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公开(公告)号：KR101909891B1
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：KR1020160135509
申请日：2016-10-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B01J19/08 , C01B33/029 , C01B31/06
Abstract: 본발명은나노입자제조장치및 나노입자제조방법을제공한다. 본발명의일 실시예에따른나노입자제조장치는진공용기; 상기진공용기의상부면에배치된유전체상판; 상기유전체상판상에배치되고상기진공용기내부에유도결합플라즈마를생성하는유도코일; 상기유도코일에 RF 전력을공급하는 RF 전원; 상기진공용기에배치되어나노입자를합성하는기판; 및상기기판과상기유전체상판사이에배치되고도전성메쉬를포함하는그리드구조물을포함한다.
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公开(公告)号：KR101606764B1
公开(公告)日：2016-04-11
申请号：KR1020150002679
申请日：2015-01-08
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N15/0826 , F16K51/02 , G01N25/20 , H01J49/26
Abstract: 본발명은기체투과장치를제공한다. 이기체투과장치는소정의압력으로유지되고투과기체를저장하는저장챔버; 상기저장챔버에연결된도전성의투과챔버; 상기투과챔버를가로막는투과판; 상기투과챔버의주위에배치되어상기투과챔버및 상기투과판을가열하는가열부; 상기투과판에고정되어상기투과판의온도를측정하는투과판열전대; 및상기투과판열전대의신호를처리하여상기가열부를설정온도로제어하는가열제어부를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种气体输送装置。 气体传输装置包括：保持预定压力的储存室，并储存透气; 连接到所述存储室的导电传输室; 用于阻挡传动室的传动板; 设置在所述传动室周围的加热单元，并且加热所述传动室和所述传动板; 固定在传动板上的传动板的热电偶，测量传动板的温度; 以及加热控制单元，用于通过处理传输板的热电偶的信号来控制具有设定温度的加热单元。
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公开(公告)号：KR101537661B1
公开(公告)日：2015-07-17
申请号：KR1020130148357
申请日：2013-12-02
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N15/08 , G01N15/0826
Abstract: 본발명은기체투과도측정장치및 기체투과도측정방법을제공한다. 이기체투과도측정장치는측정가스로채워지고일정한압력으로유지되는제1 챔버; 제1 챔버와직렬연결된제2 챔버; 상기제2 챔버와직렬연결된제3 챔버; 관통홀을포함하고상기제2 챔버와상기제3 챔버를서로분리하는분리판; 상기제2 챔버와상기제3 챔버의연결부위에배치되어상기분리판의관통홀을통과하는컨덕턴스를조절하는컨덕턴스조절부; 상기제3 챔버에연결되어상기제3 챔버를배기시키는진공펌프;및상기제2 챔버와상기제3 챔버의차압을측정하는차압계를포함한다. 시료는상기제1 챔버와상기제2 챔버의연결부위에배치되고, 상기측정가스는상기시료를투과하여상기제2 챔버로전달되고, 상기컨덕턴스조절부는적어도 2 개의서로다른컨덕턴스를순차적으로제공한다.
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公开(公告)号：KR1020130120577A
公开(公告)日：2013-11-05
申请号：KR1020120043580
申请日：2012-04-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/24 , H05H1/46 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/32458 , H01J37/32532 , H01J37/32541 , H01J37/32577 , H01J37/32669 , H05H1/46
Abstract: The present invention is to provide a plasma generation apparatus and a plasma generation method. The plasma generation apparatus includes a tube-type discharging chamber electrically grounded, at least one electron emission unit arranged in the discharging chamber, and a center electrode arranged in the center region of the discharging chamber and applying a positive first voltage.
