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    선택적 에미터층 제조방법, 이에 의하여 제조된 선택적 에미터층 및 이를 포함하는 실리콘 태양전지
    41.
    发明公开
    선택적 에미터층 제조방법, 이에 의하여 제조된 선택적 에미터층 및 이를 포함하는 실리콘 태양전지 有权
    用于制备选择性发射层的方法，由其制备的选择性发射层以及包含其的硅氧烷太阳电池

    公开(公告)号：KR1020130012494A

    公开(公告)日：2013-02-04

    申请号：KR1020110073761

    申请日：2011-07-25

    Applicant: 한국에너지기술연구원

    Inventor： 송희은 ,  정경택 ,  최성진 ,  이정철 ,  강기환 ,  유권종

    IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

    CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L31/04

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a selective emitter layer, the selective emitter layer manufactured thereby, and a silicon solar cell including the same are provided to have an easily controlled doping profile for the selective emitter layer by performing a high temperature heat treatment for forming a high doped region. CONSTITUTION: A p-type impurity doped crystalline silicon substrate(401) is prepared. A first impurity source is laminated on the silicon substrate. A first heat treatment is performed on the substrate including a first impurity source. A high doped region(403) of a selective emitter layer is formed on the silicon substrate. A low doped region(404) is formed on the entire substrate by using a second impurity source.

    Abstract translation: 目的：制造选择性发射极层的方法，由其制造的选择性发射极层和包括该选择性发射极层的硅太阳能电池被提供以通过进行高温热处理来形成用于选择性发射极层的容易控制的掺杂分布，以形成 高掺杂区域。 构成：制备p型杂质掺杂晶体硅衬底（401）。 在硅衬底上层叠第一杂质源。 在包括第一杂质源的衬底上进行第一热处理。 在硅衬底上形成选择性发射极层的高掺杂区域（403）。 通过使用第二杂质源在整个衬底上形成低掺杂区（404）。

    마이크로 버블을 이용한 실리콘 웨이퍼 세척 장치 및 이를 이용한 세척 방법
    45.
    发明授权
    마이크로 버블을 이용한 실리콘 웨이퍼 세척 장치 및 이를 이용한 세척 방법 有权

    公开(公告)号：KR101762350B1

    公开(公告)日：2017-07-28

    申请号：KR1020150143319

    申请日：2015-10-14

    Applicant: 한국에너지기술연구원

    Inventor： 장보윤 ,  김준수 ,  최선호 ,  송희은

    IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

    Abstract: 세척효율을향상시킬수 있는세척장치및 이를이용한세척방법에대하여개시한다. 본발명에따른마이크로버블을이용한실리콘웨이퍼세척장치는복수개의웨이퍼가부착된빔; 상기웨이퍼하부에위치하고, 복수개의노즐을포함하여버블및 세척액을상기노즐로균일하게분배시키는노즐부; 버블및 세척액을상기노즐부로이송시키는펌프; 및상기펌프와노즐부를연결하고, 버블및 세척액을임시저장하고, 순환시키는액상순환라인;을포함하고, 상기노즐은제1노즐및 제2노즐을포함하고, 상기노즐은하나의웨이퍼와다른하나의웨이퍼사이의틈 하부에위치하며, 상기버블은노즐에서분사되어하나의웨이퍼와다른하나의웨이퍼사이의틈에침투되어복수개의웨이퍼를분리하고, 상기세척액은노즐에서분사되어하나의웨이퍼와다른하나의웨이퍼사이의틈에침투되어웨이퍼표면의잔존하는미립자및 오염물을제거하는것을특징으로한다.

    재생형 바이오 연료전지
    47.
    发明公开
    재생형 바이오 연료전지 有权
    再生电化学植物细胞

    公开(公告)号：KR1020160077646A

    公开(公告)日：2016-07-04

    申请号：KR1020140187792

    申请日：2014-12-24

    Applicant: 한국에너지기술연구원

    Inventor： 김미선 ,  김민진 ,  곽지혜 ,  구기영 ,  김희연 ,  송희은 ,  황혜미

    IPC: H01M16/00 ,  H01M8/06 ,  H01M8/04 ,  H01M14/00

    CPC classification number: Y02B90/12 ,  H01M16/00 ,  H01M8/04 ,  H01M8/06 ,  H01M14/00

