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公开(公告)号：CN105143846A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480023150.2
申请日：2014-04-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , B25J7/00 , G01N1/42 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/302 , H01J37/304 , H01J37/3056 , H01J2237/002 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/208 , H01J2237/2801 , H01J2237/30461 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 在用于观察耐热性弱的材料的试样制作中，能够观察刚刚制作出最终观察面后的纯净的状态。本发明的试样制作方法使用带电粒子束装置制作试样，该带电粒子束装置具备：具有冷却机构的微型探针、具备将试样保持为冷却的状态的机构的第一试样保持器、能够导入上述微型探针和第一试样保持器的工作台，该试样制作方法具备：从冷却保持的第一试样保持器上的试样切出块状的试样片的步骤；使该试样片与被冷却为一定温度的上述微型探针的前端粘连，并在上述带电粒子束装置的真空室内将该试样片转移到与第一试样保持器不同的冷却保持的薄膜观察用的第二试样保持器的步骤；在从微型探针切离了被转移到薄膜观察用试样保持器的该试样片后，将该试样片薄膜加工为比切出时的厚度薄的厚度的步骤；以及观察薄膜加工后的该试样片的步骤。
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公开(公告)号：CN104979151A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510171305.3
申请日：2015-04-13
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/20 , G01N1/44 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/08 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/204 , H01J2237/2602 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明涉及高容量TEM栅格，特别是一种TEM栅格提供立柱，立柱具有台阶，台阶增加了能附连到栅格上的样品数量。在某些实施例中，每个立柱包括单侧楼梯台阶配置。一种用于提取多种样品的方法包括提取样品并且将样品附连到立柱的不同楼梯台阶上。
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公开(公告)号：CN104862660A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201410061908.3
申请日：2014-02-24
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
IPC: C23C14/50
CPC classification number: H01J37/32715 , C23C14/22 , C23C14/50 , C23C16/50 , H01J37/20 , H01J37/32633 , H01J37/32733 , H01J2237/2007 , H01J2237/332 , H01L21/68721 , H01L21/68735 , H01L21/68742
Abstract: 本发明提供的承载装置及等离子体加工设备，其包括基座、基座驱动机构、压环和挡环，基座用于承载被加工工件；基座驱动机构用于驱动基座上升至工艺位置或下降至卸载位置；压环用于在基座位于工艺位置时压紧置于基座上的被加工工件的边缘区域；挡环环绕在基座的外周壁上，且位于压环的下方；压环与挡环彼此相对的表面包括一对导向环面，其相对于基座竖直方向上的中心线向外倾斜相同角度；并且，在基座驱动机构驱动基座上升的过程中，该对导向环面彼此接触且交错移动，以实现压环与基座的定位。本发明提供的承载装置，其可以直接实现压环与基座的定位，从而不仅可以提高定位的准确度、简化工作流程，而且还可以简化设备结构、降低制造成本。
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公开(公告)号：CN104703912A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201380046634.4
申请日：2013-07-08
Applicant: 财团法人卫生研究院 , 闳康科技(美国)股份有限公司
IPC: B82Y35/00
CPC classification number: H01J37/261 , B01L3/508 , B01L2200/0678 , B01L2300/0822 , G01N1/28 , G01N1/4022 , G01N23/02 , G01N2001/4027 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/222 , H01J37/3178 , H01J2237/2007 , H01J2237/2602 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明公开了一种TEM样品盒，其包括：(a)顶基板和底基板，所述顶基板和底基板是透明的并且基本上彼此平行；(b)第一间隔物和第二间隔物，其位于所述顶基板下方和坐落在所述底基板上，所述第二间隔物与所述第一间隔物相对，并以间距d与所述第一间隔物间隔开；(c)腔室，其在所述顶基板和底基板之间和在所述第一和第二间隔物之间形成，所述腔室具有两个向大气开放的端部，并且其特征在于具有由间隔物的厚度h所限定的高度，其中该高度比血红细胞的直径小。本发明还包括用于制备用于TEM纳米颗粒表征的干燥样品的方法，以及用于分析液体样品中的纳米颗粒的TEM图像的方法。
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公开(公告)号：CN104364877A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029956.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20285 , H01J2237/22 , H01J2237/2801 , H01J2237/2809 , H01J37/244 , H01J2237/24495
Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104335320A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201380026069.5
申请日：2013-03-21
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/20 , H01J2237/0225 , H01J2237/2007
Abstract: 一种离子植入器包括：压板，具有夹持表面，夹持表面经配置以支撑用于离子处理的晶圆，压板还具有在夹持表面下的至少一对电极；夹持电源，经配置以提供交流信号及代表交流信号的感测信号的，交流信号被提供至至少一对电极；以及控制器。当无晶圆被夹至夹持表面时，控制器经配置以接收来自夹持电源的感测信号。控制器进一步经配置以监控感测信号，并判断感测信号是否代表夹持表面上的沉积物超过预定的沉积物临界。
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公开(公告)号：CN102439693B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201080022632.8
申请日：2010-06-15
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , H01J37/317 , H01L21/266
CPC classification number: H01L21/67213 , C23C14/48 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/20292 , H01J2237/204 , H01J2237/31711 , H01L21/266 , H01L21/67769 , H01L31/022425 , H01L31/022441 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 一种工作件处理系统(100)包含：处理腔室(114)，其经组态以支撑工作件用于离子植入；第一遮罩(172、174、176)，其储存于所述处理腔室(114)外部且处于遮罩台(170)中；以及机器人系统(106)，其经组态以自所述遮罩台(170)撷取所述第一遮罩(172、174、176)，且将所述第一遮罩定位于所述工作件上游，使得所述工作件经由所述第一遮罩而接收第一选择性植入。一种方法包含：将第一遮罩(172、174、176)储存于处理腔室(114)外部且处于遮罩台(170)中；自所述遮罩台(170)撷取所述第一遮罩；将所述第一遮罩定位于已定位在所述处理腔室(114)中的工作件上游以用于离子植入；以及经由所述第一遮罩而执行第一选择性植入。
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公开(公告)号：CN103280415A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310210087.0
申请日：2009-06-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 大卫·苏若恩 , 岱尔·K·史东 , 茂雄·S·大城 , 亚瑟·P·瑞福 , 爱德华·D·梅克英特许
IPC: H01L21/67 , H01J37/317 , H01J37/32 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/67109 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01L21/6875
Abstract: 本发明揭示一种用以将基材连接于地面的接地引脚。接地引脚包括引脚主体以及套管。套管支撑引脚主体。套管包括一流体通道，以传输流体，并使流体通道的两侧的压力处于压力平衡。
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公开(公告)号：CN102971822A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201080067319.6
申请日：2010-04-07
Applicant: 多伦多大学董事局
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/185 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/2008 , H01J2237/204 , H01J2237/206 , H01J2237/208
Abstract: 本发明涉及一种用于将一个或多个操纵器运送进电子显微镜的真空样品室内的载体装置，其特征在于，所述载体装置包括：（i）平台，其具有用于将一个或多个操纵器以可拆卸的方式固定到平台的固定器件；以及（ii）电连接器，其固定到平台，用于一个或多个操纵器的电连接。本发明还涉及一种用于在不改变真空样品室的真空的情况下将载体装置运送进电子显微镜的真空样品室内的方法，包括运送本发明的载体装置穿过电子显微镜的样品更换室将并且进入真空样品室。
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公开(公告)号：CN102422198A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201080020680.3
申请日：2010-05-07
Applicant: 卡尔蔡司公司
CPC classification number: G02B21/34 , G02B21/26 , G02B21/33 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2007
Abstract: 为了使用光学显微镜(10)和粒子束显微镜(12)的组合对对象(8)进行显微检查，使用了一种显微镜载物片系统(1)，该系统包括：导电支架(2)，其中至少一个窗口(3、17、18)配置于支架(2)中，以及其中支架(2)优选地具有用于光学显微镜(10)的标准玻璃显微镜载物片的尺度；显微镜载物片元件(7、19)，其设计成承载用于显微检查的对象(8)并且设计成使得该元件可以放置在窗口(3、17、18)上方；以及紧固装置(5、6、22、25)，其设计成将显微镜载物片元件(7、19)固定在窗口(3、17、18)上方。借助所述显微镜载物片系统(1)，可以使用分开的显微镜来分析对象(8)，而不必重定位对象。
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