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    High brightness solid electrolyte ion source
    45.
    发明授权
    High brightness solid electrolyte ion source 失效
    高亮度固体电解质离子源

    公开(公告)号：US4994711A

    公开(公告)日：1991-02-19

    申请号：US455110

    申请日：1989-12-22

    Applicant: Jesse N. Matossian

    Inventor： Jesse N. Matossian

    IPC: H01J27/26

    CPC classification number: H01J27/26 ,  H01J2237/0802

    Abstract: A solid electrolyte ion source has an emitting tip which is small enough to concentrate an elecric field from an extraction plate and thereby significantly increase the extracted current density compared to prior solid electrolyte sources. The source is heated to a temperature sufficient to induce a thermionic ion emission from the tip. The ion emission can be varied independent of the extraction field by varying the degree of heating, thereby preserving a constant focused ion beam spot size during changes of beam brightness. The tip preferably has a radius in the approximate range of 1-10 microns. The source can be used for ion-microprobe surface analysis and micro-circuit fabrication applications previously unavailable with solid electrolyte sources.

    Abstract translation: 固体电解质离子源具有足够小的发射尖端以从提取板浓缩电场，从而与现有固体电解质源相比显着增加提取的电流密度。 将源加热到足以引起来自尖端的热离子离子发射的温度。 离子发射可以通过改变加热程度而与提取场无关地变化，从而在光束亮度改变期间保持恒定的聚焦离子束斑点尺寸。 尖端优选地具有在1-10微米的近似范围内的半径。 该源可用于以前不能用于固体电解质源的离子 - 微孔表面分析和微电路制造应用。

    입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 방법
    46.
    发明申请
    입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 방법 审中-公开
    用于获取粒子束放电图像的装置和方法

    公开(公告)号：WO2015005569A1

    公开(公告)日：2015-01-15

    申请号：PCT/KR2014/003552

    申请日：2014-04-23

    Applicant: 한국표준과학연구원

    Inventor： 한철수 ,  조복래 ,  박인용 ,  안상정

    IPC: H01J37/26 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22

    CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/0656 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/24542

    Abstract: 본 발명은 금속팁을 포함하는 입자빔 소스; 상기 입자빔 소스로부터 집속된 입자빔을 수신하고, 이로부터 2차전자를 방출하는 마이크로채널 플레이트; 상기 마이크로채널 플레이트로부터 생성된 2차전자를 수신하고 이를 광신호로 변환하는 형광스크린; 상기 형광스크린으로부터 방출되는 광 데이터를 수집하는 영상수집장치; 및 상기 영상수집장치로부터 얻어지는 데이터를 처리하여 영상화하며, 상기 마이크로채널 플레이트로부터 기인하는 잡음을 제거하기 위해 공간 영역(spatial domain)에서 구현되는 저주파 통과필터(low pass filter)를 포함하여 이루어지는 영상처리장치;를 포함하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 이를 이용하여 입자빔의 방출 이미지를 획득하는 방법에 관한 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于获取粒子束放电图像的装置和使用该装置获取粒子束放电图像的方法，该装置包括：包括金属尖端的粒子束源; 微通道板，用于从粒子束源接收聚焦的粒子束并从其中排出二次电子; 用于接收从微通道板产生的二次电子并将二次电子转换成光信号的荧光屏; 用于收集从荧光屏放出的光学数据的图像采集装置; 以及用于将从图像采集装置获得的数据处理成图像的图像处理装置，该图像处理装置包括在空间域中实现的低通滤波器，以便去除由微通道板产生的噪声。

    荷電粒子放出銃及び荷電粒子線装置
    47.
    发明申请
    荷電粒子放出銃及び荷電粒子線装置 审中-公开
    充电颗粒排放枪和充电颗粒装置

    公开(公告)号：WO2012086419A1

    公开(公告)日：2012-06-28

    申请号：PCT/JP2011/078372

    申请日：2011-12-08

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  荒井 紀明

    Inventor： 荒井　紀明

    IPC: H01J37/06 ,  H01J27/26 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/16

    CPC classification number: H01J27/022 ,  H01J29/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J49/26 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/0802

    Abstract: 　荷電粒子放出銃の作動を長時間停止することなく、チップを加熱させることなく、チップのクリーニングが可能な荷電粒子放出銃を提供する。荷電粒子放出銃は、チップに照射する紫外光又は赤外光を生成するクリーニング用照射光装置と紫外光又は赤外光をチップに導くための光ファイバを有する。クリーニング用照射光装置は、チップの吸着分子を光刺激脱離によって脱離させるために、又は、チップの吸着分子を光刺激脱離によって脱離させ、該脱離した分子をイオン化するために、所定の波長と強度の紫外光又は赤外光を生成する。

    Abstract translation: 提供一种带电粒子发射枪，可以长时间进行芯片清洗，而不停止带电粒子发射枪的操作，并且不加热芯片。 带电粒子发射枪设置有：产生用于照射芯片的紫外光或红外光的清洁光照射装置; 以及将紫外线或红外光引导到芯片上的光纤。 清洗光照射装置产生规定的波长和强度的紫外光或红外光，以通过光刺激去除去除吸附在芯片上的分子，或者通过光刺激去除和电离来除去吸附在芯片上的分子 去除的分子。

