公开(公告)号：KR1020060022411A

公开(公告)日：2006-03-10

申请号：KR1020040071221

申请日：2004-09-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박홍식 ,  백경록 ,  정주환 ,  고형수 ,  박철민 ,  홍승범

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G11B9/1409 ,  G01Q60/30 ,  Y10S977/875 ,  Y10S977/878 ,  Y10S977/879

Abstract: Provided are a semiconductor probe with a resistive tip, and a method of fabricating the semiconductor probe. The method includes forming a stripe-shaped mask layer on a substrate doped with a first impurity, and forming first and second electrode regions by heavily doping portions of the substrate not covered by the mask layer with a second impurity opposite in polarity to the first impurity; annealing the substrate to decrease a gap between the first and second semiconductor electrode regions, and forming resistive regions lightly doped with the second impurity at portions contiguous with the first and second semiconductor electrode regions; forming a stripe-shaped first photoresist orthogonal to the mask layer, and etching the mask layer such that the mask layer has a square shape; forming a second photoresist on the substrate to cover a portion of the first photoresist and define a cantilever region; forming the cantilever region by etching portions not covered by the first and second photoresists; and removing the first and second photoresists, and forming a resistive tip having a semi-quadrangular pyramidal shape by etching portions of the substrate not covered by the mask layer.

公开(公告)号：KR1020050113711A

公开(公告)日：2005-12-05

申请号：KR1020040037300

申请日：2004-05-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박철민 ,  허진

IPC: H04N5/74

CPC classification number: H04N9/3114 ,  G03B21/16 ,  G03B33/08 ,  H04N9/3144

Abstract: 본 발명은, 프로젝션 텔레비전에 관한 것으로서, 빛을 발산하는 광원부와; 상기 광원부의 전방에 마련되어 상기 광원부의 빛을 투과시키는 복수의 칼라필터와, 상기 칼라필터를 회전가능하게 구동하는 구동부와, 일측이 상기 구동부와 결합되고 타측이 상기 칼라필터와 결합되어 상기 칼라필터를 회전가능하게 지지하는 지지부를 갖는 칼라휠을 포함하며, 상기 구동부는 상기 칼라휠의 중앙영역에 마련되고 상기 칼라필터는 상기 구동부와 이격되어 상기 칼라휠의 둘레영역에 마련되며, 상기 구동부와 상기 칼라필터 사이에는 상기 칼라필터에 의한 열이 상기 구동부로 전달되는 것을 방지하는 열차단부가 마련된 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 본 발명에 따르면, 광원부로부터의 열을 흡수한 칼라필터를 구동부와 이격 배치함으로써 열에 의한 칼라휠의 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있는 프로젝션 텔레비전을 제공하는 것이다.

公开(公告)号：KR1020050033339A

公开(公告)日：2005-04-12

申请号：KR1020030069333

申请日：2003-10-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박철민 ,  장경철 ,  우성제

IPC: F04D29/66

CPC classification number: H05K7/20172 ,  F01D5/10 ,  F04D29/668

Abstract: A fan assembly is provided to improve vibration isolation efficiency by using a vibration member. A fan assembly includes a fan(20), a supporting case(30), and a vibration member(40). The fan(20) is installed while surrounding the outer part of the fan(20). The supporting case(30) supports the fan(20). The vibration member(40) prevents the vibration generated from the fan(20) from being delivered to the supporting case(30). The fan(20) is a mechanical apparatus generating the flow of air. The fan(20) includes a fan housing(22), a rotation shaft(24), and a rotation wing(24). The fan is provided in a hollow part of the fan housing(22). The rotation shaft(24) is rotated by a driving unit. The rotation wing(24) is coupled with a rotation shaft(24). The rotation shaft(24) delivers rotation power of the driving unit to the rotation wing.

Abstract translation: 提供风扇组件以通过使用振动构件来提高隔振效率。 风扇组件包括风扇（20），支撑壳体（30）和振动部件（40）。 风扇（20）围绕风扇（20）的外部部分安装。 支撑壳体（30）支撑风扇（20）。 振动部件（40）防止从风扇（20）产生的振动被输送到支撑壳体（30）。 风扇（20）是产生空气流的机械装置。 风扇（20）包括风扇壳体（22），旋转轴（24）和旋翼（24）。 风扇设置在风扇壳体（22）的中空部分中。 旋转轴（24）由驱动单元旋转。 旋转翼（24）与旋转轴（24）联接。 旋转轴（24）将驱动单元的旋转动力传递给旋转翼。

公开(公告)号：KR1020050026754A

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：KR1020030062376

申请日：2003-09-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍승범 ,  김성동 ,  정주환 ,  민동기 ,  박홍식 ,  백경록 ,  박철민 ,  김윤석

IPC: G11B9/02

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G11B9/02 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/149 ,  G11B13/00 ,  G11B2005/0021

Abstract: A data recording method is provided to rapidly record data by switching a domain of a ferroelectric film because a heat supplied to the ferroelectric film lowers a coercive field. The method includes a step of supplying a heat and an electric field on a data recording zone on a ferroelectric film of a recording medium by supplying an electric voltage for a resistive probe(40) and a lower electrode(50). A voltage(Vr) is supplied for a portion of the resistive probe(40) near the ferroelectric film of the recording medium, a voltage(V3) is supplied for the lower electrode(50) and the voltages, V3 and Vr, satisfy an inequality V3-Vr > Vc where the Vc is a coercive voltage needed in reversing a remanent polarization of the ferroelectric film.

