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公开(公告)号：KR101734362B1
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020150152424
申请日：2015-10-30
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0749 , H01L31/18 , H01L31/0392
CPC classification number: H01L31/0322 , H01L31/032 , H01L31/03923 , H01L31/072 , H01L31/0749 , Y02E10/541
Abstract: 본발명은상대적으로낮은온도에서간단한공정으로고효율의 CIGS계박막을형성하는방법에관한것으로서, Ag 박막을형성하는단계; 및 Ag 박막의표면에 Cu, In, Ga 및 Se를동시진공증발법으로증착하는 ACIGS 형성단계로구성되며, 상기 ACIGS 형성단계에서, Cu, In, Ga 및 Se를증착하는과정에서 Ag 박막을구성한 Ag가모두확산되어상기동시진공증발된 Cu, In, Ga 및 Se와함께 ACIGS를형성하는것을특징으로한다. 본발명은, Ag 박막을먼저형성한뒤에 CIGS 원소를동시진공증발증착함으로써, 상대적으로낮은 400℃이하의온도에서 1단계의동시진공증발공정만으로발전효율이향상된 ACIGS 박막을형성할수 있는효과가있다. 또한, 본발명의태양전지는특유의제조방법에의해서결정성이향상된 ACIGS 박막을광흡수층을구비함으로써, 표면보이드가감소하고결정립의배향성이향상되어발전효율이향상된태양전지를제공할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020170050635A
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020150152424
申请日：2015-10-30
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0749 , H01L31/18 , H01L31/0392
CPC classification number: H01L31/0322 , H01L31/032 , H01L31/03923 , H01L31/072 , H01L31/0749 , Y02E10/541
Abstract: 본발명은상대적으로낮은온도에서간단한공정으로고효율의 CIGS계박막을형성하는방법에관한것으로서, Ag 박막을형성하는단계; 및 Ag 박막의표면에 Cu, In, Ga 및 Se를동시진공증발법으로증착하는 ACIGS 형성단계로구성되며, 상기 ACIGS 형성단계에서, Cu, In, Ga 및 Se를증착하는과정에서 Ag 박막을구성한 Ag가모두확산되어상기동시진공증발된 Cu, In, Ga 및 Se와함께 ACIGS를형성하는것을특징으로한다. 본발명은, Ag 박막을먼저형성한뒤에 CIGS 원소를동시진공증발증착함으로써, 상대적으로낮은 400℃이하의온도에서 1단계의동시진공증발공정만으로발전효율이향상된 ACIGS 박막을형성할수 있는효과가있다. 또한, 본발명의태양전지는특유의제조방법에의해서결정성이향상된 ACIGS 박막을광흡수층을구비함으로써, 표면보이드가감소하고결정립의배향성이향상되어발전효율이향상된태양전지를제공할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种通过在较低温度下的简单工艺形成高效CIGS薄膜的方法，该方法包括以下步骤：形成Ag薄膜; 和由铜，In，Ga和硒的Ag薄膜作为ACIGS形成沉积同时真空蒸镀法的步骤，在ACIGS形成工序的表面上的，配置在该过程中的Ag膜淀积的Cu，In，Ga和硒 Ag被蒸发并且ACIGS与Cu，In，Ga和Se同时蒸发形成。 本发明，是通过沉积CIGS元件handwie形成Ag薄膜的同时真空蒸发，首先，在不低于相对低的400℃这样高的温度下的发电效率仅由第1步的同时真空蒸发工艺可形成一种改进的ACIGS膜的效果。 另外，通过提供一个光吸收层，以ACIGS薄膜，由太阳能电池的制造方法提高了结晶度是本发明特有的，空隙的表面被还原成，提高了晶粒的取向，它可以提供发电效率的效果得到提高的太阳能电池 有。
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公开(公告)号：KR101723096B1
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：KR1020150159160
申请日：2015-11-12
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/032 , H01L31/0216 , H01L31/0392 , H01L31/0236 , H01L31/18 , H01L31/04 , H01L31/0224
CPC classification number: H01L31/0324 , H01L21/02568 , H01L21/02623 , H01L31/18 , H01L31/1864
Abstract: 본발명은태양전지의광흡수층에적합한칼코겐화합물박막을형성하는방법에관한것으로, Sn 전구체물질과 S 전구체물질을포함하는전구체액을제조하는단계; 상기전구체액을도포하여전구체막을형성하는단계; 및상기전구체막을열처리하는단계;를포함하여구성되며, 상기 Sn 전구체물질과상기 S 전구체물질이액체상태의물질인것을특징으로한다. 본발명은, 액체상태의전구체물질을사용하여황화열처리공정없이칼코겐화합물박막을형성하는방법을제공함으로써, 고품질의 SnS 박막을비용이낮고대량생산에적합한공정으로형성할수 있는뛰어난효과를나타낸다. 또한, 대량생산에적합한공정으로광흡수층을형성함으로써, 칼코겐화합물박막태양전지를낮은비용으로제조할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种形成适用于太阳能电池的光吸收层的硫族化合物薄膜的方法，包括以下步骤：制备含有Sn前体材料和S前体材料的前体流体; 施加前体流体以形成前体膜; 并且热处理前体膜，其中Sn前体材料和S前体材料是液体材料。 本发明中，通过使用前体材料在液体状态，以形成硫属化物薄膜，而不硫化物热处理过程中提供的方法中，显示出优异的效果，即可以形成用于大量生产高品质的SnS薄膜低成本一个合适的工艺。 此外，通过在适于批量生产的工艺中形成光吸收层，可以低成本地制造硫属化合物化合物薄膜太阳能电池。
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公开(公告)号：KR101680258B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020150112703
申请日：2015-08-10
Applicant: 한국에너지기술연구원
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/14 , C23C14/30
Abstract: 본발명은 Al에대해서도안정적인증발효율과내구성을나타내는도가니에관한것으로, 전자빔증발증착장치의증발원에사용되는도가니로서, 측벽과바닥으로구성되고, 안쪽공간에증착물질이위치하는보관부; 및측벽과바닥으로구성되고, 상기보관부의바깥쪽에결합되며, 상기보관부의측벽보다측벽의높이가더 높은웨팅(Wetting)방지부를포함한다. 본발명은, 측벽의높이가상대적으로더 높은웨팅방지부를구비함으로써, 안쪽에위치하는보관부의측벽범위에서만 Al 웨팅이발생하여도가니의사용수명이늘어나는효과가있다. 또한, 웨팅방지를위한세라믹재질과의접촉을최소화함으로써, 증착된 Al에불순물이포함되어박막의물성의저하되는것을방지할수 있는효과가있다. 최종적으로, 도가니교체없이고품질의 Al 박막을반복적으로형성할수 있는전자빔증발증착장치를제공한다.
