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公开(公告)号：CN101513990B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200910004248.4
申请日：2009-02-18
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B81B3/0008 , B81B2201/032 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094
Abstract: 本发明解决驱动电压偏移、电极的粘着等问题，由此，提供一种经时变化小、具有稳定的驱动特性的压电驱动方式的致动器。本发明提供一种致动器，具备：基板；设置在上述基板的主面上的固定电极；设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜；与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁；设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极；以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。
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公开(公告)号：CN102323665A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110265538.1
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN101027741B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200580029357.1
申请日：2005-08-31
Applicant: 爱德万测试株式会社
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , G02B26/0866 , H01H61/02 , H01H2061/006
Abstract: 一种双压电晶片元件，具备：氧化硅层；高膨胀率层，其形成在氧化硅层上且具有较此氧化硅层的热膨胀率还高的热膨胀率；以及变形防止层，其覆盖氧化硅层的表面，以防止氧化硅层由于经常变化所形成的变形。变形防止层相对于水份和氧的透过率亦可较氧化硅层还低，变形防止层亦可以是一种以较形成氧化硅层时还高的能量来进行成膜时所形成的氧化硅，变形防止层亦可为氮化硅层或金属层。
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公开(公告)号：CN101661989A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200910167553.5
申请日：2009-08-24
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/24 , G01P3/44
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0207 , B81B2201/0235 , B81B2201/032 , G01C19/56 , G01C25/00 , H01L41/0933 , H01L41/1132 , H01L41/1136 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 本发明公开了压电装置、角速度传感、电子设备以及压电装置制造方法，其中，压电装置包括：基板、第一电极膜、压电膜和第二电极膜。第一电极膜形成在基板上。压电膜通过Pb 1+X (Zr Y Ti 1-Y )O 3+X (0≤X≤0.3，0≤Y≤0.55)来表示并且通过X射线衍射法测量的烧绿石相的峰值强度相对于钙钛矿相的(100)平面取向、(001)平面取向、(110)平面取向、(101)平面取向以及(111)平面取向的峰值强度的和为10％以下，压电膜以400nm以上1,000nm以下的膜厚形成在第一电极膜上。第二电极膜层压在压电膜上。通过本发明，由于具有了良好的压电特性和耐热性，所以可以提供高可靠性。
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公开(公告)号：CN1310057C
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN03148097.7
申请日：2003-06-27
Applicant: 索尼公司
CPC classification number: G02B26/0866 , B81B3/0051 , B81B2201/032 , B81B2201/042 , B81B2203/058
Abstract: 一种热驱动微反射镜包括反射镜表面和具有用于支承反射镜表面的多层结构的支承构件部分。该支承构件部分在通电时产生热量，因为在多层结构中热膨胀系数不同，所以造成支承构件部分偏转，因而可以使反射镜表面倾斜任意角度。该支承构件部分配置在反射镜表面用于施加电的电极部分之间。该支承构件部分的纵轴垂直于反射镜表面的中心轴，而该支承构件部分的纵向中心基本上位于反射镜表面的中心轴上。因此，反射镜表面的转动轴不位移，在反射镜表面的光反射位置不移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1143135C
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：CN00133178.7
申请日：2000-10-27
Applicant: 森桑诺尔有限公司
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B3/0072 , B81B2201/032 , B81B2203/0109 , G01C19/5755 , G01P1/006 , G01P15/0802 , G01P2015/0828 , Y10S73/01
