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公开(公告)号：CN105439441B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号：CN107250071A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580075988.0
申请日：2015-12-09
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B25/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/14 , C03B2201/23 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03C3/112 , C03C4/00 , C03C2201/12 , C03C2201/14 , C03C2201/32 , C03C2201/40 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , C03C2203/52
Abstract: 提供了掺杂的二氧化硅‑二氧化钛玻璃制品，其包括具有一种玻璃组合物的玻璃制品，所述玻璃组合物包含(i)二氧化硅‑二氧化钛基础玻璃、(ii)氟掺杂剂和(iii)第二掺杂剂。所述氟掺杂剂的氟浓度最高为5重量％，并且所述第二掺杂剂包含一种或多种氧化物，所述氧化物选自Al氧化物、Nb氧化物、Ta氧化物、B氧化物、Na氧化物、K氧化物、Mg氧化物、Ca氧化物和Li氧化物，总氧化物浓度为50ppm至6重量％。此外，所述玻璃制品的膨胀率斜率为在20℃下小于0.5ppb/K2。所述第二掺杂剂可以是任选的。所述玻璃制品的组成还可以含有小于100ppm的OH浓度。
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公开(公告)号：CN105278006B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510360232.2
申请日：2015-06-26
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
Abstract: 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件，其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA，在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线，其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大，其特征在于，dCTE最大为至少0.5ppb/K，并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域，其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定，使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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公开(公告)号：CN105683102A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480061478.3
申请日：2014-11-06
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1461 , C03B19/066 , C03B19/106 , C03B19/1095 , C03B19/14 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , C03C2204/00 , G03F1/24
Abstract: 本发明涉及由具有高硅酸含量及预定氟含量的钛掺杂玻璃制造用于EUV光刻法的坯料的方法，其中热膨胀系数在使用温度下尽可能稳定地保持为零。Ti-掺杂石英玻璃的热膨胀系数分布取决于多个影响因素。除绝对钛含量外，钛的分布以及其它掺杂元素，如氟的含量和分布非常重要。根据本发明提出一种方法，其包括产生氟掺杂TiO2-SiO2烟灰粒子并通过固结和玻璃化进一步加工成坯料的合成过程，其特征在于所述合成过程包括借助含硅和钛的起始物质的火焰水解形成TiO2-SiO2烟灰粒子的方法步骤和使所述TiO2-SiO2烟灰粒子在移动粉末床中暴露在含氟试剂中并转化成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰粒子的后续方法步骤。
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公开(公告)号：CN102180595B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201010625211.6
申请日：2010-12-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/2008 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/36 , C03C3/06 , C03C2201/06 , G03F1/24
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102770380B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201180010938.6
申请日：2011-02-25
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03B37/027 , C03B2201/12 , C03B2201/31 , C03B2201/42 , C03B2203/222 , C03B2205/40 , G02B6/03622 , G02B6/03627 , G02B6/03633 , G02B6/03694
Abstract: 本发明提供了一种机械强度得到提高的光纤。该光纤包含压缩应力至少为100兆帕的外包层。
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公开(公告)号：CN104703929A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201380048244.0
申请日：2013-09-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 吉成俊雄
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B11/08 , C03B19/1469 , C03B23/0493 , C03B32/005 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/80 , C03B2215/44 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , G03F1/60
Abstract: 一种SiO2-TiO2系玻璃的制造方法，其通过直接法在靶上制造SiO2-TiO2系玻璃，其中，该制造方法包括坯锭成长工序，即将硅化合物和钛化合物供给至氢氧火焰中进行火焰水解，由此在靶上成长出规定长度的SiO2-TiO2系玻璃坯锭，该坯锭成长工序具有：第1工序，其中，随着SiO2-TiO2系玻璃坯锭的成长而缓慢地增加钛化合物的供给量相对于硅化合物的供给量的比率直到达到规定的值；和第2工序，其中，在第1工序中比率达到规定的值后，在将比率保持在恒定的情况下使SiO2-TiO2系玻璃坯锭成长。
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公开(公告)号：CN101959812B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN200980106891.6
申请日：2009-02-27
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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公开(公告)号：CN102067036B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200980123604.2
申请日：2009-07-23
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1469 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2203/40 , C03C2203/42 , C03C2203/54 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。
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公开(公告)号：CN102858699A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180019140.8
申请日：2011-04-08
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03B19/1492 , C03B19/1453 , C03B2201/31 , C03B2201/42 , C03B2201/58 , F42B10/46 , F42B15/34 , Y10T428/131 , Y10T428/1317
Abstract: 一种近净形或净形熔凝二氧化硅玻璃制品，如雷达屏蔽罩。所述制品这样形成：将二氧化硅烟炱沉积到心轴上，所述心轴的形状与熔凝二氧化硅玻璃制品的形状相对应。在一些实施方式中，将二氧化硅烟炱沉积到心轴上之后，将心轴感应加热到足以固结或烧结二氧化硅烟炱的温度，形成熔凝二氧化硅玻璃。熔凝二氧化硅玻璃制品可具有处于压缩状态的外层和/或多个包含各种掺杂剂的层，所述掺杂剂能改变或影响物理、机械、电学和/或光学性质。
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