Abstract translation: 本发明提供一种等离子体产生装置和等离子体产生方法。 该等离子体产生装置包括：电子接地的管式放电室，布置在放电室中的至少一个电子发射单元和布置在放电室的中心区域中并施加正的第一电压的中心电极。
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Patent Agency Ranking46.发明公开수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 내부압력 및 진공도 측정방법 有权用于测量内压的方法和装置，包括多孔或弹性材料的密封组件的真空度
公开(公告)号：KR1020130033098A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：KR1020110096964
申请日：2011-09-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A device for measuring the inner pressure and the vacuum degree of a flexible sealant sealed a shrinkable-porous material and a method using the same for measuring the inner pressure and the vacuum degree are provided to measure changes in the vacuum degree based on the initial pressure and the initial vacuum degree of the insides of two different containers, thereby accurately measuring the inner volume, the inner pressure, the inner cubature, and inner vacuum degree of the sealant based on the measured value. CONSTITUTION: A device(1) for measuring the inner pressure and the vacuum degree of a flexible sealant sealed a shrinkable-porous material comprises a container(20), a pressure regulating device(40), a pressure sensor(30), a sealant sample, and a cutting unit. The container includes an internal space. The pressure regulating device regulates the inner pressure of the container. The pressure sensor measures the inner pressure of the container. The sealant sample is arranged inside the container and includes a packing material of a flex material which maintains the shrinkable-porous material being shrank. The cutting member cuts the sealant sample inside the container. The inner pressure of the sealant sample is measured based on changes in the inner pressure of the sealant sample after the sealant sample is cut by the cutting member.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量柔性密封件的内部压力和真空度的装置密封可收缩多孔材料，并且提供了一种用于测量内部压力和真空度的方法，以测量真空度的变化，基于 初始压力和两个不同容器内部的初始真空度，从而基于测量值精确测量密封剂的内部容积，内部压力，内部立方和内部真空度。 构成：用于测量密封可收缩多孔材料的柔性密封剂的内部压力和真空度的装置（1）包括容器（20），压力调节装置（40），压力传感器（30），密封剂 样品和切割单元。 容器包括内部空间。 压力调节装置调节容器的内部压力。 压力传感器测量容器的内部压力。 密封剂样品布置在容器内部并且包括使收缩性多孔材料收缩的柔性材料的包装材料。 切割构件将密封剂样品切割在容器内。 密封剂样品的内部压力是根据密封剂样品在切割构件切割后的内部压力的变化来测量的。
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公开(公告)号：KR101211635B1
公开(公告)日：2012-12-18
申请号：KR1020100094125
申请日：2010-09-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은차압계교정장치, 차압계교정방법, 압력계교정장치, 및압력계교정방법을제공한다. 이차압계교정장치는제1 용기, 제1 용기에이격되어배치된제2 용기, 제1 용기의일측에배치된체적변조부, 및제1 용기및 제2 용기에연결된차압계를포함한다. 체적변조부는시간에따라제1 용기의체적을변화시키고차압계의측정신호를교정한다.
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公开(公告)号：KR101106685B1
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：KR1020090067270
申请日：2009-07-23
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 진공 펌프, 그 동작 방법, 및 가스 이동 장치를 제공한다. 이 진공 펌프는 주 용기에 연결된 메인 밸브, 주 용기의 기체를 배기하는 배기 밸브, 및 메인 밸브 및 배기 밸브 사이에 배치되는 펌핑 용기 및 펌핑 용기를 가열 및 냉각하는 온도 조절부를 포함하는 열 펌핑부을 포함한다. 주 용기의 기체는 배기 밸브를 통하여 배출된다.
가열 냉각, 진공 펌프, 열전 소자, 열 교환-
公开(公告)号：KR101063089B1
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：KR1020090104757
申请日：2009-11-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법을 제공한다. 이 탈기체 측정 장치는 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브, 투명 튜브를 감싸도록 배치되고 튜명 튜브 내부에 배치된 시료에 적외선을 방출하여 가열하는 적외선 가열부, 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 보조 챔버와 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스(conductance)를 조절하는 조리개(orifice), 보조 챔버에 연결되어 보조 챔버 내부를 배기하는 배기부, 보조 챔버내부의 압력을 측정하는 보조 진공계, 및 메인 챔버의 압력을 측정하는 메인 진공계를 포함한다.
탈기체, 열탈착, 질량분석, 적외선 가열, 튜명 튜브-
公开(公告)号：KR1020110027454A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：KR1020090085552
申请日：2009-09-10
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/32935 , H01J37/3211 , H01J37/32972 , H05H1/0037 , H05H1/46 , H05H2001/4667
Abstract: PURPOSE: A plasma monitoring device, a plasma monitoring method, and a plasma device are provided to measure a cutoff frequency or electron density by measuring the phase of an electromagnetic wave passing through plasma. CONSTITUTION: A transmission antenna(120) is inserted into plasma in order to radiate an electromagnetic wave. A reception antenna(140) is inserted into plasma. The receiving antenna supplies a reception electric signal by receiving the electromagnetic wave. A variable frequency oscillator(20) is electrically connected to the transmission antenna and supplies a transmission electric signal to generate the electromagnetic wave. A phase difference extracting unit(30) is connected to the reception antenna. The phase difference extracting unit extracts the phase difference spectrum of the transmission electric signal and the reception electric signal.
Abstract translation: 目的：提供等离子体监测装置，等离子体监测方法和等离子体装置，通过测量通过等离子体的电磁波的相位来测量截止频率或电子密度。 构成：为了辐射电磁波，将发射天线（120）插入等离子体。 接收天线（140）插入等离子体。 接收天线通过接收电磁波来提供接收电信号。 变频振荡器（20）电连接到发射天线，并提供发射电信号以产生电磁波。 相位差提取单元（30）连接到接收天线。 相位差提取单元提取发送电信号和接收电信号的相位差谱。
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