    Abstract: 본발명은재생형식물전지에관한것으로서, 더욱상세하게는태양광발전이가능할때는태양광을이용하여전기를생산하고, 태양광을이용하여전기를생산함과동시에생산된수소와산소를저장하며, 태양광이충분하지못하거나야간에는저장된수소/산소를연료전지에공급하여전기를생산할수 있는재생형식물전지를제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种再生植物细胞，更具体地说，涉及一种被配置为通过使用太阳光发电的再生植物细胞，当可以进行光伏发电时，存储同时由光伏发电产生的氧和氢， 将氧气和氢气储存在燃料电池中，夜间和阳光不足的时候，以产生电力。 根据本发明，再生植物细胞包括：光生电化学电池（PBEC）; 氢气储存单元; 氧气存储单元; 燃料电池单元; 储水单元; 和控制单元。

    와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치
    48.
    发明公开
    와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치 无效
    使用电线放电加工的硅晶圆切片装置

    公开(公告)号：KR1020160009816A

    公开(公告)日：2016-01-27

    申请号：KR1020140090083

    申请日：2014-07-16

    Applicant: 한국에너지기술연구원

    Inventor： 장보윤 ,  최선호 ,  송희은

    IPC: B23H7/02 ,  H01L21/301 ,  B23H7/04

    CPC classification number: B23H7/08 ,  B23H5/02 ,  B23H7/02 ,  B23H7/04 ,  B23H7/36 ,  B23H9/00

    Abstract: 실리콘잉곳을절단하여실리콘웨이퍼를제조하는웨이퍼슬라이싱장치에관한것으로, 보다상세하게는와이어방전가공을이용하여실리콘잉곳을절단하는실리콘웨이퍼슬라이싱장치에관하여개시한다. 본발명은전해액을수용하는수조; 상기수조에침지되는커팅구간을가지며와이어구동수단에의하여이송되는커팅와이어; 피절단물인실리콘잉곳이고정되는전극을구비하며, 상기실리콘잉곳을상기커팅와이어의커팅구간에서승하강시키는잉곳이송부; 상기수조에저장된전해액을순환시키며정제하는전해액순환수단; 및상기잉곳이송부에고정된실리콘잉곳과상기커팅와이어의사이에아크방전과전해분해가이루어지도록상기잉곳이송부의전극과상기커팅와이어에전원을공급하는전원공급부;를포함하는와이어방전가공을이용한실리콘웨이퍼슬라이싱장치를제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及通过切割硅锭制造硅晶片的晶片切片装置，更具体地说，涉及能够通过使用线材放电处理来切割硅锭的硅晶片切片装置。 使用线放电处理的硅晶片切片装置包括：储存电解液的水箱; 切割线，其包括浸渍在水箱中并由线操作单元传送的切割部分; 铸锭转移部分，其包括固定有硅锭，切割物体的电极，并且在切割线的切割部分中升降硅锭; 电解液循环单元循环和精制电解液，储存在水箱中; 以及电源部，其向所述切割线和所述锭转移部的电极供电，以在所述切割线和所述硅锭之间进行电解解和电弧放电，固定在所述锭转印部中。

    도금을 이용한 태양전지 제조 방법
    49.
    发明授权
    도금을 이용한 태양전지 제조 방법 有权
    使用镀层制造太阳能电池的方法

    公开(公告)号：KR101541422B1

    公开(公告)日：2015-08-03

    申请号：KR1020140058279

    申请日：2014-05-15

    Applicant: 한국에너지기술연구원

    Inventor： 송희은 ,  강민구 ,  강기환 ,  정운석 ,  이덕행 ,  김주영

    IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

    CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

    Abstract: 본발명은태양전지제조기술에관한것으로서, 더상세하게는태양전지의금속배선공정에있어서도금액에 HF를추가해서공정을줄이는태양전지제조방법에대한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用电镀制造太阳能电池的方法，更具体地说，涉及在太阳能电池的金属配线工艺中通过向电镀液中添加HF来减少工艺的太阳能电池的制造方法。 该方法包括：准备半导体衬底的步骤; 在所制备的半导体衬底的表面上形成抗蚀剂涂层的步骤; 对形成的抗蚀剂涂层进行抗蚀图形化的步骤; 以及去除抗蚀剂涂层的步骤。

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