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    具有多个可选择粒子发射器的带电粒子源
    1.
    发明公开
    具有多个可选择粒子发射器的带电粒子源 有权

    公开(公告)号：CN102568989A

    公开(公告)日：2012-07-11

    申请号：CN201110454979.6

    申请日：2011-12-30

    Applicant: FEI公司

    Inventor： N.W.帕克

    IPC: H01J37/04 ,  H01J37/26

    CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0635 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/31749

    Abstract: 本发明涉及具有多个可选择粒子发射器的带电粒子源。公开了用于聚集粒子束系统的带电粒子源，所述聚集粒子束系统诸如透射电子显微镜（TEM）、扫描透射电子显微镜（STEM）、扫描电子显微镜（SEM）或聚焦离子束（FIB）系统。该源采用可以以带电粒子系统的轴为中心的小区域内的多个可独立寻址发射器。可以单独控制所有发射器以同时实现从一个或多个尖端的发射。仅激活一个发射器的模式与高亮度相对应，而同时激活多个发射器的模式提供了具有较低亮度的高角强度。可以通过顺序地使用单个发射器来延长源寿命。描述了所有发射器的组合的机械和电气对准规程。

    High brightness point ion sources using liquid ionic compounds
    7.
    发明授权
    High brightness point ion sources using liquid ionic compounds 失效
    使用液体离子化合物的高亮点离子源

    公开(公告)号：US06337540B1

    公开(公告)日：2002-01-08

    申请号：US08541663

    申请日：1995-10-10

    Applicant: Antoine Corbin ,  Pierre Sudraud ,  Rainer Sailer

    Inventor： Antoine Corbin ,  Pierre Sudraud ,  Rainer Sailer

    IPC: H01J724

    CPC classification number: H01J37/3056 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/0802

    Abstract: A novel high brightness point ion source (10) that is adapted to operate with liquid ionic compounds such as mixtures of molten salts, bases or acids. The ion source is basically comprised of two parts: the needle assembly (11) and the extraction assembly (12). The former consists of a point shaped needle (13) made of a refractory ceramic material, whose sharpened extremity is referred to as the tip (13a). The needle is partially lodged in a recess of an insulating support (15). A heating coil (14) made of stainless steel is tightly wound around a portion of the needle adjacent to the tip. The needle is coated with the mixture, for instance, by dipping in a crucible containing the mixture. The extraction assembly is comprised of a metal extracting electrode (20) provided with a central aperture that is screwed on a cylindrical metallic body (19), so that the spacing between the tip and the aperture center is adjustable. The needle assembly is mounted inside the cylindrical body and accurately affixed thereto by centering screws (22). The high brightness point ion source is then ready for use in a FIB column. A heating current supply (18) is connected to the coil extremities to melt the mixture if necessary. An extraction voltage supply (23) applies a potential difference between the extraction assembly and the mixture at the tip apex for ion emission.

    Abstract translation: 一种新颖的高亮点离子源（10），其适于与液体离子化合物如熔融盐，碱或酸的混合物一起操作。 离子源基本上由两部分组成：针组件（11）和提取组件（12）。 前者包括由难熔陶瓷材料制成的点状针（13），其尖锐的末端被称为尖端（13a）。 针被部分地放置在绝缘支撑件（15）的凹部中。 由不锈钢制成的加热线圈（14）紧紧地缠绕在与尖端相邻的针的一部分上。 例如，通过浸入含有混合物的坩埚中将针涂覆混合物。 提取组件由金属提取电极（20）组成，金属提取电极（20）设置有螺纹连接在圆柱形金属体（19）上的中心孔，使得尖端和孔径中心之间的间距是可调节的。 针组件安装在圆柱体内部，并通过定心螺钉（22）精确地固定在其上。 然后高亮度点离子源准备用于FIB色谱柱。 如果需要，加热电流源（18）连接到线圈末端以熔化混合物。 提取电压源（23）在提取组件和尖端顶点处的混合物之间施加电位差用于离子发射。

