：2014-10-17
Applicant: 화중과기대
CPC classification number: H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
Abstract: 본발명은일의종전자빔확산단면수정장치및 그방법을제공하는바, 구체적으로: 2개조의영구자성철을포함한다. 제1조영구자성철로구성된자기장이전자빔을근사한타원형으로확산시키고, 제2조영구자성철로구성된자기장은전자빔변두리에대한수정을하여근사한직사각형을형성한다. 4개의종향포지션연결장치에대한조작을통해제1조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 타원형과근사한전자빔에대한 1차종향압축을하며, 이어서제2조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 직사각형과근사한전자빔에대해전자빔종향사이즈가 80mm로압축될때까지 2차종향압축을계속한다. 본발명은확산후의전자빔종향사이즈에대한합리한압축을통해최고의조사균일도와조사효율을보장하는외에종래의티타늄윈도우의설정범위내에서유지할수도있다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于优化电子束的扩散部分的装置，包括两组永久磁体，由四个磁极形成的磁场，其沿纵向方向延伸电子束，并且沿横向压缩电子束，因此 电子束变成近似椭圆; 由八个磁极形成的另一个磁场将分散的电子束束的边缘优化成近似矩形; 通过控制四个纵向连接机构，使得第一组永磁体的上磁轭和下磁轭同步向其中心移动，从而纵向压缩近似椭圆形的电子束，并且上磁轭 并且第二组永磁体的下磁轭朝向其中心同步移动，从而纵向压缩大致矩形的电子束，并且重复纵向压缩的过程，直到电子束束的纵向尺寸 减至80毫米。 本发明能够将扩散后的电子束束的纵向尺寸合理地压缩至大约80mm，这确保了最佳的照射均匀性和效率，并且使纵向尺寸在常规的钛合金窗口的范围内，
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公开(公告)号：KR1020160067356A
公开(公告)日：2016-06-14
申请号：KR1020140172642
申请日：2014-12-04
Applicant: 한국원자력연구원
CPC classification number: G01N23/222 , G01T3/00 , G21G4/02 , G21K5/00 , H01J33/00 , H05H3/06 , Y10S977/742
Abstract: 본발명은중성자감속시간이용핵분열성물질정량분석장치에관한것으로서, 더욱상세하게는전자총및 Pre-buncher/Buncher를통해발생시킨고에너지전자와, 중성자선원으로사용되는금속판간의 (e,γ)(γ,n)반응을통해발생한고속중성자를, 고원자량감속매질에통과시켜열외중성자로감속시킨후, 측정하고자하는샘플물질에입사시켜, 샘플내 핵분열성물질의핵분열을유도하고, 이때 발생한핵분열중성자의발생률을측정/분석함으로써샘플내 핵분열성물질함량을동위원소별로계측할수 있는중성자감속시간이용핵분열성물질정량분석장치를제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于易裂变材料的减速时间光谱仪，更具体地说，涉及一种使能够由电子枪产生的高能电子的易裂变材料的减速时间光谱仪，预聚物和聚束器，以及 在用作神经元源的金属底物之间由（e，γ）（γ，n）反应产生的高速中子通过高原子量减速介质以减速到超热中子，将其引入到样品材料 测量样品中易裂变材料的核分裂; 并测量和分析产生的裂变中子的速率，以通过同位素测量样品中的裂变材料含量。 因此，防止发明的目的是提供一种无损检测设备，其能够通过同位素对废燃料组件内的裂变材料含量进行定量分析。
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公开(公告)号：KR1020140057243A
公开(公告)日：2014-05-12
申请号：KR1020147001085
申请日：2012-07-10
Applicant: 오르보테크 엘티디. , 포톤 다이나믹스, 인코포레이티드
IPC: G01R31/305 , G01R31/26
CPC classification number: G01R1/072 , G01R31/305 , H01J33/00 , H01J2237/164
Abstract: 비-기계 접촉식 신호 측정 장치는 피시험 구조물 상에 제 1 전도체와, 상기 제 1 전도체와 접촉하고 있는 가스를 포함한다. 적어도 하나의 전자 빔이 가스로 지향되어, 상기 전자 빔이 통과하는 가스에 플라스마를 유도할 수 있다. 제 2 전도체는 플라스마와 전기적으로 접촉한다. 플라스마가 제 1 전도체 상으로 지향될 때 신호 소스는 제 1 전도체, 플라스마, 및 제 2 전도체를 통해 전기 측정 소자로 연결된다. 상기 전기 측정 소자는 신호 소스에 반응한다.
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40.发明申请
公开(公告)号：WO2016042688A1
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：PCT/JP2015/002321
申请日：2015-05-07
Applicant: HITACHI ZOSEN CORPORATION
Inventor： Bakhtari, Kaveh
Abstract: An electron beam emitter comprises an electron emission source capable of emitting electrons; a vacuum chamber containing the electron emission source; and a transmission window that keeps airtightness of the vacuum chamber and is capable of transmitting the electrons from the electron emission source. The transmission window includes a foil that transmits the electrons and a grid that does not transmit the electrons. The electron emission source includes an emission portion that emits the electrons and a non-emission portion that does not emit the electrons. The emission portion has a lower work function than the non-emission portion. The non-emission portion is prepared so as to prevent the electrons from reaching the grid.
Abstract translation: 电子束发射器包括能够发射电子的电子发射源; 包含电子发射源的真空室; 以及保持真空室的气密并且能够从电子发射源透射电子的透射窗。 透射窗包括传递电子的箔和不透射电子的栅格。 电子发射源包括发射电子的发射部分和不发射电子的非发射部分。 发光部的功函数比非发光部低。 制备非发射部分以防止电子到达电网。
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