Abstract translation: 公开了一种在电子束蒸发器的蒸发源中使用表现出稳定的蒸发效率和相对于Al的耐久性的坩埚，并且包括包括壁和底部并且沉积材料放置在其中的存储单元 以及包括比存储单元的壁高的另一壁和另一底部的润湿防止单元，并且与存储单元的外部组合。 设置润湿防止单元，使得只有存储单元的壁被Al润湿，因此，坩埚的寿命被延长。 此外，为了防止润湿，与陶瓷材料的接触最小化，从而防止由于与沉积的Al混合的杂质导致的薄膜的物理性能的降低。
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公开(公告)号：KR101626929B1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：KR1020140164921
申请日：2014-11-25
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0687 , H01L31/0725
CPC classification number: H01L31/0687 , H01L31/0725 , Y02E10/544 , Y02P70/521 , H01L31/022466 , H01L31/0322 , H01L31/06875
Abstract: 본발명은화합물박막태양전지셀을복수로구비하는다중접합태양전지의제조방법에관한것으로, 기판의상면과하면에투명전극층을형성하는단계; 상기투명전극층이형성된기판의상면과하면에광흡수층을동시에형성하는단계; 상기광흡수층이형성된기판의상면과하면에버퍼층을형성하는단계; 및상기버퍼층이형성된기판의상면에전면전극을형성하고하면에후면전극을형성하는단계;를포함한다. 본발명은, 상부셀과하부셀을한쪽방향으로계속하여적층하지않고기판을중심으로위쪽과아래쪽으로각각형성함으로써, 종래에하부셀과상부셀을순차적으로제조하는경우에나중에제조되는셀의제조과정에서발생하는열에의하여먼저제조된셀의광흡수층이열화되는문제및 먼저제조된셀의광흡수층과버퍼층의계면에서발생하는손상을피할수 있는효과가있다. 또한, 상부셀과하부셀을각각제조하는경우에비하여공정수가줄어들며, 상부셀과하부셀을별도로제조하여접합하는과정에서발생하는문제를방지할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种包括多个复合薄膜太阳能电池单元的多结太阳能电池的制造方法，包括以下步骤：在基板的上表面和下表面上形成透明电极层; 同时在其上形成有透明电极层的基板的上表面和下表面上形成光吸收层; 在其上形成有光吸收层的基板的上表面和下表面上形成缓冲层; 以及在其上形成有缓冲层的基板的上表面上形成正面电极，并在下表面形成后表面电极。 本发明可以解决在传统地制造下电池和上电池的情况下，制造较晚制造电池的过程中产生的热量，早期制造的电池的光吸收层劣化的问题，以及 可以避免对早期制造的电池的光吸收层和缓冲层之间的界面的损坏，因为上电池和下电池相对于衬底形成在上侧和下侧，而不是连续堆叠 上单元和下单元。 此外，与分开制造上部单元和下层单元的情况相比，处理次数减少，并且可以防止在分离制造和接合上单元和下单元的过程中产生的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101619318B1
公开(公告)日：2016-05-10
申请号：KR1020140085798
申请日：2014-07-09
Applicant: 한국에너지기술연구원
Abstract: 본발명은다양한스펙트럼을갖는빛을출사가능한광 바이어스장치및 이를이용한태양전지분광응답측정장치에관한것이다. 본발명에의한광 바이어스장치는, 빛을발광하는바이어스광원을구비한광원부; 입사된빛이경로를따라이동되는복수의광유로가구비된광가이드부; 및상기광가이드부입구에각각위치되거나, 또는상기광가이드부에서이동되는빛의경로상에위치되거나, 또는상기광가이드부출구에각각위치되는적어도하나의광필터가구비된복수의광필터부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101584072B1
公开(公告)日：2016-01-12
申请号：KR1020140110511
申请日：2014-08-25
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/046 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은태양전지의광흡수층을제조하기위한확산방지막으로서의탄소층을이용한비진공박막형성방법에관한것으로, 보다상세하게는 CI(G)S계박막형성시 CI(G)S계와몰리브덴(Mo)층사이에탄소층이생성되게하여기판으로부터올라오는여러이온들의확산을방지하는확산방지막의역할을하는 CI(G)S계박막을형성하는방법과이를적용한태양전지에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及使用碳层作为扩散阻挡膜来制造太阳能电池的光吸收层的非真空薄膜形成方法，更具体地说，涉及一种在CI（ G）S基和钼（Mo）层，当形成基于CI（G）S的薄膜以形成用作防止几个离子扩散的扩散阻挡膜的作用的CI（G）S基薄膜 从底物; 和使用其的太阳能电池。
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