Abstract translation: 提供数据记录方法，通过切换铁电体膜的区域来快速记录数据，因为提供给铁电体膜的热量降低了矫顽场。 该方法包括通过为电阻式探针（40）和下电极（50）提供电压，在记录介质的铁电膜上的数据记录区域上提供热和电场的步骤。 为记录介质的强电介质膜附近的电阻式探头（40）的一部分供给电压（Vr），向下部电极（50）供给电压（V3），电压V3，Vr满足 不等式V3-Vr> Vc，其中Vc是反转铁电体膜的剩余极化所需的矫顽电压。

公开(公告)号：KR1020000030948A

公开(公告)日：2000-06-05

申请号：KR1019980044009

申请日：1998-10-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 허장무 ,  박지원 ,  박철민

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: An equipment for fabricating a semiconductor is provided to prevent breakage of a wafer by automatically checking if the wafer is accurately loaded/unloaded in a wafer cassette while sliding the wafer. CONSTITUTION: A medium current ion injector is composed of a process chamber(12), a transfer chamber(14), a load lock(16), a junction(18), and a sensor(30). Ion, which is accelerated with voltage, is mechanically implanted on a wafer(50) for a semiconductor device to have an electric characteristic in the process chamber. A base plate(16a) where a wafer cassette(40) is put is established at the load lock. On one hand, the sensor is established in the end of the junction near the transfer chamber. And, the sensor detects the movement of the wafer loaded/unloaded to the transfer chamber from the load lock through the junction. Herein, the sensor is consisted of a sensor emitter(30a) and a sensor light receiver(30b). When the wafer is not loaded/unloaded accurately on the wafer cassette, the sensor detects the position of the wafer to prevent breakage of the wafer caused by an interception valve or a collis ion with another wafer.

Abstract translation: 目的：提供用于制造半导体的设备，以通过在滑动晶片的同时自动检查晶片是否被精确地装载/卸载在晶片盒中，从而防止晶片破裂。 构成：中等电流离子注入器由处理室（12），传送室（14），负载锁（16），接合部（18）和传感器（30）组成。 用电压加速的离子被机械地植入用于半导体器件的晶片（50）上以在处理室中具有电特性。 在加载锁定处建立放置晶片盒（40）的基板（16a）。 一方面，传感器建立在传送室附近的接头的末端。 并且，该传感器检测装载/卸载到传送室的晶片从装载锁通过接合点的移动。 这里，传感器由传感器发射器（30a）和传感器光接收器（30b）组成。 当晶片没有在晶片盒上正确地装载/卸载晶片时，传感器检测晶片的位置，以防止由截取阀引起的晶片破裂或与另一个晶片的碰撞。

公开(公告)号：KR1019970063774A

公开(公告)日：1997-09-12

申请号：KR1019960002634

申请日：1996-02-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한민구 ,  박철민 ,  민병혁

IPC: H01L29/70

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술 분야
트랜지스터의 채널 영역과 소오스와 드레인 영역 사이에 일정간격에 비도핑된 부분을 가지는 오프셋 트랜지스터에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
낮은 누설전류를 가지는 트랜지스터 및 그 제조방법을 제공함에 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
절연기판의 상부에 폴리실리콘 또는 무정질 실리콘으로 이루어진 실리콘막을 도포하고, 상기 실리콘막 상부에 실리콘 산화막으로 이루어진 게이트 절연층을 코팅하는 제1공정과, 상기 게이트 절연층상부에 금속이나 전도성 물질 또는 폴리실리콘 막등으로 이루어진 게이트 전극을 증착하여 포토 리토그래피로 채널 폭에 대응하는 주 게이트 전극과 오프셋 폭에 대응하는 부 게이트 전극으로 분리하여 식각하는 제2공정과, 상기 게이트 절연 층내에 상기 오프셋 영역을 형성하기 위하여 상기 주 게이트 전극과 부 게이트 전극의 상부의 포토 레지스터를 소정의 조건으로 리플로우하기 위한 제3공정과, 상기 리플로우된 포토 레지스터에 의해 도포되지 않은 부분의 게이트 절연층을 식각하고 상기 포토 레지스터를 제거하는 제4공정과, 상기 제4공정을 통 결과물의 상기 폴리실리콘내의 드레인과 소오스 영역을 형성하기 위하여 상기 주 게이트 전극과 부 게이트 전극과 식각되지 않은 상기 오프셋 영역에 대하여 자기－정렬로 이온주입을 수행하는 제5공정으로 이루어지는 것을 요지로 한다.
4. 발명의 중요한 용도
트랜지스터 제조방법에 적합하다.