    GAS FIELD ION MICROSCOPES HAVING MULTIPLE OPERATION MODES
    48.
    发明申请
    GAS FIELD ION MICROSCOPES HAVING MULTIPLE OPERATION MODES 审中-公开
    具有多种操作模式的气体场离子显微镜

    公开(公告)号：WO2010132221A4

    公开(公告)日：2011-04-14

    申请号：PCT/US2010033339

    申请日：2010-05-03

    Applicant: ZEISS CARL NTS LLC ,  SCIPIONI LAWRENCE

    Inventor： SCIPIONI LAWRENCE

    IPC: H01J37/305

    CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0653 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

    Abstract: The disclosure relates to ion beams systems, such as gas field ion microscopes, having multiple modes of operation, as well as related methods. In some embodiments, the disclosure provides a method of operating a gas field ion microscope system that includes a gas field ion source, where the gas field ion source includes a tip including a plurality of atoms. The method can include operating the gas field ion microscope system in a first mode including interacting a first ion beam with a sample, where at least about 80% of the ions in the first ion beam are generated by a first number of atoms of the plurality of atoms of the tip. The method can also include operating the gas field ion microscope system in a second mode in a second mode including interacting a second ion beam with the sample, where at least about 80% of the ions in the second ion beam are generated by a second number of atoms of the plurality of atoms of the tip. The first mode is different from the second mode, and the first number of atoms is different from the second number of atoms.

    Abstract translation: 本公开涉及具有多种操作模式的离子束系统，诸如气体场离子显微镜，以及相关方法。 在一些实施例中，本公开提供了一种操作包括气体场离子源的气体场离子显微镜系统的方法，其中气体场离子源包括包含多个原子的尖端。 该方法可以包括以第一模式操作气体场离子显微镜系统，包括使第一离子束与样品相互作用，其中第一离子束中的至少约80％的离子由多个原子中的第一数量的原子产生 尖端的原子。 该方法还可以包括在第二模式中以第二模式操作气体场离子显微镜系统，包括使第二离子束与样品相互作用，其中第二离子束中的至少约80％的离子由第二数目 尖端的多个原子的原子。 第一模式不同于第二模式，并且第一数量的原子不同于第二数量的原子。

    オービトロンポンプ、およびオービトロンポンプを備えた電子線装置
    49.
    发明申请
    オービトロンポンプ、およびオービトロンポンプを備えた電子線装置 审中-公开
    ORBITRON泵和ORBITRON PUMP提供的电子设备

    公开(公告)号：WO2014119586A1

    公开(公告)日：2014-08-07

    申请号：PCT/JP2014/051875

    申请日：2014-01-29

    Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 金田　実 ,  大西　崇 ,  村越　久弥 ,  伊藤　博之

    IPC: H01J37/18 ,  F04B37/02 ,  H01J41/14

    CPC classification number: H01J41/16 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/1825

    Abstract: 　オービトロンポンプを構成する部品からのガス放出量を減らす。　アノード（１）、吸着材料源（２）及び電子放出用フィラメント（３）がチャンバ（４）の内部に配置されたオービトロンポンプにおいて、アノード（１）を通電加熱できるようにする。これにより、ポンプ動作前にアノードを通電加熱して脱ガスでき、ポンプ動作中のガス放出量を低減できる。

    Abstract translation: 从构成轨道泵的部件释放的气体量减少。 该轨道泵已经设置在其室（4）的内部，阳极（1）和吸收材料源（2）以及用于电子放电的灯丝（3）。 阳极（1）制成使得可以进行电加热。 因此，在打开操作之前，阳极可以被电气欺骗，可以进行脱气，并且可以减少在泵操作期间释放的气体的量。

    METHOD AND APPARATUS FOR A POROUS ELECTROSPRAY EMITTER
    50.
    发明申请
    METHOD AND APPARATUS FOR A POROUS ELECTROSPRAY EMITTER 审中-公开
    多孔电喷发射体的方法和装置

    公开(公告)号：WO2014036130A2

    公开(公告)日：2014-03-06

    申请号：PCT/US2013/057067

    申请日：2013-08-28

    Applicant: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY

    Inventor： LOZANO, Paulo, C. ,  BRIKNER, Natalya, Anna ,  COFFMAN, Chase, Spencer

    IPC: H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  C25F3/14 ,  F03H1/00

    CPC classification number: H01J37/08 ,  C25F3/14 ,  F03H1/0012 ,  H01J9/025 ,  H01J27/26 ,  H01J2237/0802

    Abstract: An ionic liquid ion source can include a microfabricated body including a base and a tip. The body can be formed of a porous material compatible with at least one of an ionic liquid or room-temperature molten salt. The body can have a pore size gradient that decreases from the base of the body to the tip of the body, such that the at least one of an ionic liquid or room-temperature molten salt is capable of being transported through capillarity from the base to the tip.

    Abstract translation: 离子液体离子源可以包括包含基底和尖端的微加工体。 身体可以由与离子液体或室温熔融盐中的至少一种相容的多孔材料形成。 身体可以具有从身体的基部到身体的尖端减小的孔径梯度，使得离子液体或室温熔盐中的至少一种能够通过毛细管线从基底转移到 小费。

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