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公开(公告)号：CN108336982B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201810039429.X
申请日：2018-01-16
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
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公开(公告)号：CN114006592A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202110417729.9
申请日：2021-04-19
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：谐振器，包括中央部和延伸部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序堆叠在基板上，所述延伸部沿着所述中央部的外围设置；以及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层与所述基板之间以升高所述压电层。所述插入层包括第一插入层和第二插入层，所述第一插入层的面对所述中央部的侧表面形成为第一倾斜表面，所述第二插入层设置在所述第一插入层与所述压电层之间并且具有相对于所述第一电极的表面延伸的方向与所述第一倾斜表面间隔开的第二倾斜表面。所述第一插入层比所述第二插入层薄。
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公开(公告)号：CN111049488A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910614244.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；腔，形成在所述基板中；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；附加层，设置在布置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及布线电极，连接至布置在所述布线区域中的所述第一电极。所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。
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公开(公告)号：CN110611493A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201910122951.9
申请日：2019-02-18
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器、包括其的声波谐振器滤波器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；以及谐振部，包括顺序地层叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极，并且被划分为中央部以及沿着所述中央部的外周设置的延伸部，其中，所述谐振部被构造为具有不对称的多边形平面，在所述延伸部中的所述压电层的下方设置有内置层，并且在所述延伸部中的所述压电层被构造为具有升高以符合所述内置层的形状的形状，并且所述内置层被构造为具有与所述延伸部的形状对应的不对称的多边形形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110504935A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910136423.9
申请日：2019-02-25
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法，所述方法包括：在基板保护层上形成牺牲层；在所述基板保护层上形成膜层，以覆盖所述牺牲层；以及通过使用包含卤基气体和含氧气体的气体混合物去除所述牺牲层形成腔，其中，所述气体混合物中所述卤基气体与所述含氧气体的混合比在1.5至2.4的范围内。
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公开(公告)号：CN106898579B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201610264180.3
申请日：2016-04-26
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: B81B7/007 , B81B2201/0271 , B81B2203/0315 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , H01L21/561 , H01L23/00 , H01L23/10 , H01L23/3114
Abstract: 提供一种晶圆级封装件及其制造方法，所述晶圆级封装件包括：晶圆构件，具有设置了电路元件的内腔；元件壁构件，设置在晶圆构件的内表面上且包围设置了所述电路元件的元件部分；以及间隙壁构件，布置在所述元件壁构件的外表面上且将所述元件部分之间的空间划分成间隙部分。
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公开(公告)号：CN108736857A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810002314.3
申请日：2018-01-02
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/1014 , H03H3/02 , H03H9/02047 , H03H9/02157 , H03H9/173
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：支撑构件，设置在气腔之间；谐振部，包括顺序地设置在所述气腔的上方和所述支撑构件上的第一电极、压电层和第二电极；以及布线电极，连接所述第一电极和所述电极中的任意一者或两者，并设置在所述气腔中的一个的上方，其中，所述支撑构件的上表面的宽度大于所述支撑构件的下表面的宽度，并且所述支撑构件的将所述上表面和所述下表面彼此连接的侧表面是倾斜的。
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公开(公告)号：CN108429543A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810052173.6
申请日：2018-01-19
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02086 , H01L41/0472 , H01L41/0475 , H03H9/132 , H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状，从而支撑所述谐振构件的边缘。
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公开(公告)号：CN107947751A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201710940292.0
申请日：2017-10-11
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/547 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/0442 , H03H2009/02173 , H03H9/02015 , H03H9/02086
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：膜层，设置在基板上并且形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上，并且包括框架部，所述框架部设置在有效区域的边缘处并且具有比所述上电极的设置在所述有效区域的中央部分中的部分的厚度大的厚度；及频率调节层，设置在所述压电层和所述上电极上。所述频率调节层从所述框架部的倾斜表面被去除，或所述频率调节层的在所述倾斜表面上的部分的厚度小于所述频率调节层的其他部分的厚度。所述频率调节层设置在所述压电层的从所述上电极突出的部分上。
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