Abstract: 微型机械传感器的应力释放组件的一种基座部件及其制造方法，特别是加速度传感器，角速度传感器，倾斜传感器和角加速度传感器。采用至少一个硅地震震动质量作为传感元件。通过至少一个装配基座将至少一个硅地震震动质量与硅框架接合，基座的表面接合到一个玻璃或硅制的覆盖晶片上。
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公开(公告)号：CN1364141A
公开(公告)日：2002-08-14
申请号：CN01800473.3
申请日：2001-03-08
Applicant: 大研化学工业株式会社 , 中山喜万
IPC: B82B1/00
CPC classification number: B25J7/00 , B81B2201/032 , B81B2201/12 , B81B2203/0118 , B81C99/002 , B82B3/00 , G01Q80/00 , Y10S977/732 , Y10S977/734 , Y10S977/742 , Y10S977/778 , Y10S977/78 , Y10S977/837 , Y10S977/842 , Y10S977/858 , Y10S977/863 , Y10S977/875 , Y10S977/876 , Y10S977/89 , Y10S977/901 , Y10S977/962
Abstract: 静电方式的纳米镊子2的特征在于:由在棱锥部6固定地凸设基端部的多个纳米管、对这些纳米管表面进行绝缘覆盖的涂覆被膜、及连接于其中2根纳米管8、9的导线10、10构成,通过在该导线间加电压,可由静电引力使上述2根纳米管的前端间自由开闭,在其间把持纳米物质。另外,如在纳米管9的表面形成压电膜32,使压电膜伸缩,可自由开闭上述纳米管的前端间,则不论是绝缘体、半导体、导电体,都可对任意的纳米物质进行处理。另外,如以静电方式自由开闭3根纳米管,则可处理球状、杆状等任意形状的纳米物质。另外,与3维驱动机构进行组合构成纳米机械手,可容易地进行纳米物质的把持、移动、放出。
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公开(公告)号：CN1319943A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN01103365.7
申请日：2001-02-02
Applicant: 克罗诺斯集成微系统公司
Inventor： 爱德华·阿瑟·西尔 , 维加亚库马尔·鲁德拉帕·德胡勒
IPC: H02N10/00
CPC classification number: B81B3/004 , B81B2201/032 , B81B2203/0109 , B81B2203/033 , B81B2203/058 , G02B7/1821 , G02B26/0816 , H01H1/0036 , H01H61/00 , H01H2001/0063 , H01H2061/006
Abstract: 一种微型机械系统,可以包括一个基体、一个执行机构和一个受动元件。具体说来,该执行机构可以包括一个由交替的主动段和反向段组成的盘旋结构,其第一端锚固在基体上,其中的主动段响应其上的作用而偏折,从而使盘旋结构的第二端在主动段偏折时相对于基体运动。受动元件被固定在盘旋结构的第二端,使得受动元件在主动段偏折时相对于基体而运动。相关的方法和执行机构也作了讨论。
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公开(公告)号：CN1294303A
公开(公告)日：2001-05-09
申请号：CN00133178.7
申请日：2000-10-27
Applicant: 森桑诺尔有限公司
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B3/0072 , B81B2201/032 , B81B2203/0109 , G01C19/5755 , G01P1/006 , G01P15/0802 , G01P2015/0828 , Y10S73/01
Abstract: 微型机械传感器的应力释放组件的一种基座部件及其制造方法,特别是加速度传感器,角速度传感器,倾斜传感器和角加速度传感器。采用至少一个硅地震震动质量作为传感元件。通过至少一个装配基座将至少一个硅地震震动质量与硅框架接合,基座的表面接合到一个玻璃或硅制的覆盖晶片上。
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公开(公告)号：CN1278326A
公开(公告)日：2000-12-27
申请号：CN98810725.2
申请日：1998-11-05
Applicant: 北卡罗来纳州微电子中心
CPC classification number: F03G7/06 , B81B3/0024 , B81B2201/032 , B81B2201/054 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , G02B6/3803 , G02B6/4226 , H01H1/0036 , H01H9/14 , H01H61/00 , H01H2001/0042 , H01H2001/0068 , H01H2061/006
Abstract: 本发明可提供一种可以担负得起,可重复和可靠地制造并可在X,Y和Z每个方向上对对象进行精确微观定位的微型机电定位设备。微型机电定位设备包括一个参照面,配置于参照面上的固定位置处的支板以及靠近支板并且至少在参照面一部分的上方悬置的平台。该平台具有第一和第二主平面并确定XY平面。此平台通常是借助一个或多个在支板和平台之间延伸的弹簧悬置于参照面的上方,使第一主平面对着参照面。通常待定位或对准的对象,如光纤等等,是固定于平台的第二主平面的位置以便可通过相应的移动或定位此平台使对象得到精确的定位。
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