    GÉNÉRATEUR DE FAISCEAU IONIQUE À NANOFILS
    9.
    发明申请
    GÉNÉRATEUR DE FAISCEAU IONIQUE À NANOFILS 审中-公开

    公开(公告)号：WO2019048497A1

    公开(公告)日：2019-03-14

    申请号：PCT/EP2018/073897

    申请日：2018-09-05

    Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

    Inventor： GIERAK, Jacques ,  LEBEAU, Noëlle

    IPC: H01J27/26 ,  F03H1/00 ,  H01J37/08

    CPC classification number: H01J27/26 ,  F03H1/005 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/0802

    Abstract: La présente invention concerne un générateur (10) de faisceau ionique, comportant une électrode d'émission (12), une électrode d'extraction (14), et un générateur électrique (16). L'électrode d'émission comporte un substrat (20) et une pluralité de nanofils (24) s'étendant à partir dudit substrat, sensiblement en direction de l'électrode d'extraction, lesdits nanofils ayant une longueur comprise entre 50 nm et 50 μm. L'électrode d'émission comporte une source d'ions comprenant une nappe (42) de liquide ionique (40) formée sur le substrat et immergeant au moins partiellement les nanofils. Lesdits nanofils et le substrat sont électriquement isolants ou semi-conducteurs, le générateur électrique (16) étant relié à la nappe (42) de liquide ionique. L'électrode d'émission est ainsi apte à envoyer vers l'électrode d'extraction des faisceaux d'ions issus du liquide ionique.

    荷電粒子線放射装置
    10.
    发明申请
    荷電粒子線放射装置 审中-公开
    充电颗粒发光装置

    公开(公告)号：WO2012014370A1

    公开(公告)日：2012-02-02

    申请号：PCT/JP2011/003394

    申请日：2011-06-15

    Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ ,  渡辺 俊一 ,  大西 崇 ,  金田 実 ,  村越 久弥

    Inventor： 渡辺　俊一 ,  大西　崇 ,  金田　実 ,  村越　久弥

    IPC: H01J37/065 ,  H01J37/07

    CPC classification number: H01J29/484 ,  H01J3/02 ,  H01J3/027 ,  H01J3/40 ,  H01J29/488 ,  H01J37/026 ,  H01J37/073 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/0802

    Abstract: 　導電性碍子を使用する加速管において、表面のドーパント濃度が不均一となるため、導電性碍子の表面抵抗が不均一になることがあるが、この場合でも、内面垂直方向の電位分布を円周方向によらず一定に保つことが課題である。　導電性碍子加速管の内面に円周状の溝を数段設け、溝の内部に沿って金属をメタライズする。加速管表面の特定の部分の抵抗が周囲と違う場合でも、加速管内面のメタライズ領域の電位は一定になるので、加速管内面の垂直方向電位分布を、円周方向によらずほぼ同一に保つことができる。この結果、中心軸上を通過する電子線に横方向の力が働かないとともに、電位勾配もほぼ一定に保つことができ収差を小さくすることが可能である。

    Abstract translation: 在使用导电绝缘体的加速管中，表面上的掺杂剂密度变得不均匀，这可能使导电绝缘体的表面电阻不均匀。 本发明的问题在于，即使在这种情况下，也可以在垂直方向上保持内表面上的电位分布不受圆周方向的影响。 在导电性绝缘子加速管的内表面上设置有多个圆形槽，沿着槽的内侧金属化。 由于加速管的内表面的特定部分的电阻与周围表面不同，因此加速管的内表面上的金属化区域的电位是均匀的，因此垂直方向上的电位分布 加速管的内表面可以保持在大致相同的电位而不考虑圆周方向。 结果，没有作用在通过中心轴的电子束上的水平力，电位梯度也保持几乎恒定，并且可以实现像差减小。

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